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내부 압력이 수 hPa 이내로 유지되는 챔버(chamber);상기 챔버 내에 서로 이격되어 배치되는 제1 스풀과 제2 스풀;일정 각도로 입사된 레이저에 의해 방사선을 발생하도록 형성되며, 상기 스풀들의 회전에 의해 상기 어느 하나의 스풀에서 풀려 다른 하나의 스풀에 감겨지는 금속 테이프; 및상기 금속 테이프가 일정한 장력을 유지하도록, 상기 스풀들에 각각 결합되는 제1 구동부와 제2 구동부를 포함하고,상기 구동부들 중 어느 하나는,모터의 토크를 상기 구동부의 구동축에 전달하는 히스테리시스 클러치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제1항에 있어서,상기 제1 스풀과 제2 스풀 사이에 상기 금속 테이프의 장력을 감지하도록 배치되는 장력 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제2항에 있어서,상기 구동부들은 각각 상기 스풀의 회전각도를 측정할 수 있도록 형성되는 리졸버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제3항에 있어서,상기 장력 센서와 상기 리졸버에서 측정된 값을 근거로, 상기 구동부들의 모터의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제1항에 있어서,상기 히스테리시스 클러치의 토크값을 설정하여 상기 금속 테이프의 장력을 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제1항에 있어서,상기 스풀들과 상기 구동부들이 고정되는 프레임을 더 포함하고,상기 프레임은,상기 금속 테이프를 향하여 조사되는 레이저에 대하여 그 조사각을 조절할 수 있도록, 제1축 이동부와 제2축 이동부를 구비하는 이동 모듈에 결합되는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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제1항에 있어서,상기 금속 테이프는 양 측단에 형성되는 복수의 홀을 포함하고,상기 홀들에 삽입되는 돌기들이 상기 스풀들의 외주에 형성되는 것을 특징으로 하는 고에너지 방사선 발생장치
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