[1020140097453] |
란탄족 금속 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법(LANTHANIDE METAL PRECURSORS, PREPARATION METHOD THEREOF AND PROCESS FOR THE FORMATION OF THIN FILMS USING THE SAME) |
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[1020140086145] |
루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법(Ruthenium precursors, preparation method thereof and process for the formation of thin films using the same) |
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[1020130136364] |
안티몬-텔루륨 단일 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130136363] |
게르마늄-텔루륨 단일 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130126765] |
단원자 증착법을 이용한 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이의 제조방법 |
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[1020130121987] |
텅스텐 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130121986] |
루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130121985] |
몰리브데넘 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130050315] |
황화 니켈 박막의 제조 방법 |
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[1020130050310] |
루테늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046352] |
아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046351] |
아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046350] |
아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046349] |
아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046347] |
아미노싸이올레이트를 이용한 주석 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046346] |
아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046345] |
아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046344] |
아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046343] |
아미노싸이올레이트를 이용한 납 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130046342] |
아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020130022728] |
열박음을 통한 단결정 성장용 압력용기 |
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[1020130020560] |
연속식 암모노써멀 합성 반응기를 이용한 초임계 암모니아 내에서의 Ⅲ족 질화물 분말의 제조 |
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[1020120049235] |
신규의 텅스텐 아미노아미드 아지드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049233] |
신규의 텅스텐 실릴아미드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049229] |
신규의 텅스텐 아미노아미드 할로겐 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049225] |
신규의 텅스텐 아미노알콕사이드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120048239] |
아미노싸이올레이트 리간드를 이용한 구리 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120048230] |
아미노싸이올레이트를 이용한 주석 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120047442] |
아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120013032] |
아연주석산화물 박막의 제조방법 |
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[1020110043089] |
세자리 베타-디케티민 화합물, 스트론튬 또는 바륨 세자리 베타-디케티미네이트 화합물 및 그 제조방법 |
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[1020110039028] |
안티몬 아미노 알콕사이드 화합물 및 이의 제조방법 |
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[1020110020943] |
플루오르를 포함하는 리간드를 갖는 새로운 주석 화합물 및 그 제조 방법 |
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[1020110000493] |
신규한 비스무트 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법 |
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[1020100094200] |
신규의 갈륨 글리콜레이트 화합물 및 그 제조 방법 |
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