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박막변형거울의 파면 보정장치에 있어서,관측 대상으로부터 전달된 빛의 방향을 곡률조절거울(20)측으로 전환하는 반사체(10)와;상기 반사체(10)를 통해 전달된 빛의 방향을 박막변형거울(40)측으로 전환함과 동시에 곡률 조절기능을 통해 박막변형거울(40)에서의 오목 변형을 보정하는 곡률조절거울(20)과;상기 곡률조절거울(20)을 통해 전달된 빛의 왜곡된 파면을 상쇄시켜 관측장비로 전달하는 것으로, 내측에는 거울역할의 얇은 박막이 구비되며 전기력에 의해 박막의 형태를 변형시키는 박막변형거울(40)과;상기 박막변형거울(40)에서 박막의 형태를 변형시키기 위해 바이어스 전압 및 제어 전압을 인가하는 컨트롤러(50);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치
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제 1항에 있어서,상기의 곡률조절거울(20)은 양의 곡률조절을 통해 박막변형거울(40)에서의 오목 변형을 보정하는 것을 특징으로 하는 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치
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제 1항에 있어서,상기의 곡률조절거울(20)은, 입사된 빛의 방향을 전환하기 위한 거울(22)이 하우징(21) 내부에 수용되고, 상기 거울(22) 주위에는 거울(22)의 지지역할 뿐 아니라 곡률조절을 할 수 있는 다수의 마이크로미터(23-a, 23-b)가 포함된 구성을 갖으며, 상기의 마이크로미터(23-a, 23-b)는 정확한 피치를 가진 나사를 이용하여 회전수에 따른 정확한 이동거리를 제공하는 것을 특징으로 하는 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치
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제 3항에 있어서,상기의 마이크로미터(23-a, 23-b)는, 거울(22) 주위를 고정 지지함과 동시에 비점수차를 조절할 수 있는 제1마이크로미터(23-a)와, 거울(22) 중심부에 설치되어 거울(22)의 곡률을 조절하는 제2마이크로미터(23-b)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치
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제 1항에 있어서,상기의 곡률조절거울(20)은, 입사된 빛의 방향을 전환하기 위한 거울(22)이 하우징(21) 내부에 수용되고, 상기 거울(22)의 곡률을 조절하기 위해서는 압전소자가 적용되는 것을 특징으로 하는 곡률조절거울을 이용한 박막변형거울의 파면 보정장치
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