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복수의 챔버들을 갖고 회전 가능하게 형성된 판상의 플랫폼; 및상기 챔버들의 연통을 통제하는 밸브;를 포함하고,상기 밸브는 탄성을 갖는 탄성 구동부와 상기 탄성 구동부에 접하도록 설치되어 상기 탄성 구동부를 이동시키는 가압부재를 포함하며,상기 플랫폼은 제1 기판과 상기 제1 기판에 대향 배치된 제2 기판을 포함하고 상기 탄성 구동부는 상기 제1 기판과 일체로 형성된 미세 유동 장치
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제1항에 있어서,상기 가압부재는 회전에 의하여 높이방향으로 이동하는 막대 형상으로 이루어진 미세 유동 장치
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제2항에 있어서,상기 가압부재에는 상기 가압부재를 지지하는 지지 너트가 결합 설치된 미세 유동 장치
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제3항에 있어서,상기 가압부재는 상단에 홈이 형성된 나사로 이루어진 미세 유동 장치
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제3항에 있어서,상기 가압부재는 외면에 나사산이 형성된 기둥부와 기둥부의 상단에 연결 형성된 헤드부를 갖고, 상기 헤드부에는 상기 헤드부를 가로지르는 영구자석막대가 삽입 설치된 미세 유동 장치
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제3항에 있어서,상기 가압부재는 볼트로 이루어진 미세 유동 장치
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제3항에 있어서,상기 지지 너트는 상기 제1 기판 내부에 삽입 설치된 미세 유동 장치
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제7항에 있어서,상기 가압부재는 상기 제1 기판에 부분적으로 삽입 설치된 미세 유동 장치
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제7항에 있어서,상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에는 상기 챔버들을 연결하는 유로가 형성되고, 상기 밸브가 상기 유로를 개폐하며, 상기 탄성 구동부는 상기 유로와 접하도록 설치된 미세 유동 장치
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복수의 챔버들을 갖고 회전 가능하게 형성된 판상의 플랫폼; 및상기 챔버들의 연통을 통제하는 밸브;를 포함하고,상기 밸브는 탄성을 갖는 탄성 구동부와 상기 탄성 구동부에 접하도록 설치되어 상기 탄성 구동부를 이동시키는 가압부재를 포함하며, 상기 플랫폼은 제1 기판과 상기 제1 기판에 대향 배치된 제2 기판을 포함하고, 상기 제2 기판에는 상기 탄성 구동부의 하부에서 상기 탄성 구동부를 향하여 돌출된 밸브 돌기가 형성된 미세 유동 장치
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제10항에 있어서,상기 유로의 높이는 상기 가압부재의 이동범위보다 낮게 형성되는 미세 유동 장치
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제1항에 있어서,상기 탄성 구동부는 실리콘, 폴리부타디엔, 부틸, 폴리이소프렌, 클로로프렌을 포함하는 물질로 이루어진 미세 유동 장치
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제1항에 있어서,상기 탄성 구동부는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS)으로 이루어진 미세 유동 장치
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제1 항에 있어서,상기 플랫폼에는 상기 플랫폼을 회전시키는 모터가 연결 설치된 미세 유동 장치
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제15항에 있어서,상기 플랫폼에는 상기 플랫폼에 빛을 조사하는 광원과 상기 플랫폼을 통과한 빛을 분석하는 분광기가 연결 설치된 미세 유동 장치
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