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전자빔을 이용한 불소화합가스의 분해처리 방법

  • 기술번호 : KST2014066953
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 육불화황의 처리방법 및 처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 육불화황의 처리방법 및 처리장치는 저비용으로 안전하게 육불화황을 처리할 수 있는 매우 효과적인 방법과 장치다.
Int. CL B01J 19/08 (2015.01) C01B 17/45 (2006.01)
CPC C01B 17/45(2013.01) C01B 17/45(2013.01)
출원번호/일자 1020130166859 (2013.12.30)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1555875-0000 (2015.09.21)
공개번호/일자 10-2015-0077909 (2015.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20150930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.30)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정인하 대한민국 전북 정읍시
2 류재용 대한민국 경기 고양시 일산서구
3 이면주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1203586-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.10.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0089468-91
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004384-59
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-5005216-76
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0115205-84
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0352455-82
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0352506-12
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0591905-67
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0880206-15
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.09.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0880196-46
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0641768-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 방사선 조사에 의해 육불화황과 수소를 반응시켜 황과 불화수소로 분해 및 전환하는 단계;및b) 상기 단계에서 형성된 황을 분리하고, 수득된 불화수소를 금속이온 수용액에 주입하여 불용성의 불소금속염을 형성시키는 단계;를 포함하는 육불화황의 처리방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 금속이온은 Li, K, Mg, Ca, Al, Ga, In에서 선택되는 하나 또는 둘이상인 금속의 이온인 육불화황의 처리방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 방사선은 전자빔, 감마선 또는 이온빔인 육불화황의 처리방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 방사선은 총조사선량이 100 내지 500 KGy인 육불화황의 처리방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 수소는 상기 육불화황 1몰에 대하여 3 내지 6몰인 육불화황의 처리방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 육불화황은 육불화황을 단열 또는 절연기체로 사용하는 공정 또는 장치에서 발생하는 것인 육불화황의 처리방법
8 8
제 1항에 있어서,상기 b)단계에서 얻어진 불소염을 분리하여 회수하는 단계;를 더 포함하는 육불화황의 처리방법
9 9
육불화황과 수소가 유입되는 챔버;상기 챔버에 유입된 육불화황과 수소를 황과 불화수소로 분해 및 전환시키는 방사선 조사장치;상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 불화수소로부터 황을 회수하는 황 회수장치;및상기 황 회수장치로부터 유입되는 상기 불화수소를 회수 및 농축하는 불화수소 농축장치; 및상기 농축장치의 불화수소 및 금속이온수용액이 유입되어 불소금속염이 생성되는 불화수소 반응장치;를 포함하고, 상기 챔버의 일측면에 상기 방사선이 통과 가능한 티타늄 호일 윈도우가 형성되어 상기 방사선 조사장치가 상기 윈도우에 의해 덮히도록 설치되는 것인 육불화황 처리장치
10 10
제 9항에 있어서,상기 육불화황은 육불화황을 단열 또는 절연기체로 사용하는 공정 또는 장치에서 발생하는 것인 육불화황 처리장치
11 11
제 9항에 있어서,상기 육불화황과 상기 수소를 혼합하여 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 가스혼합기를 더 포함하는 육불화황 처리장치
12 12
제 9항에 있어서,상기 챔버로의 유입 경로상에 마련되어, 다른 화합물의 유입을 방지하도록 형성되는 필터장치를 더 포함하는 육불화황 처리장치
13 13
삭제
14 14
제 9항에 있어서,상기 황 회수장치는 상기 챔버로부터의 유출 경로상에 마련되어 상기 황을 포집하도록 형성되며, 상기 불화수소 농축장치는 상기 황 회수장치와 연결되고, 상기 불화수소를 농축시켜 상기 불화수소 반응장치에 유입시키는 것인 육불화황 처리장치
15 15
제 14항에 있어서,상기 방사선에 의하여 반응하지 못하고, 상기 불화수소 농축장치로부터 유출되는 수소 및 육불화황을 회수하는 수소회수장치를 더 포함하는 육불화황 처리장치
16 16
제 15항에 있어서,상기 수소회수장치는 상기 남은 수소 및 육불화황을 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 육불화황 처리장치
17 17
제 9항에 있어서,상기 불화수소 반응장치는 상기 불화수소 농축장치와 연결되어, 상기 금속이온 수용액과 반응하여 불소염을 생성하는 반응부;상기 반응부로부터의 유출 경로 상에 마련되어 상기 불소염을 회수하는 불소염 회수부;및상기 반응부와 연결되어 금속이온을 공급하는 금속이온 공급부;를 포함하는 것인 육불화황 처리장치
18 18
제 17항에 있어서,상기 불화수소 반응장치는 상기 금속이온 수용액과 반응하지 못하고 남은 불소가스를 회수하는 불소회수라인을 더 포함하는 것인 육불화황 처리장치
19 19
제 18항에 있어서,상기 불소회수라인은 상기 회수된 불소가스를 상기 반응부로 유입시키도록 형성되는 것인 육불화황 처리장치
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1 CN105873857 CN 중국 FAMILY
2 KR101557637 KR 대한민국 FAMILY
3 US20160317965 US 미국 FAMILY
4 WO2015102229 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105873857 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105873857 CN 중국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국원자력연구원 방사선기술개발사업 방사선융합 중전기기의 SF6 가스 처리기술 개발
2 환경부 한국원자력연구원 글로벌탑 환경기술개발사업 고이온화 에너지를 이용한 에칭공정 SF6 제어 기술개발