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나노 크기 이하의 영역에서 발현하는 시료의 고유특성을 극저온에서 관찰하는 저온 자기공명 힘 현미경(Magnetic Resonance Force Microscopy: MRFM)의 프로브 장치에 있어서,측정하고자 하는 시료가 장착되고, 전자기파를 공급해서 시료의 특성을 외팔보(Cantilever)로 측정하는 측정부와,상기 측정부의 상측에 ㎚단위로 구동 제어 가능하게 구비된 상측 구동부와,상기 측정부의 하측에 ㎚단위로 구동 제어 가능하게 구비된 하측 구동부와,상기 상측 구동부의 상측에 구비되고, 상기 측정부의 진동을 방지하는 댐핑부와,상기 댐핑부의 상측에 구비되고, 상기 측정부에서 연결된 전기회로를 제어측정부로 전기적으로 연결시키는 커넥션부와,상기 측정부의 일측에 구비되고, 상기 측정부의 측정상태를 영상으로 촬영하여 제어측정부로 데이터를 송신하는 영상촬영부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 저온 MRFM의 프로브 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 측정부는,측정하고자 하는 시료가 장착된 외팔보와,상기 외팔보의 하측에서 외팔보의 움직임을 측정하고 광간섭계의 역할을 수행하며 상기 하측 구동부와 연동하는 광섬유(Optical fiber)와,상기 외팔보의 상측에서 하측에 위치한 시료의 특정영역을 지정하며, 상기 상측 구동부와 연동하는 자석과,상기 외팔보의 일측에 구비되고, 전자기파를 발생시키는 알에프 코일(RF coil)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 저온 MRFM의 프로브 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 영상촬영부는,상기 측정부의 측정상태를 관찰하는 헤드부와,상기 헤드부에서 촬영된 영상을 디지털 신호로 변환하여 제어측정부로 송신하는 소정의 회로소자로 구성된 바디부와,상기 제어측정부 일측에 구비되어 바디부에서 송신된 데이터를 영상으로 재현하는 디스플레이부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 MRFM의 프로브 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 헤드부는 극저온에 노출되고,상기 바디부는 상온분위기에 위치하며, 상기 바디부와 헤드부는 상호 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 저온 MRFM의 프로브 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 알에프 코일은 다중 공진주파수를 갖는 LC회로인 것을 특징으로 하는 저온 MRFM의 프로브 장치
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