맞춤기술찾기
이전대상기술
전수합산법을 이용한 이차이온질량분석법에 의한 다성분 합금 박막의 주성분 정량 및 조성깊이분포 분석법
- 기술번호 : KST2014065940
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 화합물 박막 태양전지용 박막과 같은 다성분 합금 박막에 대하여, 전수합산법을 이용한 이차이온화질량분석법에 의하여 정량분석 및 깊이에 따른 조성분포를 분석하는 방법을 개시하는바, 이로써 합금 박막 태양전지의 이력관리를 가능케 하여 성능을 극대화할 수 있는 표준을 제공할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 27/62 (2006.01) G01N 23/225 (2006.01) H01J 37/252 (2006.01) |
| CPC | G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) G01N 23/225(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020110008943 (2011.01.28) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1061163-0000 (2011.08.25) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20110901) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.01.28) |
| 심사청구항수 | 3 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김경중 | 대한민국 | 대전시 유성구 |
| 2 | 장종식 | 대한민국 | 충북 청주시 흥덕구 |
| 3 | 조경행 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 한명섭 | 대한민국 | 충청남도 계룡시 |
| 5 | 민형식 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김종관 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 2 | 박창희 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
| 3 | 권오식 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0072323-25 |
| 2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2011.02.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0087711-88 |
| 3 | [우선심사신청]선행기술조사의뢰서 [Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search |
2011.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | [우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search |
2011.02.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0007884-67 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0131917-00 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0316003-87 |
| 7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2011.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0359429-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.07.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0582526-60 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2011.07.28 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2011-0582528-51 |
| 10 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2011.08.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0447715-51 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 a) 다성분 합금 박막 표준시편에 대하여, 이차이온질량분석법에 의하여 각 성분 원소의 깊이분포도를 얻고 전 구간에서 각 성분 원소의 분포도에 대하여 전구간을 적분하는 전수합산법으로 각 성분의 세기(Ii)를 구는 단계; 식(1)과 같이 각 성분의 세기(Ii)를 인증된 조성(Ci)으로 나누어 각 성분 원소의 감도인자(Si)를 구하는 단계; 상기 감도인자(Si)를 특정 성분 원소(i)의 감도인자로 나누어 식(2)와 같이 상대감도인자(Rj)를 구하는 단계; b) 분석 시편에 대해 동일한 SIMS 분석 조건에서 SIMS 깊이분포도를 얻는 단계; 상기 a)단계에서 얻어진 상대감도인자(Rj)를 이용하여 식(3)과 같이 정규화법으로 각 성분 원소의 상대적인 원소 비율(atomic fraction; Xi)을 얻는 단계;를 포함하는 이차이온질량분석법을 이용한 전수합산법에 의한 다성분 합금 박막의 정량 분석 및 깊이에 따른 조성분포 분석 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 다성분 합금 박막은 화합물 박막 태양전지용 합금 박막인 것을 특징으로 하는 이차이온질량 분석법에 의한 전수합산법에 의한 정량분석 및 조성깊이분포도 분석 방법 |
| 3 |
