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피검사체를 검사하는 패널 검사 장치에서,상기 피검사체에 발생한 결함의 깊이를 측정하는 깊이 측정부,상기 깊이 측정부에 연결되어 있으며, 검사되는 상기 피검사체의 면에 대한 면적을 측정하고, 측정된 상기 면적을 적어도 하나의 분할 영역으로 구획하는 제어부,상기 제어부와 연결되어 있고 상기 제어부의 제어 동작에 의해 Y 방향 이동 가이드를 따라 Y 방향으로 이동하는 Y방향 이동부,상기 제어부 및 상기 Y방향 이동부와 연결되어 있고, 상기 제어부의 제어 동작에 의해 X 방향 이동 가이드를 따라 X 방향으로 이동하는 X방향 이동부, 그리고상기 제어부 및 상기 X방향 이동부와 연결되어 있고, 상기 X방향 이동부와 상기 Y방향 이동부 중 적어도 하나의 동작에 의해 해당 위치로 이동하여 상기 제어부의 제어 동작에 의해 상기 적어도 하나의 분할 영역을 모두 순차적으로 촬영하고 상기 촬영된 영상을 상기 제어부로 출력하는 촬영부를 포함하고,상기 제어부는 상기 촬영부에 의해 현재 촬영된 현재 분할영역에 대한 영상을 이용하여 현재 분할 영역에서 발생한 현재 결함 발생 면적을 산출하고,상기 촬영부에 의해 이전에 촬영된 이전 분할 영역에 대한 영상을 이용하여 산출된 이전 결함 발생 면적과 현재 결함 발생 면적을 더하여 최종 결함 발생 면적을 산출하며,상기 최종 결함 발생 면적이 설정 면적 이상일 경우, 상기 피검사체를 불량 상태로 판정하고, 상기 최종 결함 발생 면적이 설정 면적보다 작을 경우, 상기 깊이 측정부에 의해 측정된 상기 현재 분할 영역에 발생한 상기 결함의 깊이 중에서 최대 깊이가 설정 깊이보다 클 경우, 상기 피검사체를 불량 상태로 판정하는패널 검사 장치
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제1항에서,상기 제어부는, 상기 현재 분할 영역에 결함이 발생하지 않을 경우, 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역인지를 판정하고,상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이 아닐 경우, 상기 X방향 이동부를 구동하여 상기 촬영부를 X방향으로 인접한 다음 분할 영역으로 이동시켜, 상기 다음 분할 영역에 대한 촬영 동작을 제어하고, 상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역일 경우, 상기 현재 분할 영역이 Y방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역인지를 판정하고,상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이지만, Y방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이 아닐 경우, 상기 X방향 이동부와 상기 Y방향 이동부를 구동하여 상기 촬영부를 Y 방향으로 인접한 다음 분할 영역으로 이동시켜 상기 다음 분할 영역에 대한 촬영 동작을 제어하는패널 검사 장치
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피검사체의 가로와 세로 크기를 판정하여, 상기 피검사체의 면적을 판정하는 단계,상기 판정된 면적을 이용하여 적어도 하나의 분할 영역의 크기를 산출하는 단계,상기 분할 영역의 크기에 따라 X 방향 이동 거리와 Y방향 이동 거리를 산출하는 단계,X방향 이동부와 Y방향 이동부 중 적어도 하나를 상기 X 방향 이동 거리와 Y방향 이동 거리 중 하나만큼 이동시켜 촬영부를 상기 적어도 하나의 분할 영역 중에서 시작 위치에 위치한 분할 영역으로 이동시켜, 상기 분할 영역을 촬영하여 영상을 획득하는 단계,획득된 상기 영상을 이용하여 현재 촬영된 현재 분할 영역에 대한 현재 결함 발생 면적을 산출하는 단계,상기 현재 분할 영역 이전에 위치한 이전 분할 영역에 대한 이전 결함 발생 면적과 상기 현재 결함 발생 면적을 더하여 최종 결함 발생 면적을 산출하는 단계,상기 최종 결함 발생 면적이 설정 면적 이상일 경우, 상기 피검사체를 불량 상태로 판정하는 단계,상기 최종 결함 발생 면적이 설정 면적보다 작을 경우, 깊이 측정부를 구동시켜 현재 분할 영역에 발생한 상기 결함의 깊이를 측정하는 단계,상기 결함의 깊이 중 최대 깊이가 설정 깊이 이상인지를 판정하는 단계, 그리고상기 결함의 최대 깊이가 설정 깊이 이상일 경우, 상기 피검사체를 불량 상태로 판정하는 단계를 포함하는 패널 검사 방법
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제3항에서,상기 현재 분할 영역에 결함이 발생하지 않을 경우, 상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역인지를 판정하는 단계,상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이 아닐 경우, 상기 X방향 이동부를 구동하여 상기 촬영부를 X방향으로 인접한 다음 분할 영역으로 이동시켜, 상기 다음 분할 영역에 대한 촬영 동작을 제어하는 단계,상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역일 경우, 상기 현재 분할 영역이 Y방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역인지를 판정하는 단계,상기 현재 분할 영역이 X방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이지만, Y방향으로 마지막에 존재하는 분할 영역이 아닐 경우, 상기 X방향 이동부와 상기 Y방향 이동부를 구동하여 상기 촬영부를 Y 방향으로 인접한 다음 분할 영역으로 이동시켜 상기 다음 분할 영역에 대한 촬영 동작을 제어하는 단계를 더 포함하는 패널 검사 방법
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제3항에서,상기 적어도 하나의 분할 영역의 면적은 상기 촬영부의 최소 촬영 영역의 면적 이상이고 최대 촬영 영역의 면적 이하인 패널 검사 방법
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제5항에서,상기 적어도 하나의 분할 영역 크기 산출 단계는 모두 동일한 면적을 갖고 상기 적어도 하나의 분할 영역의 개수가 최소가 되도록 상기 피검사체의 면적을 상기 적어도 하나의 분할 영역으로 분할하는 패널 검사 방법
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