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ECR 플라즈마를 이용한 PVD

  • 기술번호 : KST2014066847
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은, 종래 기술과 비교하여 고속으로 고성능 및 대면적의 박막이 용이하게 획득가능하고 타깃의 이용 효율이 높은 고효율 스퍼터링 장치를 제공하고자 하는 것으로서, 대상물에 박막을 형성하기 위한 장치로서, 회전 중심축을 중심으로 회전 가능한 실린더 형상의 타깃; 상기 타깃 주위에 스퍼터링을 위한 전력을 공급하도록 구성된 전원; 및 상기 타깃 주위에 ECR 플라즈마를 생성하기 위하여 상기 대상물과 상기 타깃 사이에 마이크로파를 도입하도록 구성된 2개의 마이크로파 도입부를 포함하여 이루어지고, 상기 2개의 마이크로파 도입부 각각은, 상기 타깃의 회전 중심축과 평행한 중심축을 갖는 실린더 형상으로 이루어져 상기 타깃을 중심으로 양 측면에 배치되며, 상기 대상물을 향하는 타깃 저부면 방향으로 마이크로파가 안내되도록 실린더의 길이에 걸쳐 장방향으로 형성된 슬릿을 포함한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/357(2013.01) C23C 14/357(2013.01)
출원번호/일자 1020130154637 (2013.12.12)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0069073 (2015.06.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160038253;
심사청구여부/일자 Y (2013.12.12)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성봉 대한민국 전북 군산시
2 박승일 대한민국 전라북도 군산시 오
3 유석재 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-1138379-00
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.08.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0071773-46
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0302646-36
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0656359-48
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-0760058-73
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0867857-67
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0018154-80
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.02.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0125044-07
10 [대리인위임사항변경]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Change of Delegated Particulars of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.02.16 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-0151478-52
11 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2016.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0036065-83
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0182858-61
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0256694-92
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2016.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0305173-55
15 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2016.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0056963-26
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대상물에 박막을 형성하기 위한 스퍼터링 장치에 있어서, 회전 중심축을 중심으로 회전 가능한 실린더 형상의 타깃;상기 타깃 주위에 스퍼터링을 위한 전력을 공급하도록 구성된 전원; 및상기 타깃 주위에 ECR 플라즈마를 생성하기 위하여 상기 대상물과 상기 타깃 사이에 마이크로파를 도입하도록 구성된 하나 이상의 마이크로파 도입부를 포함하여 이루어지고, 상기 마이크로파 도입부는, 상기 타깃의 회전 중심축과 평행한 중심축을 갖는 실린더 형상으로 이루어져 상기 타깃 인근에 배치되며, 상기 대상물을 향하는 타깃 저부면 방향으로 마이크로파가 안내되도록 실린더의 길이에 걸쳐 장방향으로 형성된 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 마이크로파 도입부는 그 중심축을 중심으로 회전 가능하여 마이크로파의 입사 방향 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마이크로파 도입부는, 마이크로파 생성기에서 발생한 마이크로파가 실린더 내부로 도입되는 마이크로파 윈도우; 상기 마이크로파가 상기 마이크로파 윈도우를 지나 진행하면서 상기 슬릿을 통해 플라즈마 안으로 입사되는 실린더형 가이드; 및 상기 플라즈마 안으로 입사되지 않고 남은 마이크로파를 위한 단부를 포함하여 이루어지는 스퍼터링 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 타깃 근처에 2
5 5
대상물에 박막을 형성하기 위한 스퍼터링 장치에 있어서, 각각의 회전 중심축을 중심으로 회전 가능한 실린더 형상으로 이루어지고 서로 나란히 배열된 복수의 타깃;상기 타깃 주위에 스퍼터링을 위한 전력을 공급하도록 구성된 전원; 및상기 타깃 주위에 ECR 플라즈마를 생성하기 위하여 상기 대상물과 상기 타깃 사이에 마이크로파를 도입하도록 구성된 복수의 마이크로파 도입부를 포함하여 이루어지고, 상기 복수의 마이크로파 도입부 각각은, 상기 타깃의 회전 중심축과 평행한 중심축을 갖는 실린더 형상으로 이루어져 상기 타깃들 사이에 배치되며, 상기 타깃 주위에 마이크로파가 안내되도록 실린더의 길이에 걸쳐 장방향으로 형성된 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 복수의 마이크로파 도입부는, 상기 복수의 타깃들 중 최외곽 타깃들의 측면에 각각 배치되는 최외측 마이크로파 도입부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
7 7
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 복수의 마이크로파 도입부는, 상기 대상물의 반대측 상부에 설치되며 2개의 타깃들 사이마다 배치되는 복수의 도입부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 대상물의 반대측 상부에 설치되며 2개의 타깃들 사이마다 배치되는 복수의 도입부들 각각의 슬릿은 상기 2개의 타깃들 사이 방향을 향하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
9 9
제5항에 있어서, 상기 복수의 마이크로파 도입부 각각은 그 중심축을 중심으로 회전 가능하여 마이크로파의 입사 방향 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
10 10
제5항에 있어서, 상기 복수의 마이크로파 도입부 각각은, 마이크로파 생성기에서 발생한 마이크로파가 실린더 내부로 도입되는 마이크로파 윈도우; 상기 마이크로파가 상기 마이크로파 윈도우를 지나 진행하면서 상기 슬릿을 통해 플라즈마 안으로 입사되는 실린더형 가이드; 및 상기 플라즈마 안으로 입사되지 않고 남은 마이크로파를 위한 단부를 포함하여 이루어지는 스퍼터링 장치
11 11
제5항에 있어서, 상기 복수의 타깃들 중 적어도 하나의 근처에 2
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101677441 KR 대한민국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통산자원부 ㈜ 아바코 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업(디스플레이) 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발