3 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,화합물 박막은 CIGS {Cu(InGa)Se2} 박막 또는 CdTe 박막인 것을 특징으로 하는이차이온질량 분석법에 의한 전수합산법에 의한 정량분석 및 조성깊이분포도 분석 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1061163-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110128 출원 번호 : 1020110008943 공고 연월일 : 20110901 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110809 청구범위의 항수 : 3 유별 : G01N 23/225 발명의 명칭 : 전수합산법을 이용한 이차이온질량분석법에 의한 다성분 합금 박막의 주성분 정량 및 조성깊이분포 분석법 존속기간(예정)만료일 : 20170826 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 81,000 원 | 2011년 08월 26일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 74,200 원 | 2014년 07월 08일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 74,200 원 | 2015년 08월 03일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 74,200 원 | 2016년 07월 22일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0072323-25 |
| 2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 | 2011.02.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0087711-88 |
| 3 | [우선심사신청]선행기술조사의뢰서 | 2011.02.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | [우선심사신청]선행기술조사보고서 | 2011.02.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0007884-67 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2011.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0131917-00 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0316003-87 |
| 7 | 거절결정서 | 2011.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0359429-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.07.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0582526-60 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2011.07.28 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2011-0582528-51 |
| 10 | 등록결정서 | 2011.08.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0447715-51 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 기술번호 | KST2014065940 |
|---|---|
| 자료제공기관 | 미래기술마당 |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | 전수합산법을 이용한 이차이온질량분석법에 의한 다성분 합금 박막의 주성분 정량 및 조성깊이분포 분석법 |
| 기술개요 |
본 발명은 화합물 박막 태양전지용 박막과 같은 다성분 합금 박막에 대하여, 전수합산법을 이용한 이차이온화질량분석법에 의하여 정량분석 및 깊이에 따른 조성분포를 분석하는 방법을 개시하는바, 이로써 합금 박막 태양전지의 이력관리를 가능케 하여 성능을 극대화할 수 있는 표준을 제공할 수 있다. |
| 개발상태 | 유사환경 테스트 |
| 기술의 우수성 |
1) 깊이에 따라 조성이 변하는 합금 박막도 인증표준물질로 활용할 수 있음
2) 지금까지 불가능하던 이차이온화질량분석법에 의한 주성분 정량분석이 가능함 3) 매우 빠르고 정확한 조성깊이분포분석 가능 |
| 응용분야 |
1) 반도체 박막 정량분석 및 깊이분포도 분석 : SiGe 합금 박막 등
2) 화합물 박막 태양전지 정량분석 및 깊이분포도 분석 : CdTe 박막, GaAs 박막, Cu(In,Ga)Se2 박막 등 3) 금속 합금 박막 정량분석 및 깊이분포도 분석 |
| 시장규모 및 동향 |
가. 사업성 및 시장성 1) CIGS 박막태양전지는 생산라인이 본격 가동될 경우 공정 분석 기술 개발 및 표준이 크게 요구되어 사업성이 매우 높음 2) 태양전지 및 반도체 공정 분석기술 도입에 따른 사업성 및 시장성이 큼 나. 향후 국내의 시장 성장 예상 규모 1) 차세대 반도체 산업에 따른 분석 시장 성장 규모 증대 2) 미국, 일본 및 독일 등 선진국에서 이미 상용화되었으며 국내도 2012년 준공을 목표로 CIGS 박막 태양전지 생산 라인이 설치되고 있어 이에 따른 시장 성장 예상 규모 증대 다. 적용 분야 1) 차세대 반도체 합금박막 정량분석 2) CIGS 박막태양전지 공정 메트롤로지 구축에 따른 태양전지 효율 향상 3) CIGS 박막 제작 공정 최적화와 효율 극대화를 통한 태양전지 이력 및 품질 관리 라. 기대효과 1) 다원합금 정량분석 국가표준 확립 2) 태양전지 산업 현장 분석 소급체계 확립 3) 차세대 화합물 박막 태양전지 개발 선도 |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345165309 |
|---|---|
| 세부과제번호 | K11019 |
| 연구과제명 | KRISS Metrology 4 Green Energy |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 기초기술연구회 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 201101~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345165309 |
|---|---|
| 세부과제번호 | K11019 |
| 연구과제명 | KRISS Metrology 4 Green Energy |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 기초기술연구회 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 201101~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
