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하이드로젤 기반 원자현미경 마이크로캔틸레버 상용화
- 기술번호 : KST2014066822
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 접합 베이스 및 비접합 베이스를 갖는 베이스 블록의 상면에 미소 캔틸레버를 위한 액상의 캔틸레버용 합성수지를 미소 캔틸레버의 두께에 대응하게 형성하는 단계, 및 액상의 캔틸레버용 합성수지를 접합 베이스 및 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 경화시키는 단계를 포함할 수 있으며, 접합 베이스는 경화된 캔틸레버용 합성수지에 대해서 비접합 베이스보다 상대적으로 강한 접합성을 갖는다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 33/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020130129551 (2013.10.29) |
| 출원인 | 서강대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1450749-0000 (2014.10.07) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20141017) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2013.10.29) |
| 심사청구항수 | 24 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서강대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이정철 | 대한민국 | 서울 강남구 |
| 2 | 이일 | 대한민국 | 경상남도 함안군 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 지현조 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 토정로 ***(신수동) *층(제니스특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서강대학교산학협력단 | 서울특별시 마포구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0982823-66 |
| 2 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0657233-85 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5005781-67 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5014626-89 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 소정의 두께를 갖는 미소 캔틸레버의 제조방법에 있어서,접합 베이스 및 비접합 베이스를 갖는 베이스 블록을 제공하는 단계;상기 베이스 블록의 상면에 액상의 캔틸레버용 합성수지를 상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하게 제공하는 단계; 및 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 경화시키는 단계;를 포함하며, 상기 접합 베이스는 경화된 상기 캔틸레버용 합성수지에 대해서 상기 비접합 베이스보다 상대적으로 강한 접합성을 갖는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 비접합 베이스는 경화된 상기 캔틸레버용 합성수지와 비접합성을 갖는 재질을 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 3 |
3 제2항에 있어서,상기 비접합 베이스는 폴리디메틸실록산을 포함하며, 상기 캔틸레버용 합성수지는 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트를 포함하여, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지가 경화되어 형성되는 상기 미소 캔틸레버는 상기 접합 베이스 상면에 접합되며, 상기 비접합 베이스의 상면에는 비접합되는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 4 |
4 제1항에 있어서,액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하는 두께로 제공하는 단계는, 상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하는 간격을 두고 배치되는 상기 베이스 블록 및 커버 블록 사이로 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 유입시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 5 |
5 제4항에 있어서,상기 베이스 블록의 상면 및 상기 커버 블록이 밀착된 상태에서 상기 베이스 블록 및 상기 커버 블록을 이격시켜 모세관 현상에 의해서 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 베이스 블록 및 상기 커버 블록 사이로 유입시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 6 |
6 제4항에 있어서,상기 커버 블록은 경화된 상기 캔틸레버용 합성수지와 비접합성을 갖는 재질을 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 7 |
7 제6항에 있어서,상기 커버 블록은 폴리디메틸실록산을 포함하며, 상기 캔틸레버용 합성수지는 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트를 포함하여, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지가 경화되어 형성되는 상기 미소 캔틸레버는 상기 커버 블록에 비접합되는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 8 |
8 제1항에 있어서,상기 접합 베이스는 유리를 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 9 |
9 제1항에 있어서,액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 경화시키고 나서, 상기 비접합 베이스를 제거하여 상기 미소 캔틸레버의 일단은 상기 접합 베이스에 접합되고, 상기 미소 캔틸레버의 타단은 자유단으로 제공되는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 10 |
10 제1항에 있어서,상기 캔틸레버용 합성수지에 광 경화제를 포함시키고, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스를 경유하도록 경화시키는 단계는, 상기 캔틸레버용 합성수지에 광을 조사하여 경화시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 11 |
