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사발형상으로 형성되어 내부에 성형물이 장착되고, 장착된 성형물을 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비되며, 하단부 외주연을 감싸도록 설치되어 성형압력에 의한 변역을 억제하는 지지링(118)이 구비된 하부 진공챔버(110);상기 하부 진공챔버(110)가 설치되는 프레임(120);상기 하부 진공챔버(110)와 결합되어 성형을 위한 챔버를 형성하도록 뒤집어 놓은 사발형상으로, 내부에 몰드가 장착되고, 장착된 몰드를 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비된 상부 진공챔버(130);상기 상부 진공챔버(130)의 상부에 설치되어 상부 진공챔버(130)에 장착된 상기 몰드를 승하강시키는 성형용 실린더(140);상기 상부 진공챔버(130)의 상부에 위치하도록 상기 프레임(120)에 설치되며, 상기 상부 진공챔버(130)와 연결되어 상부 진공챔버(130)를 승하강시키는 승하강용 실린더(150);상기 하부 진공챔버(110)와 상부 진공챔버(130)의 결합상태를 구속하도록 상기 프레임(120)에 설치된 다수개의 클램프(160)들 및상기 하부 진공챔버(110)와 상부 진공챔버(130)의 결합에 의해 형성된 챔버를 진공화시키는 진공수단(170);을 구비하는 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하부 진공챔버(110)는,상기 프레임(120)에 설치된 사발형상의 하부 챔버몸체(111);상기 하부 챔버몸체(111)의 내부에 설치되며 외부로부터 공급되는 냉각수가 순환되는 냉각채널이 내부에 구비된 하부 냉각판(112);상기 하부 냉각판(112)의 상부에 설치되고, 내부에 하부 냉각판(112)의 냉각채널과는 또 다른 냉각채널이 구비되어 냉각수 또는 공기가 선택적으로 순환되는 하부 보조냉각판(113);상기 하부 보조냉각판(113)의 상부에 설치되며 인가되는 전기에 의해 열을 발산하는 니켈선이 구비된 하부 가열판(114); 및상기 하부 가열판(114)의 상부에 놓여지는 성형물의 둘레에서 상호 등각도 간격을 갖도록 설치되어 성형물을 고정하는 다수개의 하부 고정지그(115)들;로 구성된 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 진공챔버(130)는,뒤집어 놓은 사발형상의 상부 챔버몸체(131);상기 상부 챔버몸체(131)의 내부에 설치되며 외부로부터 공급되는 냉각수가 순환되는 냉각채널이 내부에 구비된 상부 냉각판(132);상기 상부 냉각판(132)의 하부에 설치되고, 내부에 상부 냉각판(132)의 냉각채널과는 또 다른 냉각채널이 구비되어 냉각수 또는 공기가 선택적으로 순환되는 상부 보조냉각판(133);상기 상부 보조냉각판(133)의 하부에 설치되며 인가되는 전기에 의해 열을 발산하는 니켈선이 구비된 상부 가열판(134); 및상기 하부 가열판(114)의 하부에 위치하는 몰드의 둘레에서 상호 등각도 간격을 갖도록 설치되어 몰드를 고정하는 다수개의 상부 고정지그(135)들;로 구성된 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서,상기 하부 진공챔버(110)의 내측에 설치되어 상기 상부 진공챔버(130)와의 거리를 측정하는 비접촉식 센서(116); 및상기 비접촉신 센서의 수직 상부에 위치하도록 상기 상부 진공챔버(130)의 내측에 설치는 타겟(136);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서,상기 상부 진공챔버(130)와 함께 승하강하도록 설치되며, 상부 진공챔버(130)가 완전히 상승되었을 때, 프레임(120)에 형성된 홀(122)에 일치하는 안전핀(181)이 출몰가능하게 구성된 안전핀 실린더(180)를 더 포함하여 상부 진공챔버의 예기치 않은 추락을 방지하는 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서,상기 하부 진공챔버(110)를 중심으로 원형 배열구조를 갖도록 설치된 다수개의 가이드봉(117)들;상기 상부 진공챔버(130)를 중심으로 원형 배열구조를 갖도록 설치되어 하부 진공챔버(110)와 상부 진공챔버(130)가 근접하면 상기 가이드봉(117)이 내부로 삽입되어 두 진공챔버(110,130)가 정위치에서 밀착되도록 안내하는 원통형의 가이드(137)들;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공수단(170)은,상기 하부 진공챔버(110)에 구비되어 하부 진공챔버(110)와 상부 진공챔버(130)의 결합에 의해 형성되는 챔버로 질소가 투입되도록 하는 질소투입구(171);상기 질소투입구(171)를 통한 질소 투입시 챔버를 대기개방시키는 개방구(172); 및상기 질소투입구(171)를 통한 질소의 투입이 완료되어 질소투입구(171) 및 개방구(172)가 차단되면, 챔버의 진공화를 위한 진공펌프와 챔버를 연결하여 챔버를 진공화시키는 공기 흡입구(173);로 구성된 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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제 1 항에 있어서, 상기 클램프(160)들은,상기 하부 진공챔버(110)의 주위에서 하부 진공챔버(110)를 중심으로 원형배열구조를 갖도록 상기 프레임(120)에 설치되며,각각의 클램프(160)들은, 상기 프레임(120)에 설치된 고정용 실린더(161)와, 상기 고정용 실린더(161)의 실린더로드에 일단이 연결되고 그의 중심부가 고정용 실린더(161)로부터 수직하게 연장된 힌지브라켓(163)에 회동가능하게 결합되며 나머지 타단이 하부 진공챔버(110)을 향해 연장되게 형성된 고정레버(162)로 구성된 것을 특징으로 하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치
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