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내부에 플라즈마 발생 공간을 갖는 도가니;상기 도가니의 상면에 형성되어 있는 노즐;상기 도가니의 길이 방향을 따라 도가니 내부로 일정 길이만큼 삽입되어 있는 플라즈마 발생용 전극;상기 플라즈마 발생용 전극에 연결된 플라즈마 발생용 전원 장치;상기 플라즈마 발생용 전극의 하부의 일부분을 감싸며 도가니 내부의 일부분을 채우는 절연체; 및상기 절연체 위에 쌓여 있는 증발 물질을 포함하고,상기 노즐은 노즐의 크기가 변경 가능하며, 이에 의해 상기 도가니 내부의 플라즈마 발생 공간에서 플라즈마가 발생 가능한 압력이 유지되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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제 1 항에 있어서,상기 도가니의 외부 둘레에 배치된 히터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 히터의 외부 둘레에 배치된 방열판을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 발생용 전극은 그 일부분이 상기 도가니 내의 플라즈마 발생공간까지 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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제 3 항에 있어서,상기 도가니; 상기 히터 및 상기 방열판을 모두 내부에 포함하고 있는 본체를 추가로 포함하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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제 1 항에 있어서,상기 노즐의 크기는 노즐 구멍 조절부에 의해 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는,플라즈마 보조 물리 기상 증착원
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