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이동하는 물질의 질량에 따라 공진 주파수가 변화하는 원리를 이용하여 목적물의 질량 및 특성을 측정할 수 있는 마이크로채널 공진기 제조방법에 있어서,하부층(lower layer), 상기 하부층의 상부에 제공되는 중간층(middle layer), 및 상기 중간층의 상부에 제공되는 상부실리콘층(upper silicon layer)을 포함하는 적층기판을 제공하는 단계;상기 상부실리콘층의 내부 소정 깊이에 이동하는 물질이 공진 운동하기 위한 공동 채널(cavity channel)을 형성하는 단계; 및상기 공동 채널의 주변에 대응하는 상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 부분적으로 제거하는 단계;를 포함하고,상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 부분적으로 제거함에 따라, 상기 공동 채널을 내부에 포함하며, 상기 적층기판에 대해 공진 운동 가능한 중공형 마이크로 채널구조체(micro channel structure)가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공동 채널의 주변에 대응하는 상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 부분적으로 제거하는 단계에서,상기 상부실리콘층 및 상기 중간층은 단일 제거 공정 또는 복수의 제거 공정에 의해 제거 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공동 채널의 주변에 대응하는 상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 부분적으로 제거하는 단계는,상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 제거하여 상기 공동 채널에 인접한 가이드 트렌치를 형성하는 단계; 및상기 가이드 트렌치를 이용하여 상기 공동 채널의 하부에 대응하는 상기 중간층을 부분적으로 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 상부실리콘층 및 상기 중간층을 제거하여 상기 공동 채널에 인접한 가이드 트렌치를 형성하는 단계에서,상기 상부실리콘층 및 상기 중간층은 단일 제거 공정 또는 복수의 제거 공정에 의해 제거 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 상부실리콘층의 내부에 공동 채널(cavity channel)을 형성하는 단계는,상기 상부실리콘층 상에 복수개의 트렌치(trench)를 형성하는 단계; 및상기 복수개의 트렌치를 이용하여 상기 상부실리콘층의 내부에 상기 공동 채널을 형성할 수 있도록 상기 적층기판을 어닐링(annealing)하는 단계;를 포함하고,상기 적층기판의 어닐링시 서로 인접한 상기 트렌치가 서로 연결되며 상호 협조적으로 상기 공동 채널을 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제5항에 있어서,상기 트렌치의 형성 조건을 조절하여 상기 중공형 마이크로 채널구조체 상에서 상기 공동 채널의 형성 깊이를 상하 비대칭적으로 형성 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제6항에 있어서,상기 트렌치의 형성 조건은 상기 트렌치의 직경 및 이격 간격을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공동 채널을 형성한 후 상기 상부실리콘층의 상면에 폴리실리콘 박막층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 하부층은 상기 상부실리콘층과 동일 또는 다른 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 중간층은 SiO2, Si3N4, Al2O3, Y203, ZrO2, HfO2, Ta2O5, TiO2 중 적어도 어느 하나를 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공동 채널의 주변에 대응하는 상기 상부실리콘층 및 상기 하부층을 부분적으로 제거함에 따라, 상기 마이크로 채널구조체는 일단에 고정단을 가지며 타단에 자유단을 갖는 캔틸레버(cantilever) 구조로 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공동 채널의 주변에 대응하는 상기 상부실리콘층 및 상기 하부층을 부분적으로 제거함에 따라, 상기 마이크로 채널구조체는 양단에 고정단을 갖는 브릿지(bridge) 구조로 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 적층기판에 글라스기판을 접합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제13항에 있어서,상기 글라스기판을 접합하기 전에 상기 마이크로 채널구조체의 상면에 제1전극층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 글라스기판에는 상기 제1전극층과 상호 협조적으로 정전기력 작용을 위한 제2전극층이 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로채널 공진기 제조방법
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제1항 내지 제14항 중 어느 하나의 제조방법에 의해 제조된 마이크로채널 공진기
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