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피대상물(200)의 표면 영역을 측정할 수 있는 3차원 좌표 측정기에 있어서,
피대상물(200)과, 상기 피대상물(200)의 상부에 구비되고, 좌/우로 이동될 수 있도록 X축스테이지(30) 상에 결합된 측정부(20) 및 상기 측정부(20)의 상부에 고정되는 기준판(10)를 포함하여 이루어지되,
상기 측정부(20)는, 광이 조사되는 광원(21)과; 상기 광원(21)에서 조사된 직진 및 하부로 분광시키는 분광기(22)와; 상기 분광기(22)를 통해 하부로 분광된 광을 반사하여 직진시키는 제 1미러(23)와; 상기 분광기(22) 및 제 1미러(23)에서 직진되는 광을 상/하로 반사시키는 제 2미러(24)와; 상기 제 2미러(24)에서 상부로 반사되는 광을 수광하여 기준판(10)과의 거리를 실시간으로 측정하는 제 1간섭계(25a)와; 상기 제 2미러(24)에서 하부로 반사되는 광을 수광하여 피대상물(200)의 표면 거리를 실시간으로 측정하는 제 2간섭계(25b)와; 제 1간섭계(25a) 및 제 2간섭계(25b)의 간접신호를 각각 수신하여 중앙처리부(28)와 연결되는 리시버(26);를 포함하여 이루어져,
측정부(20)와 기준판(10) 사이의 거리와, 측정부(20)와 피대상물(200)과의 사이 거리를 실시간으로 측정하여 X축스테이지(30)의 기계적 오차를 보정하여 정밀측정되는 것을 특징으로 하는 기준판을 이용한 좌표 측정기
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피대상물(200)의 표면 영역을 측정할 수 있는 3차원 좌표 측정기에 있어서,
피대상물(200)과, 상기 피대상물(200)의 상부에 구비되고, 전/후/좌/우로 이동될 수 있도록 교차된 X축스테이지(30) 및 Y축스테이지(40) 상에 결합된 측정부(20) 및 상기 측정부(20)의 상부에 고정되는 기준판(10)을 포함하여 이루어지되,
상기 측정부(20)는, 광이 조사되는 광원(21)과; 상기 광원(21)에서 조사된 직진 및 하부로 분광시키는 분광기(22)와; 상기 분광기(22)를 통해 하부로 분광된 광을 반사하여 직진시키는 제 1미러(23)와; 상기 분광기(22) 및 제 1미러(23)에서 직진되는 광을 상/하로 반사시키는 제 2미러(24)와; 상기 제 2미러(24)에서 상부로 반사되는 광을 수광하여 기준판(10)과의 거리를 실시간으로 측정하는 제 1간섭계(25a)와; 상기 제 2미러(24)에서 하부로 반사되는 광을 수광하여 피대상물(200)의 표면 거리를 실시간으로 측정하는 제 2간섭계(25b)와; 제 1간섭계(25a) 및 제 2간섭계(25b)의 간접신호를 각각 수신하여 중앙처리부(28)와 연결되는 리시버(26);를 포함하여 이루어져,
측정부(20)와 기준판(10) 사이의 거리와, 측정부(20)와 피대상물(200)과의 사이 거리를 실시간으로 측정하여 X축스테이지(30) 및 Y축스테이지(40) 상의 기계적 오차를 보정하여 정밀측정되는 것을 특징으로 하는 기준판을 이용한 측정기
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피대상물(200)의 표면 영역을 측정할 수 있는 3차원 좌표 측정기에 있어서,
피대상물(200)과, 상기 피대상물(200)의 상부에 구비되고, 좌/우로 이동될 수 있도록 X축스테이지(30) 상에 결합된 측정부(20) 및 상기 측정부(20)의 상부에 고정되는 기준판(10)를 포함하여 이루어지되,
상기 측정부(20)는, 광이 조사되는 광원(21)과; 상기 광원(21)에서 조사된 직진 및 하부로 분광시키는 분광기(22)와; 상기 분광기(22)를 통해 하부로 분광된 광을 반사하여 직진시키는 제 1미러(23)와; 상기 분광기(22) 및 제 1미러(23)에서 직진되는 광을 상/하로 반사시키는 제 2미러(24)와; 상기 피대상물(200)의 표면에 밀착되어, 피대상물(200)의 표면형상에 따라 승강되고, 상단에는 제 3미러(27a)가 부착된 탐침봉(27)과; 상기 제 2미러(24)에서 상부로 반사되는 광을 수광하여 기준판(10)과의 거리를 실시간으로 측정하는 제 1간섭계(25a)와; 상기 제 2미러(24)에서 하부로 반사되는 광을 수광하여 탐침봉(27)의 승강 거리를 실시간으로 측정하는 제 2간섭계(25b)와; 상기 제 1간섭계(25a) 및 제 2간섭계(25b)의 간접신호를 각각 수신하여 비교처리할 수 있도록 중앙처리부(28)와 연결되는 리시버(26);를 포함하여 이루어져,
측정부(20)와 기준판(10) 사이의 거리와, 측정부(20)와 피대상물(200)과의 사이 거리를 실시간으로 측정하여 X축스테이지(30)의 기계적 오차를 보정하여 정밀측정되는 것을 특징으로 하는 기준판을 이용한 좌표 측정기
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피대상물(200)의 표면 영역을 측정할 수 있는 3차원 좌표 측정기에 있어서,
피대상물(200)과, 상기 피대상물(200)의 상부에 구비되고, 전/후/좌/우로 이동될 수 있도록 교차된 X축스테이지(30) 및 Y축스테이지(40) 상에 결합된 측정부(20) 및 상기 측정부(20)의 상부에 고정되는 기준판(10)을 포함하여 이루어지되,
상기 측정부(20)는, 광이 조사되는 광원(21)과; 상기 광원(21)에서 조사된 직진 및 하부로 분광시키는 분광기(22)와; 상기 분광기(22)를 통해 하부로 분광된 광을 반사하여 직진시키는 제 1미러(23)와; 상기 분광기(22) 및 제 1미러(23)에서 직진되는 광을 상/하로 반사시키는 제 2미러(24)와; 상기 피대상물(200)의 표면에 밀착되어, 피대상물(200)의 표면형상에 따라 승강되고, 상단에는 제 3미러(27a)가 부착된 탐침봉(27)과; 상기 제 2미러(24)에서 상부로 반사되는 광을 수광하여 기준판(10)과의 거리를 실시간으로 측정하는 제 1간섭계(25a)와; 상기 제 2미러(24)에서 하부로 반사되는 광을 수광하여 탐침봉(27)의 승강 거리를 실시간으로 측정하는 제 2간섭계(25b)와; 상기 제 1간섭계(25a) 및 제 2간섭계(25b)의 간접신호를 각각 수신하여 비교처리할 수 있도록 중앙처리부(28)와 연결되는 리시버(26);를 포함하여 이루어져,
측정부(20)와 기준판(10) 사이의 거리와, 측정부(20)와 피대상물(200)과의 사이 거리를 실시간으로 측정하여 X축스테이지(30) 및 Y축스테이지(40) 상의 기계적 오차를 보정하여 정밀측정되는 것을 특징으로 하는 기준판을 이용한 측정기
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