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잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 박막을 형성하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치에 있어서,하부로 분위기 가스를 공급받아 내부 유동시키며, 상부로 탄성표면파에 의해 이온화된 잉크를 토출시켜 기판으로 공급하도록 마련된 하우징;상기 하우징의 하단을 관통하여 잉크를 공급 받아 수용하는 잉크 저장부;상기 잉크 저장부 내부에 침지된 상태에서 외부로부터 인가받은 전압에 의해 탄성표면파를 발생시키며, 전체적으로 절연 코팅되어 있는 탄성표면파 발생기판; 및상기 잉크 저장부의 일측으로부터 상향 돌출되어 상기 탄성표면파 발생기판을 상기 잉크 저장부의 내측으로 침지시켜 위치 고정하는 고정부재;를 포함하고,일측은 상기 고정부재의 상단에서 힌지 연결되어 회동 각도의 조절 및 고정이 가능하며, 타측은 상기 탄성표면파 발생기판과 연결 고정되는 홀더부재;를 더 포함하며,상기 분위기 가스는, 질소 인 것을 특징으로 하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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청구항 1에 있어서,상기 하우징은, 하부에 비해 상부로 갈수록 단면적이 협소해지는 구조로 이루어지되,하부면을 관통하여 분위기 가스를 공급 받는 가스 주입공이 마련되며, 상부면을 통해 이온화된 잉크가 질소와 함께 토출되는 토출구가 마련되는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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청구항 2에 있어서,상기 토출구의 둘레를 따라 이온화된 잉크의 극성과 동일한 극성의 전압을 인가하여, 기판 쪽으로 공급되는 잉크의 토출량을 선택적으로 조절하는 토출구 개폐조절부;를 더 포함하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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청구항 3에 있어서,상기 토출구 개폐조절부는, 상기 토출구의 둘레를 따라 구비된 구리 재질 라이너를 포함하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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청구항 2에 있어서,상기 하우징은 내부공간이 비워진 사각 뿔 형상을 가지며, 상기 토출구는 상기 하우징의 상부면을 가로질러 일정한 폭으로 개방된 사각 장공 형상을 갖는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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청구항 1에 있어서,상기 잉크 저장부는, 상기 하우징 내부의 바닥 중앙에서 상부가 개방된 사각 용기 형상으로 배치되며, 상기 하우징의 하부면을 관통하여 바닥까지 연통된 잉크 공급 유로를 통해 설정된 양의 잉크를 지속적으로 공급받아 수용하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
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잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 기판의 대면적 박막을 형성하도록 청구항 1 내지 6 중 어느 하나의 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치를 포함하는 대면적 박막 시스템으로서, 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향으로 기판을 대면시켜 기판을 이송하는 기판 이송부와,상기 기판 이송부와 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치 사이에 개재되는 마스크를 포함하는 대면적 박막 시스템
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청구항 9에 있어서,상기 기판 이송부는,상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향에 교차하여 기판을 수평 이송시키는 스테이지 수단 또는 롤 투 롤(Roll-to-roll) 이송 수단인 대면적 박막 시스템
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