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잉곳 제조장치

  • 기술번호 : KST2015001386
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 잉곳 제조장치는 진공챔버 내에서, 액상의 원료를 일정한 고화 방향성(solidification direction)을 갖도록 순차적으로 고상전이(liquid to solid phase transition)시켜 반도체 또는 금속산화물 잉곳을 제조하는 잉곳 제조장치이며, 상기 잉곳 제조장치의 높이 방향을 종방향으로, 상기 종방향과 수직인 방향을 횡방향으로 하여, 반도체 또는 금속산화물 원료가 담지되는 도가니; 상기 도가니에 종방향으로 일정거리 이격 구비되는 냉각 수단; 상기 도가니의 둘레면을 감싸도록 상기 도가니에 횡방향으로 일정거리 이격 구비되는 제1가열수단 및 상기 도가니를 사이에 두고 종방향으로 상기 냉각수단과 대향되도록 상기 도가니에 종방향으로 일정거리 이격 구비되는 제2가열수단을 포함하는 가열수단; 및 종방향으로 상기 도가니와 냉각 수단 사이에 구비되며 이동부에 의해 그 위치가 이동되는 단열 부재;를 포함하는 단위체;를 포함하며, 내부 공간부를 갖는 진공챔버에, 내부 공간부를 갖는 진공챔버에, 상기 공간부의 중심을 가로지르는 가상면을 기준으로, 상기 가상면에 의해 나눠지는 공간부의 각 구역에 상기 단위체가 구비되는 장치인 특징이 있다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) C30B 28/06 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01) C30B 28/06(2013.01)
출원번호/일자 1020120137716 (2012.11.30)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1401255-0000 (2014.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문상진 대한민국 대전광역시 유성구
2 소원욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 박동순 대한민국 대전광역시 서구
4 구명회 대한민국 대전광역시 서구
5 이운복 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0994313-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0066461-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0064560-57
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0293561-61
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0293564-08
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0342166-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공챔버 내에서, 액상의 원료를 일정한 고화 방향성(solidification direction)을 갖도록 순차적으로 고상전이(liquid to solid phase transition)시켜 반도체 또는 금속산화물 잉곳을 제조하는 잉곳 제조장치이며, 상기 잉곳 제조장치의 높이 방향을 종방향으로, 상기 종방향과 수직인 방향을 횡방향으로 하여,반도체 또는 금속산화물 원료가 담지되는 도가니; 상기 도가니에 종방향으로 일정거리 이격 구비되며 냉각수단 이송부에 의해 종방향으로 이송되는 냉각 수단; 상기 도가니의 둘레면을 감싸도록 상기 도가니에 횡방향으로 일정거리 이격 구비되는 제1가열수단 및 상기 도가니를 사이에 두고 종방향으로 상기 냉각수단과 대향되도록 상기 도가니에 종방향으로 일정거리 이격 구비되는 제2가열수단을 포함하는 가열수단; 및 종방향으로 상기 도가니와 냉각 수단 사이에 구비되며 이동부에 의해 그 위치가 이동되는 단열 부재;를 포함하는 단위체;와제어부;를 포함하며,내부 공간부를 갖는 진공챔버에, 상기 공간부의 중심을 가로지르는 가상면을 기준으로, 상기 가상면에 의해 나눠지는 공간부의 각 구역에 상기 단위체가 구비되며,상기 제어부는 상기 단위체 별로 상기 단열 부재의 위치를 이동시키는 이동부와 냉각수단 이송부를 제어하며, 상기 가열 수단 및 상기 냉각 수단에 의한 상기 원료의 용융 및 순차적 고화 시, 고화 진행 정도에 따라 상기 단열 부재의 위치를 조절하고 상기 도가니와 상기 냉각수단간의 이격 거리를 조절하는 잉곳 제조장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 단위체의 상기 단열부재는 단열체인 둘 이상의 평판을 포함하며, 상기 둘 이상의 평판은 각각 상기 이동부에 의해 서로 독립적으로 위치가 횡방향으로 이동되는 잉곳 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 단위체의 상기 단열부재는 단열체인 둘 이상의 평판을 포함하며, 상기 둘 이상의 평판은 종 방향으로 동일 평면 또는 서로 다른 평면에 위치하는 잉곳 제조장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 둘 이상의 평판이 서로 다른 평면에 위치하는 경우, 상기 평판들은 적어도 일부분이 종방향으로 서로 밀착된 잉곳 제조장치
5 5
제 1항 내지 제 4항에서 선택된 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는, 고화 진행 정도에 따라, 상기 단위체 별로 상기 단열 부재를 구성하는 평판 각각의 위치를 조절하여, 일 단위체의 상기 도가니와 상기 냉각 수단 간 관통 공을 형성하거나, 상기 도가니와 냉각 수단 간 위치별 종방향으로의 상기 단열 부재의 총 두께를 제어하는 잉곳 제조장치
6 6
제 1항 내지 제 4항에서 선택된 어느 한 항에 있어서, 상기 둘 이상의 평판은 두께, 형상, 크기 및 재질에서 하나 이상 선택된 인자가 서로 상이한 잉곳 제조장치
7 7
제 4항에 있어서,상기 둘 이상의 평판이 서로 다른 평면에 위치하는 경우, 동일 평면에 위치하는 평판을 일 평판층으로 하여, 상기 단열부재는 2 내지 6개의 평판층으로 구성되는 잉곳 제조장치
8 8
제 1항에 있어서,상기 공간부는 상기 공간부의 중심을 지나는 십자 형상의 가상면에 의해 4개의 구역으로 나눠지며, 상기 4개의 구역 각각에 상기 단위체가 배열되는 것을 특징으로 하는 잉곳 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 광에너지 융합소재 원천기술 개발