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루테늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015000928
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체에 관한 것으로, 상기 루테늄 전구체는 열적 안정성과 휘발성이 향상되고, 박막 증착 시 산소를 사용하지 않아도 되는 장점이 있어 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1](상기 식에서, R1-R16는 각각 독립적으로 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기다.)
Int. CL C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130050310 (2013.05.03)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0131219 (2014.11.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
2 정택모 대한민국 대전 유성구
3 김창균 대한민국 대전 유성구
4 전동주 대한민국 대전 유성구
5 정은애 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0394863-01
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0582060-46
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1024070-47
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-1145515-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1145517-14
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0198410-16
7 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2015.04.24 수리 (Accepted) 7-1-2015-0017959-52
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2015.05.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0498428-38
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0498427-93
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0454898-00
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2015.08.06 수리 (Accepted) 7-1-2015-0035766-69
12 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2015.10.15 수리 (Accepted) 7-8-2015-0026257-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
15 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0251516-92
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체:[화학식 1](상기 식에서, R1-R16는 각각 독립적으로 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기다
2 2
청구항 1에 있어서,R1-R16는 서로 독립적으로 H, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 루테늄 전구체
3 3
하기 화학식 2로 표시되는 화합물과 화학식 3으로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 청구항 1에 따른 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체의 제조방법:[화학식 2][화학식 3](상기 식에서, X는 Cl, Br 또는 I이고, R1-R16는 각각 독립적으로 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기다
4 4
청구항 1의 루테늄 전구체를 이용하여 루테늄 박막을 성장시키는 방법
5 5
청구항 4에 있어서,박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20180282866 US 미국 FAMILY
2 WO2014178684 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2018282866 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2014178684 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발