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i)카본 섬유 혹은 카본나노튜브 섬유를 릴-투-릴에 감아 준비하는 단계;
ii)상기 준비된 카본 섬유 혹은 카본나노튜브 섬유를 진공증착챔버에 고정시키고, 상기 진공증착챔버 내로 도입하는 단계;
iii)상기 진공증착챔버 내에서 상기 카본섬유 혹은 카본나노튜브 섬유를 이동시키면서 상기 카본섬유 혹은 카본나노튜브 섬유에 보론과 마그네슘을 증착시키는 단계; 및
iv)상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘이 증착하여 형성된 붕화마그네슘 초전도 단심 선재의 복수 개를 모아 꼬는 단계로 구성되는 것인 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 iii)단계에서의 보론과 마그네슘의 증착은 아르곤을 포함한 10-7 ~ 10-1 torr 범위 내의 분위기에서 이루어지는 것인 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘은 500 내지 1000℃ 범위에서 증착되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘은 각각의 증착장치에 의해 동시에 증착되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘이 증착되는 경우, 보론은 스퍼터법에 의하여 증착되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘이 증착되는 경우, 마그네슘은 열 증착법에 의해 증착되며, 상기 증착시 사용되는 증발 발열체의 재질은 텅스텐 또는 몰리브덴을 사용하는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 iv)단계에서 붕화마그네슘 초전도 단심 선재의 복수 개를 모아 꼬면서 후열 처리하는 단계를 더 포함하고,
상기 후열 처리 단계는 상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘의 증착 후, 500~1000℃ 범위의 온도에서, 0
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제1항에 있어서,
상기 iii)진공증착 챔버 내에서 보론과 마그네슘을 증착시키는 단계에서 초전도 특성을 향상시키기 위하여 카본, 카본나노튜브(CNT), 실리콘 카바이드, 순수 탄소에서 선택된 하나의 첨가물을 추가하는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제8항에 있어서,
상기 첨가물은 보론의 증착시 보론과 함께 증착이 되도록 보론의 타겟 제조시에 10 중량 %범위 내에서 첨가하는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 파괴를 방지하기 위하여 생성된 붕화마그네슘 다심 선재의 표면에 금속 피복 박막을 증착하는 단계를 더 포함하는 것인 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조 방법
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제10항에 있어서,
상기 금속 피복 박막은, 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 철(Fe), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 코발트(Co) 및 납(Pb)으로부터 선택되는 금속, 상기 금속들의 2원계 합금, 3원계 합금 및 카본(C)으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조 방법
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진공증착챔버;
상기 진공증착챔버 내로 카본 섬유 또는 카본나노튜브를 도입하는, 카본 섬유 또는 카본나노튜브의 릴-투-릴 감는 장치;
상기 진공증착챔버 내에서 생성된 붕화마그네슘 초전도 선재가 감기는 붕화마그네슘 초전도 선재의 릴-투-릴 감는 장치로 구성되며,
상기 진공증착챔버 내부에 보론 증착부, 마그네슘 증착부, 선재 꼬임 장치, 후열 처리부 및 금속피막 증착부가 연속적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조장치
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카본 섬유 혹은 카본나노튜브 섬유가 중앙에 있고, 상기 카본 섬유 또는 카본나노튜브 섬유의 바깥쪽으로 붕화마그네슘 초전도 물질이 형성되고, 상기 붕화마그네슘 초전도 물질의 바깥쪽으로 금속 피막층이 존재하는 것인 붕화마그네슘 초전도 다심 선재
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제1항에 있어서,
상기 iii)단계에서 보론과 마그네슘은 각각의 증착장치에 의해 순차적으로 증착되는 것을 특징으로 하는 붕화마그네슘 초전도 다심 선재의 제조방법
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