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(a) 증착하기 위한 공간을 제공하는 챔버, 전자빔을 방출하는 전자빔 장치, 열차폐 코팅막을 형성하기 위한 기판, 상기 기판에 대하여 이격되게 설치되고 상·하로 위치조절이 가능한 홀더를 포함하는 전자빔 증착장치를 준비하는 단계;(b) 하나의 상기 홀더 내에 복수 개의 잉곳을 순차적으로 적층하여 장착하는 단계;(c) 상기 챔버 내를 배기하여 진공 상태로 만드는 단계;(d) 상기 기판을 목표하는 온도로 가열하는 단계; 및(e) 하나의 상기 홀더 내에 적층된 순서대로 상기 복수 개의 잉곳에 상기 전자빔을 조사하여 기화되게 하여 연속적 인-시추 증착공정으로 상기 기판에 열차폐 코팅막을 형성하는 단계를 포함하며,상기 복수 개의 잉곳 중에서 적어도 2개의 잉곳 두께가 서로 다르며,하나의 상기 홀더 내에 순차적으로 적층된 상기 복수 개의 잉곳은 서로 다른 복수 개의 금속 원소를 포함하는 복합산화물로 이루어지고,상기 열차폐 코팅막은, 경계선을 기준으로 불연속하게 형성된 주상 구조(columnar structure)를 갖고, 상기 주상 구조는 상기 기판에 대하여 수직하게 성장된 형태를 이루며, 상기 경계선 하부의 주상 구조와 상기 경계선 상부의 주상 구조는 호모지니어스(homogeneous)하고, 상기 경계선과 상기 주상 구조는 서로 다른 복수 개의 금속 원소를 포함하는 복합산화물로 이루어지며,상기 전자빔이 상기 홀더 내에 적층된 잉곳들 사이의 계면과 만나게 되면 호모지니어스한 코팅막에 변화를 주게 되어 상기 경계선이 형성되고, 상기 홀더 내에 적층되는 잉곳의 수는 상기 경계선의 수를 고려하여 결정하는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 복수 개의 잉곳은 서로 동일한 조성의 복합산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 복수 개의 잉곳 중에서 적어도 2개의 잉곳이 서로 다른 조성의 복합산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 (e) 단계에서,산소(O2) 가스를 포함하는 공정 가스를 공급하고,상기 기판은 400∼1100℃로 가열하며, 상기 기판은 1∼20rpm으로 회전시키면서 증착이 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 (b) 단계는,잉곳의 소스 원료인 서로 다른 복수 개의 금속 원소를 포함하는 복합산화물 분말이나 복수 개의 서로 다른 이종의 산화물 분말을 준비하고, 바인더와 함께 혼합하는 단계;잉곳의 소스 원료를 목표하는 형태로 성형하는 단계;성형된 결과물을 소결하는 단계; 소결된 결과물인 잉곳을 복수 개 준비하는 단계; 및하나의 상기 홀더 내에 복수 개의 잉곳을 순차적으로 적층하여 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제12항에 있어서, 서로 다른 복수 개의 금속 원소를 포함하는 상기 복합산화물 분말은 이트리아(Y2O3)와 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물 분말, 란탄족(lanthanoids) 산화물과 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물 분말, 란탄족(lanthanoids) 산화물과 이트리아(Y2O3)와 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물 분말 또는 파이로클로어 구조를 갖는 A2B2O7계 복합산화물 분말을 포함하고, 복수 개의 서로 다른 이종의 상기 산화물 분말은 이트리아(Y2O3) 분말과 지르코니아(ZrO2) 분말을 포함하거나, 란탄족(lanthanoids) 산화물 분말과 지르코니아(ZrO2) 분말을 포함하거나, 란탄족(lanthanoids) 산화물 분말, 이트리아(Y2O3) 분말 및 지르코니아(ZrO2) 분말을 포함하며, 상기 소결은 산화분위기에서 1000℃∼1600℃의 온도로 수행하는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 경계선은 복수 개가 형성되어 있고, 각각의 상기 경계선을 기준으로 불연속하게 주상 구조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 경계선 하부의 주상 구조와 상기 경계선 상부의 주상 구조는 서로 다른 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 경계선 하부의 주상 구조와 상기 경계선 상부의 주상 구조는 서로 동일한 조성의 복합산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 경계선 하부의 주상 구조와 상기 경계선 상부의 주상 구조는 서로 다른 조성의 복합산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 열차폐 코팅막은 50㎛∼2mm의 두께로 형성하고, 상기 복합산화물은 이트리아(Y2O3)와 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물, 란탄족(lanthanoids) 산화물과 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물, 란탄족(lanthanoids) 산화물과 이트리아(Y2O3)와 지르코니아(ZrO2)가 복합화된 복합산화물 또는 파이로클로어 구조를 갖는 A2B2O7계 복합산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 열차폐 코팅막의 제조방법
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