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실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조장치

  • 기술번호 : KST2015000687
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 진공챔버, 상기 진공챔버 내부에 위치하여 원료 실리콘이 충진된 도가니와 지지대를 포함하여 형성되며, 도가니를 가열하여 충진된 원료 실리콘을 용융시킨 후 방향성 응고시켜 단결정 유사 다결정 또는 다결정 실리콘 잉곳을 제조하는 잉곳 제조 장치에 있어서, 상기 도가니의 외부에 설치되어 액상 실리콘의 누출을 방지할 수 있는 실리콘 차단부 및 하부 단열층 하측에 누출된 액상 실리콘을 저장할 수 있는 실리콘 저장챔버를 설치함으로써, 잉곳 제조 실험 시 장치의 안전성을 향상시킬 수 있는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치에 관한 것이다.
Int. CL C30B 11/00 (2014.01) C30B 29/06 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC C30B 29/06(2013.01) C30B 29/06(2013.01) C30B 29/06(2013.01) C30B 29/06(2013.01)
출원번호/일자 1020110087826 (2011.08.31)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1327991-0000 (2013.11.05)
공개번호/일자 10-2013-0024396 (2013.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20131113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.31)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문상진 대한민국 대전광역시 유성구
2 소원욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 박동순 대한민국 대전광역시 서구
4 구명회 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0679914-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0092616-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0266441-70
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0540327-87
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0606295-39
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0606305-19
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0745266-33
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공챔버 내부에서 도가니에 충진된 원료 실리콘의 가열 및 냉각을 통해 단결정 유사 다결정 또는 다결정 실리콘 잉곳을 제조하는 실리콘 잉곳 제조 장치에 있어서,상기 도가니를 가열시켜 담겨진 원료 실리콘을 용융시키도록 상기 도가니의 둘레면과 일정거리 이격되어 구비되는 히터수단; 상기 도가니의 하측에 설치되어 상기 히터수단에 의해 용융된 실리콘을 냉각시키는 냉각수단; 상기 도가니의 하면을 지지하도록 설치되는 도가니 지지대; 높이방향으로 상기 히터수단 및 냉각수단 사이에 설치되며, 일정영역이 통공되어 이동공이 형성되는 단열층; 상기 도가니의 외측 둘레면을 감싸도록 설치되는 써셉터의 외측 둘레면을 감싸도록 형성되어 용융된 액상 실리콘의 누출을 방지하는 실리콘 차단부; 상기 단열층 하측에 설치되어 누출된 액상 실리콘이 수용되도록 형성되는 실리콘 저장챔버; 및상기 도가니 지지대와 상기 단열층 사이에 상기 냉각수단의 이동구간을 밀폐시키는 유출방지 보호판;을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 실리콘 차단부 및 실리콘 저장챔버는흑연 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치는상기 히터수단의 작동 및 온도제어가 가능하도록 제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 실리콘 저장챔버의 재질은흑연 또는 열전달율이 높은 금속인 것을 특징으로 하는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 실리콘 저장챔버는상ㆍ하부 각각 서로 다른 재질로 한 겹으로 형성되거나, 서로 상이한 재질이 겹쳐져 두 겹 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 누출방지 시스템을 갖춘 실리콘 잉곳 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.