요약 | 본 발명은 육불화황의 처리방법 및 처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 육불화황의 처리방법 및 처리장치는 저비용으로 안전하게 육불화황을 처리할 수 있는 매우 효과적인 방법과 장치다. |
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Int. CL | B01J 19/08 (2015.01) C01B 17/45 (2006.01) |
CPC | C01B 17/45(2013.01) C01B 17/45(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130166859 (2013.12.30) |
출원인 | 한국원자력연구원 |
등록번호/일자 | 10-1555875-0000 (2015.09.21) |
공개번호/일자 | 10-2015-0077909 (2015.07.08) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20150930) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.12.30) |
심사청구항수 | 17 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국원자력연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 정인하 | 대한민국 | 전북 정읍시 |
2 | 류재용 | 대한민국 | 경기 고양시 일산서구 |
3 | 이면주 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인 플러스 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국원자력연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1203586-58 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5109542-64 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2014.11.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0089468-91 |
5 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.01.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5004384-59 |
6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5005216-76 |
7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.02.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0115205-84 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.04.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0352455-82 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.04.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0352506-12 |
10 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2015.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0591905-67 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.09.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0880206-15 |
12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2015.09.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-0880196-46 |
13 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2015.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0641768-15 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 a) 방사선 조사에 의해 육불화황과 수소를 반응시켜 황과 불화수소로 분해 및 전환하는 단계;및b) 상기 단계에서 형성된 황을 분리하고, 수득된 불화수소를 금속이온 수용액에 주입하여 불용성의 불소금속염을 형성시키는 단계;를 포함하는 육불화황의 처리방법 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제 1항에 있어서,상기 금속이온은 Li, K, Mg, Ca, Al, Ga, In에서 선택되는 하나 또는 둘이상인 금속의 이온인 육불화황의 처리방법 |
4 |
4 제 1항에 있어서,상기 방사선은 전자빔, 감마선 또는 이온빔인 육불화황의 처리방법 |
5 |
5 제 4항에 있어서,상기 방사선은 총조사선량이 100 내지 500 KGy인 육불화황의 처리방법 |
6 |
6 제 1항에 있어서,상기 수소는 상기 육불화황 1몰에 대하여 3 내지 6몰인 육불화황의 처리방법 |
7 |
7 제 1항에 있어서,상기 육불화황은 육불화황을 단열 또는 절연기체로 사용하는 공정 또는 장치에서 발생하는 것인 육불화황의 처리방법 |
8 |
8 제 1항에 있어서,상기 b)단계에서 얻어진 불소염을 분리하여 회수하는 단계;를 더 포함하는 육불화황의 처리방법 |
9 |
9 육불화황과 수소가 유입되는 챔버;상기 챔버에 유입된 육불화황과 수소를 황과 불화수소로 분해 및 전환시키는 방사선 조사장치;상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 불화수소로부터 황을 회수하는 황 회수장치;및상기 황 회수장치로부터 유입되는 상기 불화수소를 회수 및 농축하는 불화수소 농축장치; 및상기 농축장치의 불화수소 및 금속이온수용액이 유입되어 불소금속염이 생성되는 불화수소 반응장치;를 포함하고, 상기 챔버의 일측면에 상기 방사선이 통과 가능한 티타늄 호일 윈도우가 형성되어 상기 방사선 조사장치가 상기 윈도우에 의해 덮히도록 설치되는 것인 육불화황 처리장치 |
10 |
10 제 9항에 있어서,상기 육불화황은 육불화황을 단열 또는 절연기체로 사용하는 공정 또는 장치에서 발생하는 것인 육불화황 처리장치 |
11 |
11 제 9항에 있어서,상기 육불화황과 상기 수소를 혼합하여 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 가스혼합기를 더 포함하는 육불화황 처리장치 |
12 |
12 제 9항에 있어서,상기 챔버로의 유입 경로상에 마련되어, 다른 화합물의 유입을 방지하도록 형성되는 필터장치를 더 포함하는 육불화황 처리장치 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 제 9항에 있어서,상기 황 회수장치는 상기 챔버로부터의 유출 경로상에 마련되어 상기 황을 포집하도록 형성되며, 상기 불화수소 농축장치는 상기 황 회수장치와 연결되고, 상기 불화수소를 농축시켜 상기 불화수소 반응장치에 유입시키는 것인 육불화황 처리장치 |
15 |
15 제 14항에 있어서,상기 방사선에 의하여 반응하지 못하고, 상기 불화수소 농축장치로부터 유출되는 수소 및 육불화황을 회수하는 수소회수장치를 더 포함하는 육불화황 처리장치 |
16 |
16 제 15항에 있어서,상기 수소회수장치는 상기 남은 수소 및 육불화황을 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 육불화황 처리장치 |
17 |
17 제 9항에 있어서,상기 불화수소 반응장치는 상기 불화수소 농축장치와 연결되어, 상기 금속이온 수용액과 반응하여 불소염을 생성하는 반응부;상기 반응부로부터의 유출 경로 상에 마련되어 상기 불소염을 회수하는 불소염 회수부;및상기 반응부와 연결되어 금속이온을 공급하는 금속이온 공급부;를 포함하는 것인 육불화황 처리장치 |
