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메탈 폼(metal foam) 및 상기 메탈 폼의 표면 상에 배치된 압전 박막을 포함하는 압전구조체;상기 압전구조체의 일면 상에 배치된 제1 전극; 및상기 제1 전극에 대향하여, 상기 압전구조체의 다른 일면 상에 배치된 제2 전극을 포함하고,상기 압전 박막은 아연 산화물(ZnO)을 포함하고, 상기 메탈 폼은 니켈(Ni) 및 10㎛ 내지 1,000㎛ 사이의 평균 크기를 갖는 기공을 포함하는 압전소자
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제1항에 있어서, 상기 압전 박막은 3nm 내지 20nm 사이의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 압전소자
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메탈 폼의 제1 면 상에 제1 전극을 형성하는 단계;상기 메탈 폼의 표면 상에 압전 박막을 증착하여, 압전구조체를 형성하는 단계; 및상기 메탈 폼의 상기 제1 면에 대향하는 제2 면 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 압전 박막은 아연 산화물(ZnO)을 포함하고, 상기 메탈 폼은 니켈(Ni) 및 10㎛ 내지 1,000㎛ 사이의 평균 크기를 갖는 기공을 포함하는 압전소자의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 압전 박막을 증착하는 단계는 원자층 증착법(ALD)을 통해서 아연 산화물(ZnO)을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 전극을 형성하는 단계는 백금(Pt), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 티타늄(Ti)을 포함하는 그룹으로부터 선택된 하나의 금속을 이용하여 증착(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering)을 통해서 형성하는 단계를 포함하거나, 백금(Pt), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 티타늄(Ti)을 포함하는 그룹으로부터 선택된 하나의 금속을 포함하는 금속 시트를 상기 메탈 폼의 상기 제1 면 상에 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 압전 박막은 상기 메탈 폼의 표면을 따라 3nm 내지 20nm 사이의 균일한 두께를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법
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압전소자;상기 압전소자의 일 측면에 연결된 유입로;상기 압전소자의 다른 일 측면에 연결된 유출로; 및상기 압전소자에 전기적으로 연결되어, 상기 압전소자로부터 발생한 전압을 측정하는 제어 장치를 포함하고,상기 압전소자는,메탈 폼 및 상기 메탈 폼의 표면 상에 배치된 압전 박막을 포함하는 압전구조체;상기 압전구조체의 일면 상에 배치된 제1 전극; 및상기 제1 전극에 대향하여, 상기 압전구조체의 다른 일면 상에 배치된 제2 전극을 포함하고,상기 압전 박막은 아연 산화물(ZnO)을 포함하고, 상기 메탈 폼은 니켈(Ni) 및 10㎛ 내지 1,000㎛ 사이의 평균 크기를 갖는 기공을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 내 미소입자 필터 장치
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