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아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015000872
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 몰리브데넘 전구체에 관한 것으로, 상기 몰리브데넘 전구체는 열적으로 안정하며 휘발성이 높다는 장점이 있고 이를 이용하여 양질의 황화몰리브데넘 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1](상기 식에서, R1은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R2, R3는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R4, R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, R6는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다.)[화학식 2](상기 식에서, R1은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R2, R3는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R4, R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택되며, X는 Cl, Br 또는 I이다.)
Int. CL C23C 16/18 (2006.01) C07F 11/00 (2006.01)
CPC C07F 11/005(2013.01) C07F 11/005(2013.01)
출원번호/일자 1020130046352 (2013.04.25)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1485522-0000 (2015.01.16)
공개번호/일자 10-2014-0127687 (2014.11.04) 문서열기
공고번호/일자 (20150128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
2 김창균 대한민국 대전 유성구
3 정택모 대한민국 대전 유성구
4 전동주 대한민국 대전 유성구
5 여소정 대한민국 대전 유성구
6 정윤장 대한민국 서울특별시 강남구
7 공기정 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0367555-10
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0468561-67
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0859442-56
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0859443-02
5 등록결정서
Decision to grant		 2015.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0017148-03
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 몰리브데넘 전구체:[화학식 1](상기 식에서, R1은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R2, R3는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R4, R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, R6는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다
2 2
하기 화학식 2로 표시되는 몰리브데넘 전구체:[화학식 2](상기 식에서, R1은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R2, R3는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R4, R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택되며, X는 Cl, Br 또는 I이다
3 3
청구항 1에 있어서,상기 R1은 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되고, 상기 R2, R3는 서로 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되며, 상기 R4, R5는 서로 독립적으로 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되고, R6는CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 몰리브데넘 전구체
4 4
청구항 2에 있어서,상기 R1은 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되고, 상기 R2, R3는 서로 독립적으로 CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되며, 상기 R4, R5는 서로 독립적으로 CH3, CF3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 몰리브데넘 전구체
5 5
청구항 2의 화학식 2로 표시되는 화합물과 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 청구항 1의 화학식 1로 표시되는 몰리브데넘 전구체의 제조방법:[화학식 3](상기 식에서, R6는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, A는 Li, Na, K, 또는 NH4이다
6 6
하기 화학식 4로 표시되는 화합물과 하기 화학식 5로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 청구항 2의 화학식 2로 표시되는 몰리브데넘 전구체의 제조방법: [화학식 4](상기 식에서, B는 Li, Na, K, 또는 NH4이고, R2, R3는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R4, R5는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다
7 7
청구항 1 또는 청구항 2의 몰리브데넘 전구체를 이용하여 금속 박막을 성장시키는 방법
8 8
청구항 7에 있어서,박막 성장 공정이 화학 기상 증착법(CVD) 또는 원자층 증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발