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나노구조체와 이를 포함하는 광학소자 및 이들의 제조방법
- 기술번호 : KST2015001400
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 나노구조체와 이를 포함하는 광학소자 및 이들의 제조방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 나노구조체의 제조방법은 그래핀층 상에 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 금속의 전구체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 전구체 패턴을 환원하여 상기 그래핀층 상에 상기 전구체 패턴으로부터 환원된 금속 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 블록공중합체 템플릿층은 상기 그래핀층에 직접 접촉하도록 형성될 수 있다. 상기 블록공중합체 템플릿층의 형태를 변형하는 단계를 더 수행할 수 있다. 다성분 블록공중합체 및 다성분 금속 전구체를 이용해서 다성분 금속 나노 패턴 어레이를 형성할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2017.01.01) G01J 1/00 (2006.01.01) H01L 31/10 (2006.01.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020130016058 (2013.02.14) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사, 울산과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-2059130-0000 (2019.12.18) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0102566 (2014.08.22) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20191224) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2018.02.06) |
| 심사청구항수 | 17 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 울산과학기술원 | 대한민국 | 울산광역시 울주군 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김언정 | 대한민국 | 경기 화성시 영통로**번길 **, |
| 2 | 김진은 | 대한민국 | 경기 수원시 영통구 |
| 3 | 노영근 | 대한민국 | 서울 송파구 |
| 4 | 박수진 | 대한민국 | 울산 남구 |
| 5 | 박연상 | 대한민국 | 서울 동작구 |
| 6 | 유승민 | 대한민국 | 울산 동구 |
| 7 | 이장원 | 대한민국 | 서울 강남구 |
| 8 | 이재숭 | 대한민국 | 경기 수원시 장안구 |
| 9 | 천상모 | 대한민국 | 경기 부천시 소사구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 경기도 수원시 영통구 | |
| 2 | 울산과학기술원 | 울산광역시 울주군 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0135259-81 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.12.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5176347-51 |
| 3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2016.02.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0129624-61 |
| 4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2016.04.20 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2016-0379327-57 |
| 5 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2016.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2016-0062297-12 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2016.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0410349-24 |
| 7 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2016.06.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2016-0088681-40 |
| 8 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2018.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0129339-22 |
| 9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2019.05.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0353944-60 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2019.07.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-0734700-72 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2019.07.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0734699-13 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2019.09.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0689461-55 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.07.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5148444-43 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.08.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5186266-03 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 그래핀층을 마련하는 단계; 상기 그래핀층 상에 직접 접촉된 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 금속의 전구체 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 전구체 패턴을 환원하여, 상기 그래핀층 상에 상기 전구체 패턴으로부터 환원된 금속 나노 패턴을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 금속의 전구체 패턴을 형성하는 단계에서는 블록공중합체와 금속의 전구체를 포함하는 고분자 용액을 상기 그래핀층 상에 도포함으로써, 상기 블록공중합체 템플릿층과 상기 금속의 전구체 패턴을 상기 그래핀층 상에 동시에 형성하는, 나노구조체의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 블록공중합체 템플릿층은 소수성의 제1 폴리머 및 친수성의 제2 폴리머를 포함하는 블록공중합체를 소수성 용매에 혼합한 고분자 용액을 이용해서 형성하는 나노구조체의 제조방법 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 블록공중합체는 PS-b-P4VP, PS-b-P2VP, PS-b-PEO, PS-b-PAA, PI-b-P4VP, PI-b-P2VP, PI-b-PEO, PI-b-PAA, PMMA-b-P4VP, PMMA-b-P2VP, PMMA-b-PEO, PMMA-b-PAA, PS-b-PMA, PS-b-PMMA, PI-b-PMA, PI-b-PMMA, PMMA-b-PMA, PS-b-PS-OH 및 PI-b-PS-OH 중 어느 하나를 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 4 |
4 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 소수성 용매는 톨루엔(toluene), 톨루엔/THF(tetrahydrofuran) 혼합액, 자일렌(xylene) 및 에틸벤젠(ethlybenzene) 중 어느 하나를 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 5 |
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| 6 |
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| 7 |
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| 8 |
8 제 1 항에 있어서, 상기 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 전구체 패턴을 환원하는 단계는, 상기 블록공중합체 템플릿층 및 상기 전구체 패턴을 플라즈마로 처리하는 단계를 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 플라즈마는 수소 또는 산소의 플라즈마인 나노구조체의 제조방법 |
| 10 |
10 제 1 항에 있어서, 상기 블록공중합체 템플릿층은 마이셀(micelle) 구조로 형성되는 나노구조체의 제조방법 |
| 11 |
11 제 10 항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴은 도트(dot) 패턴으로 형성되는 나노구조체의 제조방법 |
| 12 |
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| 13 |
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| 14 |
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| 15 |
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| 16 |
16 제 1 항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴은 플라즈모닉(plasmonic) 나노구조체인 나노구조체의 제조방법 |
| 17 |
17 청구항 1에 기재된 방법으로 그래핀층 상에 금속 나노 패턴이 구비된 나노구조체를 형성하는 단계; 및상기 나노구조체에 접촉된 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 광학소자의 제조방법 |
