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유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법

  • 기술번호 : KST2015001162
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 「(a) 유연 기판이 일측면으로 들어가 코팅공정 후 타측면으로 나오도록 구성된 코팅챔버를 준비하는 단계; (b) 유연 기판을 상기 코팅챔버 내부로 이송하고, 상기 유연 기판의 상·하면이 공간에 노출되도록 하는 단계; (c) 상기 유연 기판을 고정하되, 공정 진행 방향 기준으로 상기 유연 기판의 전방과 후방 가장자리를 고정하는 단계; 및 (d) 투명전도막 프리커서를 상기 유연 기판의 상·하면과 평행을 이루면서 공정 진행 방향과는 수직을 이루는 방향으로 흘려주어 상기 유연 기판에 증착시키는 단계;를 포함하여 구성된 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법」을 제공한다.
Int. CL C23C 26/00 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 26/00(2013.01) C23C 26/00(2013.01) C23C 26/00(2013.01) C23C 26/00(2013.01) C23C 26/00(2013.01) C23C 26/00(2013.01)
출원번호/일자 1020130112688 (2013.09.23)
출원인 한국세라믹기술원, (주)솔라세라믹
등록번호/일자 10-1472377-0000 (2014.12.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 (주)에이치앤세온 대한민국 경기도 수원시 권선구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울 동작구
2 송철규 대한민국 서울 도봉구
3 김다혜 대한민국 강원도 춘천시 영서로
4 류도형 대한민국 서울특별시 양천구
5 박성환 대한민국 경기 오산시 경기대로 ***,
6 김보민 대한민국 서울 강서구
7 김병종 대한민국 서울 금천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조성광 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에이치앤이루자 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0858961-27
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0046195-80
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0689609-32
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1010937-44
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1010955-66
8 등록결정서
Decision to grant
2014.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0751297-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5069858-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2018-5203649-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 유연 기판이 일측면으로 들어가 코팅공정 후 타측면으로 나오도록 구성된 코팅챔버를 준비하는 단계;(b) 유연 기판을 상기 코팅챔버 내부로 이송하고, 상기 유연 기판의 상·하면이 공간에 노출되도록 하는 단계;(c) 상기 유연 기판을 고정하되, 공정 진행 방향 기준으로 상기 유연 기판의 전방과 후방 가장자리를 고정하는 단계; 및(d) 투명전도막 프리커서를 상기 유연 기판의 상·하면과 평행을 이루면서 공정 진행 방향과는 수직을 이루는 방향으로 흘려주어 상기 유연 기판에 증착시키는 단계;를 포함하여 구성된 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
2 2
제1항에서,상기 (c)단계에서 공정 진행 방향 기준으로 상기 유연 기판의 전방과 후방 가장자리를 고정하는 방법은,(1) 물리적 압착부를 구성하여 누름, 하중 및 체결 중 한가지를 통한 물리적 고정화 방법 또는 (2) 정전기 인력 또는 자기력을 이용한 전자기력적 고정화 방법 또는(3) 접착제 또는 페이스트를 이용한 화학적 접착을 통한 화학적 고정화 방법 또는(4) 석션을 통한 유체역학적 고정화 방법 중 하나인 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
3 3
제1항에서,상기 유연 기판은 가열 전처리가 되어 있는 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
4 4
제1항에서,상기 (b)단계는 상기 유연 기판을 인라인 타입으로 이송하는 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
5 5
제1항에서,상기 (b)단계는 상기 유연 기판을 롤투롤 타입으로 이송하는 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
6 6
제5항에서,상기 유연 기판은 폴리이미드 기판이고, 투명전도막은 FTO 투명전도막인 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
7 7
제5항에서,상기 유연 기판은 250~500℃로 가열 전처리된 폴리이미드 기판인 것을 특징으로 하는 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 한국세라믹기술원 서울시 산학연 협력사업 (2011년 특허기술상품화 기술 개발지원사업) 유연 FTO 필름의 롤투롤 제조 기술 개발