11 제1항에 있어서,상기 베이스 블록은, 상기 접합 베이스를 상기 비접합 베이스를 위한 합성수지에 침지시킨 상태에서 상기 합성수지를 경화시키고, 상기 접합 베이스 상면을 노출시키게 경화된 상기 합성수지를 절개하여 형성되는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 12 |
12 제1항에 있어서,복수개의 상기 미소캔틸레버를 동시에 형성하기 위하여, 상기 비접합 베이스에 복수개의 상기 접합 베이스를 배치하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 13 |
13 제1항에 있어서,액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 경화시키는 단계에서, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지의 경화를 위한 광의 노출 조절하는 마스크를 이용하여, 상기 미소 캔틸레버 표면에서 돌출되는 팁을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 14 |
14 제13항에 있어서,상기 마스크는 상기 팁의 높이에 따라서 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지에 노출되는 광량을 조절하는 마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 15 |
15 제1항에 있어서,상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하는 간격을 두고 배치되는 상기 베이스 블록 및 커버 블록 사이로 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 유입시키되, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지에 노출되는 일면에 홈 형상의 리버스부를 갖는 상기 커버 블록을 이용하여 상기 미소 캔틸레버 표면에 상기 리버스부에 대응하는 팁을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 16 |
16 제1항에 있어서,상기 액상의 캔틸레버용 합성수지는 ABS수지(acrylonitrile butadiene styrene), 폴리메틸메타크릴레이트(poly methyl methacrylate; PMMA), 폴리이미드(polyimide), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리하이드로메타크릴레이트(poly hydroxyethyl methacrylate; PHEMA), 폴리비닐알코올(poly vinyl alcohol), 폴리비닐피롤리돈, 아크릴로일아세톤(acryloylacetone)/아크릴아미드(acrylamide)/N,N’-메틸렌비스아크릴아미드(N,N’-methylene bisacrylamide; MBAAm) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법 |
| 17 |
17 미소 캔틸레버 블록에 있어서,접합 베이스 및 비접합 베이스를 갖는 베이스 블록; 및 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 상기 베이스 블록의 상면에 배치되는 액상의 캔틸레버용 합성수지를 경화시켜 형성되는 미소 캔틸레버;를 포함하며, 상기 접합 베이스는 경화된 상기 캔틸레버용 합성수지에 대해서 상기 비접합 베이스보다 상대적으로 강한 접합성을 갖는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버 블록 |
| 18 |
18 소정의 두께를 갖는 미소 캔틸레버의 안착을 위한 베이스 블록에 있어서, 상면에 상기 미소 캔틸레버를 위한 액상의 캔틸레버용 합성수지가 제공되는 접합 베이스 및 비접합 베이스를 포함하며, 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 배치되는 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지가 경화 형성되는 상기 미소 캔틸레버가 상기 비접합 베이스보다 상기 접합 베이스에 상대적으로 강한 접합성을 갖는 것을 특징으로 하는 베이스 블록 |
| 19 |
19 제18항에 있어서,상기 접합 베이스를 상기 비접합 베이스를 위한 합성수지에 침지시킨 상태에서 상기 합성수지를 경화시키고, 상기 접합 베이스 상면을 노출시키게 경화된 상기 합성수지를 절개하여 형성되는 것을 특징으로 하는 베이스 블록 |
| 20 |
20 미소 캔틸레버의 제조장치에 있어서,상기 미소 캔틸레버를 위한 액상의 캔틸레버용 합성수지가 수용되는 수용 수조; 및 접합 베이스 및 비접합 베이스를 갖는 베이스 블록이 안착되며, 상기 수용 수조 내에서 이동하는 스테이지;를 포함하며, 상기 스테이지를 이동시켜 상기 베이스 블록의 상면에 액상의 캔틸레버용 합성수지를 상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하게 제공한 후, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 접합 베이스 및 상기 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 경화시켜 상기 비접합 베이스보다 상대적으로 강한 접합성을 갖는 미소 캔틸레버의 제조장치 |
| 21 |
21 제20항에 있어서,액상의 상기 캔틸레버용 합성수지에 일면이 접촉하는 커버 블록을 더 포함하며, 상기 스테이지를 상기 커버 블록의 상기 일면에 밀착시킨 상태에서 이격시켜 상기 캔틸레버용 합성수지를 상기 베이스 블록 및 상기 커버 블록 사이로 유입시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조장치 |
| 22 |
22 제20항에 있어서,상기 미소 캔틸레버 표면에서 돌출되는 팁을 형성하기 위하여 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지의 경화를 위한 광의 노출 조절하는 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조장치 |
| 23 |
23 제22항에 있어서,상기 마스크는 상기 팁의 높이에 따라서 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지에 노출되는 광량을 조절하는 마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조장치 |
| 24 |
