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제1레이저에서 출사되는 레이저 광을 통해 생성되는 제1기준광과, 상기 제1레이저의 레이저 광이 물체에서 반사되어 생성되는 반사광의 간섭에 의한 제1간섭무늬를 획득하기 위한 반사형 3차원 측정부;제2레이저에서 출사되는 레이저 광을 통해 생성되는 제2기준광과, 상기 제2레이저의 레이저 광이 상기 물체를 투과하여 생성되는 투과광의 간섭에 의한 제2간섭무늬를 획득하기 위한 투과형 3차원 측정부; 및상기 제1간섭무늬를 이용하여 상기 물체의 3차원 정보를 획득하고, 상기 제2간섭무늬를 이용하여 상기 물체의 굴절율 분포를 획득하여, 상기 물체의 3차원 정보에 상기 물체의 굴절율 분포를 반영하는 제어부를 포함하는 3차원 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 제1간섭무늬를 위상펼침을 하여 상기 물체의 3차원 정보를 획득하는 3차원 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 제1기준광이 지나는 길이와 상기 반사광이 지나는 길이는 상기 물체의 형상에 따라 차이를 가지는 3차원 측정장치
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제1항에 있어서,상기 제2기준광과 상기 투과광의 속도는 상기 물체의 굴절율에 대응하는 차이를 가지는 3차원 측정장치
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반사형 3차원 측정부를 이용하여, 제1레이저에서 출사되는 레이저 광을 통해 생성되는 제1기준광과, 상기 제1레이저의 레이저 광이 물체에서 반사되어 생성되는 반사광의 간섭에 의해 획득된 제1간섭무늬를 통해 상기 물체의 3차원 정보을 획득하는 단계;투과형 3차원 측정부를 이용하여, 제2레이저에서 출사되는 레이저 광을 통해 생성되는 제2기준광과, 상기 제2레이저의 레이저 광이 상기 물체를 투과하여 생성되는 투과광의 간섭에 의해 획득된 제2간섭무늬를 통해 상기 물체의 굴절율 분포를 획득하는 단계; 및 상기 물체의 3차원 정보에 상기 물체의 굴절율 분포를 반영하는 단계를 포함하는 3차원 측정장치의 제어방법
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제5항에 있어서,상기 물체의 3차원 정보를 획득하는 단계는 상기 제1간섭무늬를 위상펼침하여 상기 물체의 3차원 정보를 획득하는 단계를 포함하는 3차원 측정장치의 제어방법
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