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레이저 가공을 수행하는 레이저 가공 장치(100)에 있어서,펄스폭이 펨토초 이하의 극초단 펄스 레이저 빔을 발생시키는 레이저 광원(110);상기 레이저 광원(110)에서 발생된 빔을 분광하여 상기 가공 대상물(500) 측으로 보내는 빔 스플리터(beam splitter, 120);상기 빔 스플리터(120)에서 보내진 빔을 상기 가공 대상물(500)의 가공 부위로 집광하는 대물 렌즈(130);상기 가공 대상물(500)이 그 위에 놓여지며, 제어부(150)에 의하여 x, y, z 3축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 스테이지(140);상기 대물 렌즈(130)에 연결 구비되며, 상기 제어부(150)에 의하여 제어되어 상기 대물 렌즈(130)에 진동을 가하는 진동자(160);상기 진동자(160) 및 상기 제어부(150)와 연결되어, 상기 제어부(150)에서 전달되는 제어 신호를 사용하여 상기 진동자(160)를 직접 제어하는 진동 제어부(165);를 포함하여 이루어지며,상기 진동 제어부(165)는, 압전소자를 포함하여 이루어져 진동을 증폭시켜 진동 신호를 상기 진동자(160)로 전달하는 PZT 증폭기(161), 상기 제어부(150)와 연결되어 상기 제어부(150)에서 전달된 제어 신호를 사용하여 진동 신호를 발생시켜 상기 PZT 증폭기(161)로 전달하는 함수 발생기(162)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 진동 제어부(165)는상기 제어부(150)와 상기 함수 발생기(162) 사이에 연결되어 상기 제어부(150)에서 전달되는 제어 신호를 관측 가능하도록 출력하는 신호 관측부(163)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 4항에 있어서, 상기 신호 관측부(163)는오실로스코프로 구현되는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 장치(100)는상기 가공 대상물(500)로 조사되어 반사되어 나온 빔을 입사받아 상기 가공 대상물(500)의 영상을 취득하는 이미지 센서(170);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 6항에 있어서, 상기 제어부(150)는상기 이미지 센서(170)와 연결되어, 상기 이미지 센서(170)에서 취득된 영상을 사용하여 상기 스테이지(140)의 이동 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 6항에 있어서, 상기 이미지 센서(160)는CCD 카메라로 구현되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 기술을 이용한 기판 상 박막의 선택적 제거 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 장치(100)는상기 레이저 광원(110)에서 발생되는 빔의 출력 여부 또는 정도를 조절하도록,개폐 여부에 따라 레이저 빔의 출력 여부를 조절하는 셔터(181);레이저 빔의 출력 정도를 조절하는 ND 필터(neutral density filter, 182);레이저 빔의 출력 정도를 조절하는 어퍼쳐(aperture, 183);중 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 장치(100)는상기 레이저 광원(110)에서 발생되는 빔의 광경로를 조절하는 적어도 하나 이상의 미러를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
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