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자석의 진동에 따른 유도전류를 생성하는 발전장치에 사용되는 미세 코일에 있어서,
중앙 영역에 상기 자석이 배치되는 중공이 형성되어 있고, 상기 중공 둘레를 따라 단위 코일 패턴이 형성되어 있으며, 상기 단위 코일 패턴과 접촉되도록 금속 배선이 형성되어 있는 비아홀을 구비한 복수 개의 기판과,
상기 기판의 중공에 대응하는 위치에 중공이 형성되어 있으며 복수 개의 기판들 사이에 개재되어, 상기 단위 코일 패턴들을 전기적으로 상호 연결시키면서 상기 복수 개의 기판들을 적층된 형태로 접착시키는 하나 이상의 이방성 전도 필름을 포함하여 구성되고,
상기 금속배선은 구리를 상기 비아홀에 전기 도금하는 방식 또는 도전성의 페이스트를 상기 비아홀에 매립하고 경화시키는 방식으로 형성된 것을 특징으로 하는 미세 코일
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제1항에 있어서,
상기 기판의 재질은 폴리이미드 또는 BT(Bismaleimide Triazine) 수지인 것을 특징으로 하는 미세 코일
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제1항에 있어서,
상기 기판에 형성된 비아홀은 하나이고,
상기 단위 코일 패턴은 일단이 상기 비아홀에 형성된 금속 배선에 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 복수 회 감는 직렬 권선방식으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미세 코일
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제1항에 있어서,
상기 기판에 형성된 비아홀은 복수 개이고,
상기 단위 코일 패턴은 상기 복수 개의 비아홀에 형성된 금속배선들에 각각 독립적으로 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 감는 병렬 권선방식으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미세 코일
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자석의 진동에 따른 유도전류를 생성하는 발전장치에 사용되는 미세 코일 제조방법으로서,
(a1) 구리층이 형성된 기판에 비아홀을 형성하는 단계;
(b1) 상기 비아홀에 금속배선을 형성하는 단계;
(c1) 상기 구리층을 식각하여 상기 비아홀에 형성된 금속배선에 접촉된 단위 코일 패턴을 형성하는 단계;
(d1) 상기 단위 코일 패턴과 상기 비아홀이 형성된 기판들 사이에 이방성 전도 필름을 개재시켜 상기 기판들에 형성된 단위 코일 패턴들을 서로 연결시키는 단계; 및
(e1) 상기 단위 코일 패턴 내부의 기판 영역과 이방성 전도 필름 영역을 제거하여 상기 단위코일 패턴의 중앙 영역에 상기 자석이 배치되는 중공을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되고,
상기 (b1) 단계에서,
상기 금속배선은 구리를 상기 비아홀에 전기 도금하는 방식 또는 도전성의 페이스트를 상기 비아홀에 매립하고 경화시키는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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자석의 진동에 따른 유도전류를 생성하는 발전장치에 사용되는 미세 코일 제조방법으로서,
(a2) 구리층이 형성된 기판의 중앙 영역을 제거하여 상기 자석이 배치되는 중공을 형성하는 단계;
(b2) 상기 중공이 형성된 기판에 비아홀을 형성하는 단계;
(c2) 상기 비아홀에 금속배선을 형성하는 단계;
(d2) 상기 구리층을 식각하여 상기 비아홀에 형성된 금속배선에 접촉된 단위 코일 패턴을 형성하는 단계; 및
(e2) 상기 단위 코일 패턴과 상기 비아홀이 형성된 기판들 사이에 상기 중공에 대응하는 위치에 중공이 형성된 이방성 전도 필름을 개재시켜 상기 기판들에 형성된 단위 코일 패턴들을 서로 연결시키는 단계;를 포함하여 구성되고,
상기 (c2) 단계에서,
상기 금속배선은 구리를 상기 비아홀에 전기 도금하는 방식 또는 도전성의 페이스트를 상기 비아홀에 매립하고 경화시키는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 단위 코일 패턴의 재질은 구리이고,
상기 기판의 재질은 폴리이미드 또는 BT(Bismaleimide Triazine) 수지인 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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제5항에 있어서,
상기 (a1) 단계에서, 상기 기판에 하나의 비아홀을 형성하고,
상기 (c1) 단계에서, 상기 단위 코일 패턴이 상기 하나의 비아홀에 형성된 금속 배선에 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 복수회 감는 직렬 권선방식으로 상기 단위 코일 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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제5항에 있어서,
상기 (a1) 단계에서, 상기 기판에 복수개의 비아홀을 형성하고,
상기 (c1) 단계에서, 상기 단위 코일 패턴이 상기 복수개의 비아홀에 형성된 금속배선들에 각각 독립적으로 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 감는 병렬 권선방식으로 상기 단위 코일 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 (b2) 단계에서, 상기 기판에 하나의 비아홀을 형성하고,
상기 (d2) 단계에서, 상기 단위 코일 패턴이 상기 하나의 비아홀에 형성된 금속 배선에 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 복수회 감는 직렬 권선방식으로 상기 단위 코일 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 (b2) 단계에서, 상기 기판에 복수개의 비아홀을 형성하고,
상기 (d2) 단계에서, 상기 단위 코일 패턴이 상기 복수개의 비아홀에 형성된 금속배선들에 각각 독립적으로 접촉된 상태로 상기 중공 둘레를 감는 병렬 권선방식으로 상기 단위 코일 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 코일 제조방법
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