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기술번호
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KST2014065882
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자료제공기관
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미래기술마당
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기술공급기관
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한국표준과학연구원
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기술명
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진공용기에 고정된 다이아프램의 변위량 계측에 의한 진공-압력 측정방법
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기술개요
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본 발명은 다이아프램을 이용한 정전용량형 압력 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 다이아프램이 설치되는 센서 하우징에 압력 가변용기를 고정 설치함으로써 게터 펌프 없이 대기압 이하의 압력을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 대기압 이상의 압력도 측정할 수 있는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치에 관한 것이다. 다이아프램, 정전용량, 압력, 전극, 압력 가변용기
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개발상태
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연구실환경 테스트
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기술의 우수성
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1) 게터펌프를 쓰지 않고 용기배기에 의한 다이아프램 변위량을 이용해서 진공/압력을 측정할 수 있는 기술로, 기존의 측정 기술보다 훨씬 간단하므로 경제적인 파급효과가 클 것으로 기대
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응용분야
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1) 반도체, 디스플레이 산업 등 저압/저진공 진공계측기술이 활용되는 전 분야
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시장규모 및 동향
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가. 해외
1) 진공의 정도는 일반적으로 진공 용기 속에 남아있는 기체의 압력으로 표현되며, 압역을 직접 측정하는 경우와 기체가 지닌 다른 물리적 특성(열, 전기적 성질 등)을 이용하여 간접적으로 측정하는 방법이 있으며 민감도는 후자의 경우가 더 좋아 대부분의 진공 게이지, 즉 압력계의 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있음
2) 진공게이지는 편리성과 효율성을 모두 갖춘 휴대 가능한 압력센서로 자리매김 하여 시장 규모가 넓어질 것으로 보임
3) 진공게이지의 연간 시장규모는 국내의 260억원의 규모를 포함한 1조 3천억원 이상으로 추산하고 있음
나. 국내
1) 한국표준과학연구원(원장 정광화)은 기반표준부의 최인묵 박사가 세계최초로 반도체 공정의 핵심 기술인 탄소나노튜브의 전계방출효과를 이용한 압력센서를 개발하는데 성공하였으며 이를 상용화될 전망임
2) 기존의 필라멘트를 이용한 방식에서 문제가 되었던 과도한 전력소모와 X-ray, 열, 빛 등이 발생하여 반도체 공정 환경을 변화시키는 문제를 해결하기 위해 탄소나노튜브 압력센서를 개발하였음
3) 최 박사가 개발한 압력센서는 나노기술을 이용한 새로운 첨단센서로 기존의 열방출이 아닌 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 소형 청정 센서로서 기존보다 넓은 범위의 측정 능력을 갖고 있어 향후 새로운 센서로서의 가능성을 제시할 전망
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희망거래유형
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사업화적용실적
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도입시고려사항
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