| 18 |
18 제 17 항에 있어서, 상기 광학소자는 플라즈모닉 광검출기(plasmonic photodetector)인 광학소자의 제조방법 |
| 19 |
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| 20 |
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| 21 |
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| 22 |
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| 23 |
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| 24 |
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| 25 |
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| 26 |
26 하지층을 마련하는 단계; 상기 하지층 상에 다성분 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 다성분 금속 전구체 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 다성분 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 다성분 금속 전구체 패턴을 환원하여, 상기 하지층 상에 상기 다성분 금속 전구체 패턴으로부터 환원된 다성분 금속 나노 패턴을 형성하는 단계; 를 포함하며,상기 다성분 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 다성분 금속 전구체 패턴을 형성하는 단계는, 제1 블록공중합체 및 이와 결합된 제1 금속 전구체를 포함하는 제1 용액을 마련하는 단계; 제2 블록공중합체 및 이와 결합된 제2 금속 전구체를 포함하는 제2 용액을 마련하는 단계; 상기 제1 용액과 상기 제2 용액을 혼합하여 혼합용액을 마련하는 단계; 및 상기 혼합용액을 상기 하지층 상에 도포하는 단계; 를 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 27 |
27 제 26 항에 있어서, 상기 하지층은 그래핀을 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 28 |
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| 29 |
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| 30 |
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| 31 |
31 제 26 항에 있어서, 상기 다성분 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 다성분 금속 전구체 패턴을 환원하는 단계는, 상기 다성분 블록공중합체 템플릿층 및 상기 다성분 금속 전구체 패턴을 플라즈마로 처리하는 단계를 포함하는 나노구조체의 제조방법 |
| 32 |
32 제 26 항에 있어서, 상기 다성분 금속 나노 패턴은 플라즈모닉(plasmonic) 나노구조체인 나노구조체의 제조방법 |
| 33 |
33 청구항 26에 기재된 방법으로 그래핀층 상에 다성분 금속 나노 패턴이 구비된 나노구조체를 형성하는 단계; 및상기 나노구조체에 접촉된 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 광학소자의 제조방법 |
| 34 |
34 제 33 항에 있어서, 상기 광학소자는 플라즈모닉 다대역 광검출기(plasmonic multi-band photodetector)인 광학소자의 제조방법 |
| 35 |
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| 36 |
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| 37 |
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| 38 |
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| 39 |
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| 40 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09029252 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20140225067 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2014225067 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US9029252 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-2059130-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20130214 출원 번호 : 1020130016058 공고 연월일 : 20191224 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20190924 청구범위의 항수 : 17 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노구조체와 이를 포함하는 광학소자 및 이들의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구... |
| 1 |
(권리자) 울산과학기술원 울산광역시 울주군... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 698,000 원 | 2019년 12월 19일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0135259-81 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.12.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5176347-51 |
| 3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2016.02.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0129624-61 |
| 4 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2016.04.20 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2016-0379327-57 |
| 5 | 서류반려이유통지서 | 2016.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2016-0062297-12 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2016.04.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0410349-24 |
| 7 | 서류반려통지서 | 2016.06.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2016-0088681-40 |
| 8 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2018.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-0129339-22 |
| 9 | 의견제출통지서 | 2019.05.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0353944-60 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2019.07.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-0734700-72 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2019.07.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0734699-13 |
| 12 | 등록결정서 | 2019.09.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0689461-55 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.07.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5148444-43 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.08.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5186266-03 |
| 기술번호 | KST2015001400 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 울산과학기술원 |
| 기술명 | 나노구조체와 이를 포함하는 광학소자 및 이들의 제조방법 |
| 기술개요 |
나노구조체와 이를 포함하는 광학소자 및 이들의 제조방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 나노구조체의 제조방법은 그래핀층 상에 블록공중합체 템플릿층 및 이와 결합된 금속의 전구체 패턴을 형성하는 단계와, 상기 블록공중합체 템플릿층을 제거하고 상기 전구체 패턴을 환원하여 상기 그래핀층 상에 상기 전구체 패턴으로부터 환원된 금속 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 블록공중합체 템플릿층은 상기 그래핀층에 직접 접촉하도록 형성될 수 있다. 상기 블록공중합체 템플릿층의 형태를 변형하는 단계를 더 수행할 수 있다. 다성분 블록공중합체 및 다성분 금속 전구체를 이용해서 다성분 금속 나노 패턴 어레이를 형성할 수 있다. |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | - |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스,기술지도,기타, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1711008420 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 울산-001 |
| 연구과제명 | 울산과기대출연지원 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200701~999912 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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