[1020120136560] |
게르마늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120136559] |
아미노싸이올레이트를 이용한 안티몬 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120136558] |
루테늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120136556] |
아미노싸이올레이트를 이용한 게르마늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049237] |
산화 마그네슘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049235] |
신규의 텅스텐 아미노아미드 아지드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049233] |
신규의 텅스텐 실릴아미드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049229] |
신규의 텅스텐 아미노아미드 할로겐 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120049225] |
신규의 텅스텐 아미노알콕사이드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120048247] |
금속 산화물/질화물/황화물 박막의 전사 방법 및 이에 사용되는 전사용 시트 |
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[1020120048239] |
아미노싸이올레이트 리간드를 이용한 구리 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120048237] |
아미노싸이올레이트를 이용한 아연 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120048230] |
아미노싸이올레이트를 이용한 주석 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120047442] |
아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120047440] |
스트론튬 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120047439] |
스트론튬 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 |
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[1020120026274] |
원자층 증착 기술을 이용한 안티몬을 포함하는 박막의 형성 방법 |
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[1020120013032] |
아연주석산화물 박막의 제조방법 |
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