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하기 단계를 포함하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법:(1) 100∼500㎚의 세공크기를 갖는 미세다공성 무기소재 지지체에, 졸-겔 방법으로 2~10 ㎚의 세공크기를 가지는 메조다공성 무기산화물 중간층을 형성시키고, (2) 상기 메조다공성 중간층이 형성된 다공성 무기소재 지지체를 500~650℃로 가열하고 지지체의 양쪽면에 압력차가 발생되게 하고, (3) 상기 메조다공성 중간층이 형성된 다공성 무기소재 지지체에서 압력이 낮은 쪽에 실란화합물의 증기를 공급하여 기상화학증착법(CVD)에 의해 0
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제 1 항에 있어서, 실란화합물의 증기는 실란화합물을 40~80℃에서 질소로 버블링 또는 감압 하에 기화 또는 증발시켜 생성된 것임을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 전술한 실란화합물의 증기를 150~250℃로 예열하여 공급하는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 전술한 압력차는 압력이 낮은 쪽에서 감압, 압력이 높은 쪽에서 가압 또는 이들 둘다에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 전술한 기상화학증착법(CVD)에 의한 나노다공성 실리카 활성층을 증착은 상기 다공성 무기소재 지지체의 양쪽면의 압력차 또는 압력이 낮은 쪽의 진공도가 1~60mmHg에 달할 때까지 수행되는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 전술한 나노다공성 실리카 활성층은 메조다공성 무기산화물 중간층의 상부 및 미세다공성 무기소재 지지체의 세공 내에 형성되는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 전술한 메조다공성 무기산화물 중간층은 2~10 ㎛의 두께를 가지며 전술한 나노다공성 실리카 활성층은 0
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제 1 항에 따른 제조방법으로 수득되고, 100∼500㎚의 세공크기를 갖는 미세다공성 무기소재 지지체, 2~10 ㎚의 세공크기를 가지는 메조다공성 무기산화물 중간층 및 0
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제 9 항에 있어서, 전술한 무기소재 지지체 및 무기산화물은 알루미나, 실리카, 티타니아, 지르코니아, 이들의 혼합산화물 및 이들의 복합산화물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막
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제 9 항에 있어서, 전술한 메조다공성 무기산화물 중간층은 알루미나층 또는 실리카층인 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막
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제 9 항에 있어서, 전술한 메조다공성 무기산화물 중간층은 2~10 ㎛의 두께를 가지며 전술한 나노다공성 실리카 활성층은 0
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제 9 항에 있어서, 전술한 나노다공성 실리카 활성층은 메조다공성 무기산화물 중간층의 상부 및 미세다공성 무기소재 지지체의 세공 내에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 나노기공의 크기 및 분포가 정밀하게 제어된 기체분리용 무기소재 분리막
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제 9 항에 따른 기체분리용 무기소재 분리막을 사용하여, 기체를 분리하는 방법
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제 15 항에 있어서, 전술한 기체가 수소와 산소의 혼합물인 것을 특징으로 하는 방법
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