18 |
18 제 17항에 있어서,상기 불화수소 반응장치는 상기 금속이온 수용액과 반응하지 못하고 남은 불소가스를 회수하는 불소회수라인을 더 포함하는 것인 육불화황 처리장치 |
19 |
19 제 18항에 있어서,상기 불소회수라인은 상기 회수된 불소가스를 상기 반응부로 유입시키도록 형성되는 것인 육불화황 처리장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
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1 | CN105873857 | CN | 중국 | FAMILY |
2 | KR101557637 | KR | 대한민국 | FAMILY |
3 | US20160317965 | US | 미국 | FAMILY |
4 | WO2015102229 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
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1 | CN105873857 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
2 | CN105873857 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
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1 | 미래창조과학부 | 한국원자력연구원 | 방사선기술개발사업 | 방사선융합 중전기기의 SF6 가스 처리기술 개발 |
2 | 환경부 | 한국원자력연구원 | 글로벌탑 환경기술개발사업 | 고이온화 에너지를 이용한 에칭공정 SF6 제어 기술개발 |
특허 등록번호 | 10-1555875-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20131230 출원 번호 : 1020130166859 공고 연월일 : 20150930 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150917 청구범위의 항수 : 17 유별 : C01B 17/45 발명의 명칭 : 전자빔을 이용한 육불화황의 처리방법 및 처리장치 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 한국원자력연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2015년 09월 22일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2018년 07월 02일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2019년 06월 26일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 207,000 원 | 2020년 09월 08일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1203586-58 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5109542-64 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.10.20 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2014.11.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0089468-91 |
5 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.01.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5004384-59 |
6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-5005216-76 |
7 | 의견제출통지서 | 2015.02.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0115205-84 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.04.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0352455-82 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.04.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0352506-12 |
10 | 거절결정서 | 2015.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0591905-67 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.09.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0880206-15 |
12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2015.09.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2015-0880196-46 |
13 | 등록결정서 | 2015.09.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0641768-15 |
기술번호 | KST2014066953 |
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자료제공기관 | 미래기술마당 |
기술공급기관 | 한국원자력연구원 |
기술명 | 전자빔을 이용한 불소화합가스의 분해처리 방법 |
기술개요 |
본 발명은 육불화황의 처리방법 및 처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 육불화황의 처리방법 및 처리장치는 저비용으로 안전하게 육불화황을 처리할 수 있는 매우 효과적인 방법과 장치다. |
개발상태 | 연구실환경 테스트 |
기술의 우수성 |
○ 대상 기술을 사용하여 SF6 가스를 분해 할 경우 고농도의 가스를 분해 할 수 있으며, 순도 높은 황과 불산을 얻을 수 있어 분해 처리 비용을 줄일 수 있는 효과가 있음
○ 본 발명의 육불화황의 처리방법은 육불화황으로부터 얻어진 불화수소로부터 상업적으로 재활용가능한 불소염으로 제조하여 경제적인 이익창출을 기대할 수 있음 |
응용분야 | ○ SF6사용 후처리 공정 |
시장규모 및 동향 |
○ 온실가스 배출권 거래제를 앞두고 SF6를 사용하는 업종에서 큰 수요가 있을 것으로 예상됨 ○ 국내에서는 저농도의 에칭가스의 처리 기술은 등록된 것이 있으나 고농도의 SF6 가스에 대한 처리 기술은 발표된 것이 없고 본 기술에 세계에서 유일함 |
희망거래유형 | 기술거래/공동연구개발 |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1485011376 |
---|---|
세부과제번호 | ARQ2011090002349003 |
연구과제명 | 고이온화에너지를 이용한 에칭공정 SF6 제어 기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 환경부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201108~201604 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1711004984 |
---|---|
세부과제번호 | 2012M2A2A6008733 |
연구과제명 | 방사선융합 중전기기의 SF6 가스 처리기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201203~201702 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020130166859] | 전자빔을 이용한 불소화합가스의 분해처리 방법 | 새창보기 |
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심판사항 정보가 없습니다 |
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