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대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부가 구비된 집속이온빔 가공장치에 있어서,상기 스테이지의 상부 일측 또는 양측에 설치되어 스테이지와는 별도로 대상물을 고정하고, 고정된 대상물이 상기 이온빔 조사부의 수직 하단부에서 수평한 회전축을 갖도록 대상물을 회전시키는 회전용 고정부를 구비하되,상기 회전용 고정부는 상기 스테이지의 상단부에 고정되며 그의 일부분이 스테이지의 상방향으로 돌출된 구조를 갖는 브라켓과, 상기 브라켓의 일측면에 회전가능하게 설치되며 상호 근접하도록 모여지거나 멀어지도록 이동하여 대상물을 고정하는 다수개의 조우들이 구비된 척과, 상기 브라켓의 타측면에 설치되며, 상기 척과 연결되어 척을 회전시키는 구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치
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대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부와, 상기 스테이지의 상부 양측에 설치되어 또 다른 대상물을 회전가능하게 고정하는 회전용 고정부를 구비한 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용함에 있어서,상기 회전용 고정부에 원통형 대상물을 고정하는 단계;상기 회전용 고정부에 고정된 대상물을 회전시키는 단계;상기 회전용 고정부에 의해 회전하는 대상물에 상기 이온빔 조사부로서 집속이온빔을 조사하되, 대상물로 조사되는 이온빔이 대상물의 중심으로부터 어긋난 상태로 대상물에 조사되도록 함과 더불어 이온빔이 대상물의 길이방향으로써 대상물의 중심축선에 대하여 근접하거나 멀어지도록 스캐닝하여 조사하는 단계;로 이루어져 끝단이 뾰족한 원통형 소재를 가공하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용한 가공방법
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대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부와, 상기 스테이지의 상부 양측에 설치되어 또 다른 대상물을 회전가능하게 고정하는 회전용 고정부를 구비한 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용함에 있어서,대상물의 표면에 포토레지스트를 도포하여 PR층을 형성하는 단계;상기 단계를 거쳐 PR층이 구비된 대상물을 회전용 고정부에 고정하는 단계;상기 회전용 고정부에 고정된 상기 대상물에 상기 이온빔 조사부로서 조사되는 집속이온빔이 점형태로 조사되도록 하되, 대상물로 조사되는 집속이온빔이 대상물의 표면에 수직한 상태를 유지하도록 집속이온빔의 조사위치에 따라 대상물을 소정각도로 틸팅시키는 단계; 및상기 단계를 거쳐 다수개의 홈들이 가공된 대상물을 회전용 고정부로부터 빼어낸 뒤, 현상액에 담그어 PR층을 제거하는 단계;로 이루어져 대상물의 표면에 렌즈형상을 갖는 홈을 가공하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용한 가공방법
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제 4 항에 있어서,상기 회전용 고정부는 스테이지의 상단부에 상호 대칭구조를 갖도록 한쌍이 제공되어, 상기 대상물의 대향하는 양단을 고정하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용한 가공방법
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대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부와, 상기 스테이지의 상부 양측에 설치되어 또 다른 대상물을 회전가능하게 고정하는 회전용 고정부를 구비한 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용함에 있어서,상기 회전용 고정부에 원통형 대상물을 고정하는 단계;상기 스테이지와 회전용 고정부 및 이온빔 조사부를 포함하는 밀폐된 공간을 형성하고, 그 내부에 증착될 금속원소가 포함된 증착원을 충진하는 단계;상기 회전용 고정부를 이용해 상기 대상물을 회전시키며, 상기 이온빔 조사부로부터 조사되는 집속이온빔이 상기 대상물에 수직하게 조사되도록 하여 대상물의 외주면에 코팅막을 형성하는 단계:로 이루어진 것을 특징으로 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치를 이용한 가공방법
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