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산화 마그네슘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015001271
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식1로 표시되는 산화 마그네슘 전구체에 관한 것으로, 상기 산화 마그네슘 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 산화 마그네슘을 포함한 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1]
Int. CL C01F 5/00 (2006.01) C23C 16/18 (2006.01) C01F 5/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120049237 (2012.05.09)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1359518-0000 (2014.01.29)
공개번호/일자 10-2013-0125594 (2013.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
2 정택모 대한민국 대전 유성구
3 김창균 대한민국 대전 유성구
4 전동주 대한민국 대전 유성구
5 김효숙 대한민국 광주 서구
6 이영국 대한민국 대전 유성구
7 안기석 대한민국 대전 유성구
8 이선숙 대한민국 대전 중구
9 임종선 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0371132-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.12.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0001239-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0444065-36
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0781790-33
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0781791-89
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0064183-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
1 1
하기 화학식1로 표시되는 산화 마그네슘 전구체:[화학식 1](상기 식에서, m은 1 내지 3 범위의 정수고, R1, R2, R3 및 R4 은 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, R5 및 R6 은 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 불소 또는 C1-C10의 알콕시기가 치환된 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이다
2 2
하기 화학식 2의 마그네슘 화합물과 하기 화학식 3의 아미노알콕시 알칼리금속 화합물 및 하기 화학식 4의 다이케톤 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 하기 화학식 1 화합물의 제조방법
3 3
청구항 1의 산화 마그네슘 전구체를 이용하여 산화 마그네슘을 포함한 박막을 성장시키는 방법
4 4
청구항 3에 있어서,박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
청구항 1의 산화 마그네슘 전구체를 이용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 산화 마그네슘을 포함한 박막
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1 WO2013168941 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013168941 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발