24 제21항에 있어서,상기 미소 캔틸레버의 두께에 대응하는 간격을 두고 배치되는 상기 베이스 블록 및 커버 블록 사이로 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지를 유입시키되, 액상의 상기 캔틸레버용 합성수지에 노출되는 일면에 홈 형상의 리버스부를 갖는 상기 커버 블록을 이용하여, 상기 미소 캔틸레버 표면에 상기 리버스부에 대응하는 팁을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP03064471 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 2 | US10202276 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | US20160236929 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | WO2015064816 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
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| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
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| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
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| 특허 등록번호 | 10-1450749-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20131029 출원 번호 : 1020130129551 공고 연월일 : 20141017 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140925 청구범위의 항수 : 24 유별 : B81C 1/00 발명의 명칭 : 미소 캔틸레버 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 490,500 원 | 2014년 10월 08일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 397,600 원 | 2017년 09월 27일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 284,000 원 | 2018년 10월 04일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 326,600 원 | 2020년 02월 26일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 506,000 원 | 2020년 10월 05일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0982823-66 |
| 2 | 등록결정서 | 2014.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0657233-85 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5005781-67 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5014626-89 |
| 기술번호 | KST2014066822 |
|---|---|
| 자료제공기관 | 미래기술마당 |
| 기술공급기관 | 서강대학교 |
| 기술명 | 하이드로젤 기반 원자현미경 마이크로캔틸레버 상용화 |
| 기술개요 |
접합 베이스 및 비접합 베이스를 갖는 베이스 블록의 상면에 미소 캔틸레버를 위한 액상의 캔틸레버용 합성수지를 미소 캔틸레버의 두께에 대응하게 형성하는 단계, 및 액상의 캔틸레버용 합성수지를 접합 베이스 및 비접합 베이스의 경계를 경유하도록 경화시키는 단계를 포함할 수 있으며, 접합 베이스는 경화된 캔틸레버용 합성수지에 대해서 비접합 베이스보다 상대적으로 강한 접합성을 갖는다. |
| 개발상태 | 유사환경 테스트 |
| 기술의 우수성 |
1) 기존 개발된 폴리머 기반 원자현미경 마이크로캔틸레버의 재료로서 포토리지스트 중 하나인 SU-8 (Microchem 社) 이 있음. SU-8 은 그 탄성계수가 GPa 범위로서 전통적인 멤스 재료보다는 낮지만 다른 폴리머 재질 보다는 상대적으로 높음. 하이드로젤의 경우 분자량을 적절하게 선정하면 다양한 범위에서 탄성계수를 조절 가능하여 기존에 제작할 수 없었던 낮은 강성을 갖는 마이크로캔틸레버 제작이 가능함
2) Two photon initiated polymerization 이나 microstereolithography 기법을 이용하여 하이드로젤 기반 마이크로캔틸레버의 제작이 해외 연구 그룹에서 발표가 되었으나 제작된 마이크로 캔틸레버의 표면이 평탄하지 않고, 두께를 포함한 크기가 상대적으로 크며, 무엇보다도 표면 이미징을 수행하기 위한 탐침이 통합된 연구 개발은 전무함 3) Two photon initiated polymerization 이나 microstereolithography는 레이저를 한 점에 집중 시킨 후 galvo mirror 와 같은 위치 제어 가능한 반사 광학계를 이용하여 광경화 시료에 주사(scanning)하여 한 점씩 경화하여 전체 구조를 제작하므로 긴 공정 시간이 소요됨 |
| 응용분야 |
1) 기능성 하이드로젤 미세 입자 고속 제작 : 본 사업화 과제에서 이용할 동적마스크 리소그래피 셋업을 이용하여 기능성 하이드로젤의 미세 입자를 다양한 형상으로 고속 제작이 가능함
2) 하이드로젤 마이크로니들/마이크로 입자 기반 약물 전달 시스템 : 원자현미경 탐침의 종횡비와 크기를 변경하면 마이크로니들 형태의 약물 전달 시스템 구현이 가능하고 또한 하이드로젤 미세 입자를 이용한 약물 전달 시스템 구현도 가능함 |
| 시장규모 및 동향 |
○ 국내에서 원자현미경 자체를 생산하는 대표적인 업체로서 파크시스템스가 있고, 파크시스템스의 시장 점유율은 10 % 내외임 (1위 업체는 점유율 40 % 인 Bruker). 그러나 원자현미경 마이크로캔틸레버를 생산하여 공급하는 사업체는 주로 해외의 사업체로 국내 원자현미경 대표 업체인 파크시스템스도 외산 마이크로캔틸레버를 공급하고 있는 실정임. 마이크로캔틸레버 관련 시장은 기본적인 표면 topography를 측정하는 이미징 이외에 다양한 기능성이 부가된 기능성 마이크로캔틸레버로 개발되는 추세임. |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1711008147 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-0012942 |
| 연구과제명 | 단일 바이러스 검출용 서브 아토그램급 분해능을 갖는 나노 유동채널 공진 질량 센서 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 201105~201404 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
| [1020130129551] | 하이드로젤 기반 원자현미경 마이크로캔틸레버 상용화 | 새창보기 |
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중요키워드
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