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실리콘을 공급할 수 있는 다공성 기재를 제공하는 제1단계;상기 다공성 기재 표면 상에 제올라이트 종자 결정들(seed crystals)을 적용하는 제2단계;종자 결정들이 적용된 다공성 기재를 구조 유도제(Structure directing agent) 함유 수용액으로 코팅하는 제3단계; 및제3단계에서 준비된 종자 결정들이 적용된 다공성 기재 내 수분이 증기(steam)를 형성할 수 있는 온도 이상에서 2차 성장법을 이용하여 상기 종자 결정들로부터 막을 형성 및 성장시키는 제4단계 를 포함하여, 박막 또는 후막을 제조하는 방법
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제1항에 있어서, 다공성 기재 중 실리콘을 공급할 수 있는 재료는 비결정질 물질로서 다공성인 것을 특징으로 하는 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 다공성 기재 중 실리콘을 공급할 수 있는 재료는 다공성 실리카인 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제1단계의 다공성 기재는 물에 의해 팽윤되어 있는 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 종자 결정들 및 형성된 막은 제올라이트 또는 유사 분자체인 것이 특징인 막 제조 방법
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제5항에 있어서, 제올라이트 또는 유사 분자체는 MFI 구조인 것이 특징인 막 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 제올라이트 또는 유사 분자체는 ZSM-5, 실리카라이트, TS-1, AZ-1, Bor-C, 보라라이트 C, 엔시라이트, FZ-1, LZ-105, 모노클리닉 H-ZSM-5, 뮤티나이트, NU-4, NU-5, TSZ, TSZ-Ⅲ, TZ-01, USC-4, USI-108, ZBH 및 ZKQ-1B로 구성된 군에서 선택된 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 종자결정의 크기는 종자결정이 다공성 기재 표면 위에 평평하게 놓일 수 있을 정도로 다공성 기재의 공극 및 기공보다 큰 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제2단계에서 실리콘 함유 종자 결정들은 결정축 a축, b축 및 c축 중 하나 이상 또는 모두가 일정한 규칙에 따라 다공성 기재 상에 배향되도록 정렬되는 것이 특징인 막 제조 방법
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제9항에 있어서, 제2단계에서 정렬된 종자 결정들은, 종자 결정들의 모든 a축이 서로 평행하거나, 종자 결정들의 모든 b축이 서로 평행하거나, 종자 결정들의 모든 c축이 평행하거나 또는 이들의 조합에 따라 배향된 것이 특징인 막 제조 방법
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제10항에 있어서, 제2단계에서 종자 결정들은 a축, b축 또는 c축이 기재면에 대해 수직으로 배향된 것이 특징인 막 제조 방법
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제9항에 있어서, 제2단계에서 기재상에 a축, b축 및 c축 중 하나 이상 또는 모두가 일정한 규칙에 따라 배향된 종자 결정들은 단층(monolayer)을 형성하는 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제4단계에서 종자 결정 표면으로부터 2차 성장에 의해 종자 결정들이 2차원적으로 서로 연결되면서 3차원적으로 수직 성장을 하여 막을 형성하는 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 형성된 막은 100 nm 내지 500 nm의 두께로 성장하는 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제3단계에서 사용되는 구조 유도제는 테트라프로필암모니움 하이드록사이드 (TPAOH), 테트라에틸암모니움 하이드록사이드 (TEAOH), 테트라메틸암모니움 (TMA), 테트라부틸암모늄 (TBA) 또는 이의 혼합물인 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제3단계에서 사용되는 구조 유도제는 종자 결정들의 표면으로부터 2차 성장만을 유도하고, 종자 결정 표면에서 결정 핵 생성반응(crystal nucleation)을 유도하지는 못하는 종류인 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 종자 결정들은 규칙적 다공성물질(ordered porous materials)인 것이 특징인 막 제조 방법
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제9항에 있어서, 다공성 기재 상에 적어도 b축이 일정한 규칙에 따라 배향되도록 종자 결정들을 적용한 경우,인접한 종자 결정들의 b축 결정축 배향이 동일한 구획 내에서 형성된 막은, 기재면에 평행한 축방향으로 채널(channel)이 연속적으로 연결되어 확장되거나; 기재면에 수직 또는 경사를 이룬 축 방향으로 채널(channel)이 연속적으로 연결되어 확장된 것이 특징인 막 제조 방법
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제1항에 있어서, 제3단계와 제4단계를 2회 이상 반복하는 것이 특징인 막 제조 방법
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