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안티몬 아미노 알콕사이드 화합물 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015000708
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규한 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물에 관한 것이다.
Int. CL C07F 9/90 (2006.01) C23C 16/18 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C07F 9/902(2013.01) C07F 9/902(2013.01) C07F 9/902(2013.01)
출원번호/일자 1020110039028 (2011.04.26)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1294660-0000 (2013.08.02)
공개번호/일자 10-2012-0121194 (2012.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130808) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 박보근 대한민국 강원도 원주시 남원로***번길
4 정인경 대한민국 대구광역시 달서구
5 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
6 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
7 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
8 정석종 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0310561-02
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0317810-84
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.10.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0087722-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0023292-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0199499-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0199498-64
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0503053-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물:003c#화학식 1003e#Sb[O-A-NR1R2]3상기 화학식 1에서,A는 C1-C10 선형 또는 분지형 알킬기로 치환된 또는 비치환된 C2-C5의 알킬렌이고;R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이다
2 2
청구항 1에 있어서,상기 화학식 1로 표시되는 화합물은 하기 화학식 2로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물
3 3
청구항 2에 있어서,상기 화학식 2에서,R1, R2, R3 및 R4는 각각 독립적으로 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필 또는 t-부틸이고;상기 m이 1 또는 2인 것을 특징으로 하는 안티몬 아미노 알콕사이드
4 4
하기 화학식 3으로 표시되는 안티몬 할라이드 화합물과 화학식 4로 표시되는 알코올의 알칼리 금속염을 반응시키는 것을 특징으로 하는 하기 화학식 1로 표시되는 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물의 제조방법:003c#화학식 1003e#Sb[O-A-NR1R2]3003c#화학식 3003e#SbX3003c#화학식 4003e#M[O-A-NR1R2]상기 화학식 1, 화학식 3 및 화학식 4에서, A는 C1-C10 선형 또는 분지형 알킬기로 치환된 또는 비치환된 C2-C5의 알킬렌이고;R1 및 R2는 서로 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고;M은 Li, Na 또는 K이고; X는 Cl, Br 또는 I이다
5 5
하기 화학식 3의 안티몬 할라이드 화합물과 하기 화학식 5로 표시되는 알칼리금속 화합물을 유기 용매 하에서 반응하여 하기 화학식 6으로 표시되는 안티몬 화합물을 제조하는 단계; 및하기 화학식 6으로 표시되는 안티몬 화합물과 하기 화학식 7로 표시되는 알코올을 유기용매에서 반응시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물의 제조방법:003c#화학식 1003e#Sb[O-A-NR1R2]3003c#화학식 3003e#SbX3003c#화학식 5003e#M[NR52]003c#화학식 6003e#Sb[NR52]3003c#화학식 7003e#HO-A-NR1R2상기 화학식 1, 화학식 3, 화학식 5, 화학식 6, 및 화학식 7에서, A는 C1-C10 선형 또는 분지형 알킬기로 치환된 또는 비치환된 C2-C5의 알킬렌이고;R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고; R5는 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 SiR63이고, R6는 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고;M은 Li, Na 또는 K이며;X는 Cl, Br 또는 I이다
6 6
청구항 1 기재의 안티몬 아미노 알콕사이드 화합물을 전구체로 사용하여 안티몬을 포함하는 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막의 형성방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 안티몬을 포함하는 박막은 유기 금속 화학 기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성하는 것을 특징으로 안티몬을 포함하는 박막의 형성방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101335019 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2012148085 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2012148085 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
4 WO2012148085 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성