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작동유 공급을 위한 서보밸브(10);상기 서보밸브(10)와 연결되고, 상기 작동유를 위한 공급로(22)를 구비한 실린더하우징(20);피스톤(31)과, 상기 피스톤(31) 양측에 연결되는 피스톤로드(33)(35)를 포함하고, 상기 실린더하우징(20) 내부에 배치되는 작동부(30);상기 작동부(30)의 피스톤로드(33)(35)에 장착되어 상기 피스톤(31) 양측에 이격 배열되고, 상기 작동유에 의하여 상기 각 피스톤로드(33)(35)를 미끄럼 지지하는 정압베어링(40); 및상기 작동부(30)의 피스톤(31)에 장착되고, 상기 정압베어링(40)들 사이에 배열되는 피스톤부시(50);을 포함하여 이루어지되,상기 실린더하우징(20)의 내경에 삽입 고정되는 상기 정압베어링(40)의 외경 및 상기 피스톤부시(50)의 외경은 동일하고,상기 피스톤부시(50)는 상기 피스톤(31)과 상기 정압베어링(40)을 이격 지지하기 위해 상기 피스톤(31)보다 돌출 형성되어 상기 정압베어링(40)을 접촉 지지하는 이격부(53)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고 정밀 동심 형 고 응답성 유압서보 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 피스톤부시(50)는 원주방향을 따라 형성되고, 지름방향으로 관통 형성되는 다수의 제1 유로(51)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고 정밀 동심 형 고 응답성 유압서보 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 피스톤부시(50)의 이격부(53)는 상기 실린더하우징(20)의 공급로(22)와 연통되고, 상기 피스톤(31)과 상기 정압베어링(40) 간의 이격공간(S)으로 작동유를 유입시키기 위한 소통로(53a)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고 정밀 동심 형 고 응답성 유압서보 액추에이터
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제 4 항에 있어서,상기 작동부(30)의 피스톤(31)은 외주면 가장자리에 구비되어 작동유가 유입되는 단턱공간부(31a)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고 정밀 동심 형 고 응답성 유압서보 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 정압베어링(40)은 원주방향을 따라 다수 형성되고, 지름방향으로 관통 형성되는 다수의 제2 유로(41)가 구비되고,상기 제2 유로(41)에는 상기 피스톤로드(33)(35)와 작동유와의 접촉면적을 증대시키기 위한 확대유로(43)가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고 정밀 동심 형 고 응답성 유압서보 액추에이터
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