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플루오르를 포함하는 리간드를 갖는 새로운 주석 화합물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015000716
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 플루오르를 포함하는 알콕사이드 리간드를 갖는 신규의 주석 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것이다.[화학식 1]Sn[O-A-OR1]2상기 화학식 1에서, A, R1 및 R2 는 각각 발명의 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.본 발명에 따르는 주석 알콕사이드 화합물은 주석 전구체로서 상온에서 액체 상태로 존재하며 증기압이 매우 높아 주석을 포함하는 물질의 박막의 증착 또는 여러 가지 합금 증착에 주석 원료 물질로 유용하게 사용될 수 있다.
Int. CL C07F 7/22 (2006.01) C07C 43/13 (2006.01) C07C 41/26 (2006.01) C23C 16/18 (2006.01)
CPC C07F 7/2224(2013.01) C07F 7/2224(2013.01) C07F 7/2224(2013.01) C07F 7/2224(2013.01)
출원번호/일자 1020110020943 (2011.03.09)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1255099-0000 (2013.04.10)
공개번호/일자 10-2012-0102985 (2012.09.19) 문서열기
공고번호/일자 (20130416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
6 박보근 대한민국 강원도 원주시 남원로***번길
7 정인경 대한민국 대구광역시 달서구
8 류재욱 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0170906-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.11.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0098745-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0571447-85
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0957278-61
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0957281-09
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0189001-65
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
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3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
Sn(OCMe2CH2OCH2CF3)2 또는 Sn(OCMeEtCH2OCH2CF3)2 인 주석 알콕사이드 화합물
6 6
하기 화학식 3으로 표시되는 주석 할라이드 화합물과 화학식 4로 표시되는 알코올의 알칼리 금속염을 반응시키는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 주석 알콕사이드 화합물의 제조방법:[화학식 1]Sn[O-A-OR1]2[화학식 3]SnX2[화학식 4]M[O-A-OR1]상기 화학식에서,A는 C2-C5의 알킬렌이고;M은 Li, Na 또는 K이고;X는 Cl, Br 또는 I이고;R1은 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형의 알킬기 이고;상기 A는 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기로 더 치환될 수 있다
7 7
하기 화학식 3의 주석 할라이드 화합물과 하기 화학식 4로 표시되는 알칼리금속 화합물을 유기 용매 하에서 반응하여 하기 화학식 5로 표시되는 주석 화합물을 제조한 후 하기 화학식 6으로 표시되는 알코올을 반응시키는 것을 특징으로 하는 하기 화학식 1의 주석 알콕사이드 화합물의 제조방법:[화학식 1]Sn[O-A-OR1]2[화학식 3]SnX2[화학식 4]M[NR42][화학식 5]Sn[NR42]2[화학식 6]HO-A-OR1상기 화학식에서,A는 C2-C5의 알킬렌이고;M은 Li, Na 또는 K이고;X는 Cl, Br 또는 I이고;R1 는 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형의 알킬기 이고;R4는 트리메틸실릴기이고;상기 A는 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기로 더 치환될 수 있다
8 8
제 5항에 따른 주석 알콕사이드 화합물을 전구체로 사용하는 것을 특징으로 하는 주석화합물 함유 박막의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,주석화합물 함유 박막은 화학기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 주석화합물 함유 박막의 제조방법
10 10
제 8항에 있어서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성