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플라즈마를 이용한 SiC 마이크로 및 나노 분말 합성

  • 기술번호 : KST2014066842
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마젯에 의한 탄화규소(SiC) 분말 합성장치에 관한 것으로, 탄화규소(SiC) 분말 합성장치에 있어서, 내부에 진공분위기를 형성하기 위해 진공펌프를 포함하는 소정 크기의 챔버, 상기 챔버 내부에서 플라즈마 발생을 위해 전원을 공급받고, 메틸트리클로로실란(CH3Cl3Si ; MTS)을 포함하는 혼합가스를 혼합가스 노즐을 통해 공급받고, Ar을 포함하는 반응가스를 반응가스 노즐을 통해 공급받아 아크 플라즈마를 발생시키는 플라즈마토치 및 상기 챔버 선단에 구비되어 합성된 탄화규소 분말을 크기별로 수집하는 사이클론을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 플라즈마젯에 의해 메틸트리클로로실란과 CH4를 합성하여 챔버 내부에서 탄화규소 나노분말을 제조할 수 있다. 탄화규소, 나노분말, 플라즈마, CH4, MTS, 메탈트리클로롤실란
Int. CL C01B 31/36 (2006.01) C04B 35/565 (2006.01) B22F 9/14 (2006.01)
CPC C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01) C01B 32/963(2013.01)
출원번호/일자 1020090082460 (2009.09.02)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1101197-0000 (2011.12.26)
공개번호/일자 10-2011-0024456 (2011.03.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.02)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유인근 대한민국 대전광역시 유성구
2 유석재 대한민국 대전광역시 유성구
3 조승연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2009-0540804-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.07 수리 (Accepted) 9-1-2011-0029120-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0192896-92
5 보정요구서
Request for Amendment
2011.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0193005-17
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0343023-12
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0444614-87
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0444553-90
9 보정요구서
Request for Amendment
2011.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0055091-77
10 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0473706-58
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0530344-05
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0530343-59
13 등록결정서
Decision to grant
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0556778-40
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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탄화규소(SiC) 분말 합성장치에 있어서, 내부에 진공분위기를 형성하기 위해 선단으로 백필터(bag-filter)가 구비된 진공펌프를 포함하는 소정크기의 챔버; 상기 챔버 내부에서 플라즈마 발생을 위해 전원을 공급받고, 메틸트리클로로실란(CH3Cl3Si ; MTS)을 포함하는 혼합가스를 혼합가스 노즐을 통해 공급받고, Ar을 포함하는 반응가스를 반응가스 노즐을 통해 공급받아 아크 플라즈마를 발생시키는 플라즈마토치; 및 상기 챔버 선단에 구비되어 합성된 탄화규소 분말을 크기별로 수집하는 사이클론;을 포함하며, 상기 플라즈마토치는 170 내지 210A의 아크전류를 사용하고, 상기 반응가스는 Ar과 H2의 혼합물 그리고/또는 Ar과 CH4의 혼합물로 이루어지며, 상기 혼합가스는 메틸트리클로로실란과 Ar가스의 혼합물로 이루어지고, 상기 챔버는 수냉식 냉각수단을 더 포함하며, 상기 챔버는 스텐레스스틸 재질로 이루어지고, 상기 진공챔버는 100 내지 600 Torr의 압력내에서 탄화규소 나노분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 플라즈마젯에 의한 탄화규소 분말 합성장치
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