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복수의 공진주파수를 각각 가지는 복수의 음향감지막;상기 음향감지막의 가장자리를 둘러싸 형성되며, 상기 음향감지막 각각의 위치에 대응하여 상기 음향감지막에 음파를 전달하는 복수의 음파채널이 형성된 음향감지기판; 및상기 음향감지막을 사이에 두고 상기 음파채널과 대향하여 상기 음향감지기판의 일면에 결합되며, 상기 음향감지막 각각의 위치에 대응하여 상기 음향감지막의 공진주파수에 따라 일정 깊이로 파인 복수의 공진홀을 구비한 음향반사판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 음향감지막은 원판형이고,상기 음파채널은 원판형의 상기 음향감지막에 대응하여 실린더 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 음향감지막의 공진주파수는 수식 에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 공진홀은 상기 음향감지막의 공진주파수에 대응한 파장의 0
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제1항에 있어서,상기 음향반사판은 상기 공진홀 내부 압력 조절을 위해, 상기 공진홀 내부로부터 상기 음향반사판을 관통하여 형성된 배기홀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 음향반사판과 대향하는 상기 음향감지기판의 일면에 결합되어 상기 음파채널로 음파가 모아지도록 보조하는 나팔 형태의 음향집속기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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7
복수의 공진주파수를 각각 가지는 복수의 음향감지막;상기 음향감지막의 가장자리를 둘러싸 형성되며, 상기 음향감지막 각각의 위치에 대응하여 상기 음향감지막에 음파를 전달하는 복수의 음파채널이 형성된 음향감지기판;상기 음향감지막을 사이에 두고 상기 음파채널과 대향하여 상기 음향감지기판의 일면에 결합되며, 상기 음향감지막 각각의 위치에 대응하여 상기 음향감지막의 공진주파수에 따라 일정 깊이로 파인 복수의 공진홀을 구비한 음향반사판;상기 음향감지기판 및 상기 음향반사판을 감싸 형성된 케이스; 및음파의 반사 손실을 줄이기 위해 상기 케이스의 일면에 부착되어 음향 임피던스를 조정하는 음향매칭부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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제7항에 있어서,상기 음향감지막은 원판형이고,상기 음파채널은 원판형의 상기 음향감지막에 대응하여 실린더 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 파장 공진형 초음파 센서 어레이
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