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플라즈마 질화방법

  • 기술번호 : KST2014066125
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질화 반응성 향상을 통해 화합물층과 경화층을 신속하고 두껍게 형성하여 침탄 대체 기술로 사용함과 아울러, 내마모 및 내식 특성을 향상시키고, 경도값을 증가시킬 수 있도록 한 포스트 플라즈마를 이용한 자동차 부품용 질화방법에 관한 것이다. 이를 위해, 노 내의 온도를 공정 온도까지 승온시켜 시편을 가열하고, 압력을 공정압력으로 유지시키고, 온도를 570℃ 이상 상승시킨 후 Ar과 H2를 투입하면서 시편 표면을 이온 에칭하며, 노 내의 압력을 3Torr 이상으로 유지시키고 N2와 H2 및 탄화수소 가스를 투입하며 스크린망에 20A 이상의 전류를 인가하면서 1~9시간 동안 질화시키고, 노 내부에 N2를 투입하여 시편을 냉각시키는 것을 특징으로 한다. 상기한 구성에 따라, 노 내부의 질화 조건을 제어하여 시편과 질화가스와의 반응성을 높이므로, 화합물층과 경화층의 형성을 촉진하여 경화층을 신속하게 형성하고 화합물층을 두껍게 성형하므로, 자동차 구동 부품계의 침탄기술을 대체하는 질화 처리가 가능한 효과가 있다. 포스트 플라즈마, 질화, 스크린망, 화합물층, 경화층.
Int. CL C23C 8/24 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
CPC C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01) C23C 8/24(2013.01)
출원번호/일자 1020090009719 (2009.02.06)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1074164-0000 (2011.10.10)
공개번호/일자 10-2010-0090444 (2010.08.16) 문서열기
공고번호/일자 (20111017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문경일 대한민국 인천 남구
2 이원범 대한민국 인천 연수구
3 고영기 대한민국 경기도 남양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 장인금속(주) 경기도 시흥시 공단*대로 **
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0074937-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0042300-57
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0139462-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0299324-83
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0299325-28
8 등록결정서
Decision to grant
2011.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0526346-93
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
노 내부에 시편을 장입 및 가열하고 시편 외부의 스크린망에서 발생된 플라즈마에 기체를 통과시켜 상기 시편을 질화시키는 방법에 있어서, 3×10-3 Torr의 진공 압력에서 노(10) 내의 온도를 570℃까지 승온 및 예열시켜 시편(P)을 가열하는 예열공정(P10)과; 노(10) 내의 압력을 0
2 2
제 1항에 있어서, 상기 탄화수소 가스는 프로판(C3H8)과 메탄(CH4) 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 포스트 플라즈마를 이용한 자동차 부품용 질화방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.