| [1020110092120] | 열전소자 평가장치의 온도제어 시스템 및 방법 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020110092054] | 열전소자의 열전성능지수 평가방법 | 새창보기 |
| [1020110091886] | 열전소자 평가 장치 | 새창보기 |
| [1020110025425] | 실리콘 양자점에 의한 광활성층 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
| [1020110008943] | 전수합산법을 이용한 이차이온질량분석법에 의한 다성분 합금 박막의 주성분 정량 및 조성깊이분포 분석법 | 새창보기 |
중요키워드
| [KST2017005460][한국표준과학연구원] | 질량분석기용 사중극자 질량 필터 및 이를 포함하는 사중극자 질량분석기(Quadrupole mass filter and quadrupole mass spectrometer comprising the same) | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2015179762][한국표준과학연구원] | 이온산란분광법을 이용한 생화학물질의 정량 측정방법 및 생화학물질간 결합효율 측정방법 | 새창보기 |
| [KST2017015422][한국표준과학연구원] | 모노크로미터 및 이를 구비한 하전입자선 장치(Monochromator and Charged Particle Beam Instrument comprising the same) | 새창보기 |
| [KST2015180307][한국표준과학연구원] | 높은 공간분해능 레이저 광탈착 이온화 이미징 질량분석을 위한 장치 | 새창보기 |
| [KST2015179917][한국표준과학연구원] | 연소전처리-동위원소희석질량분석법 | 새창보기 |
| [KST2015180192][한국표준과학연구원] | 비행시간이차이온질량분광법을 이용한 질병 지표의 스크린 방법, 질병 지표, 및 질병 진단 장치 | 새창보기 |
| [KST2015179972][한국표준과학연구원] | 초고진공에서의 미세팁의 클리닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2020010409][한국표준과학연구원] | LDI-MS를 이용한 혈액 내 유기물의 측정 방법 및 이를 위한 장치 | 새창보기 |
| [KST2020002366][한국표준과학연구원] | 질량 분석법을 이용한 생체 분자의 고감도 및 고특이적 검출 방법 | 새창보기 |
| [KST2015231162][한국표준과학연구원] | 모노크로메이터 및 이를 구비한 하전입자빔 장치(MONOCHROMATOR AND CHARGED PARTICLE APPARATUS WITH THEREOF) | 새창보기 |
| [KST2016019048][한국표준과학연구원] | 초미세먼지에 포함된 유기원소탄소 측정 장치 및 방법(apparatus and method for measuring organic and elemental carbon in PM2.5) | 새창보기 |
| [KST2015179409][한국표준과학연구원] | 리액션 셀에 이온을 저장/농축하여 감도를 향상시킨유도결합플라즈마 질량분석기 | 새창보기 |
| [KST2016010129][한국표준과학연구원] | 입자빔 질량분석기 및 이를 이용한 입자 측정 방법(Particle Beam Mass Spectrometer and a method for Measuring a particle beam) | 새창보기 |
| [KST2015179594][한국표준과학연구원] | 입자 빔 질량 분석기 | 새창보기 |
| [KST2015180292][한국표준과학연구원] | 나노와이어를 이용한 무 매트릭스 질량 분석 방법 | 새창보기 |
| [KST2015231165][한국표준과학연구원] | 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버, 진공챔버 제작방법 및 이를 이용한 초고진공 하전입자빔 분석장비(MILD STEEL VACCUM CHAMBERS, MANUFACTUAL METHOD AND ULTRAHIGH VACUUM CHARGED PARTICLE ANALYSIS EQUIPMENT USING THEREOF) | 새창보기 |
| [KST2016007001][한국표준과학연구원] | 마이크로 중공사막 효소 반응기-텐덤 질량분석법을 이용한 단세포군 항체 기반 온라인 인단백질 프로테오믹스 분석방법(Monoclonal antibody-based phosphoproteomic method using online mHFER-tandem mass spectrometry) | 새창보기 |
| [KST2014065710][한국표준과학연구원] | 잔류가스질량분석기 상품화기술 개발 | 새창보기 |
| [KST2014052642][한국표준과학연구원] | 입자복합특성측정장치 | 새창보기 |
| [KST2015179485][한국표준과학연구원] | 자기조립 단분자막의 무(無) 매트릭스 레이저 광탈착이온화 질량 분석 방법 | 새창보기 |
| [KST2015180129][한국표준과학연구원] | 화학적 동위원소 치환법을 이용한 혈액 내 뇌성 나트륨 이뇨 펩타이드 질량분석법 | 새창보기 |
| [KST2017015692][한국표준과학연구원] | 모노크로미터 및 이를 구비한 전자선 손실분광 장치(Monochromator and Electron Energy Loss Spectroscopy comprising the same) | 새창보기 |
| [KST2020001842][한국표준과학연구원] | 이차이온질량분석장비를 활용한 박막 두께 측정 방법 | 새창보기 |
| [KST2014042256][한국표준과학연구원] | 레이저 광탈착 이온화 질량분석방법 (SOI 기판) | 새창보기 |
| [KST2014042160][한국표준과학연구원] | 이차이온 질량 분석용 바이오 칩 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015180248][한국표준과학연구원] | 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179825][한국표준과학연구원] | 질병 지표 검출 키트 및 질병 지표 검출 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179542][한국표준과학연구원] | 대기중 유해 물질의 검출 방법 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|