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자유곡면 측정을 위한 1차미분측정기의 직교오차 보정

  • 기술번호 : KST2015002005
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시 예에 따른 대상의 파면을 측정하는 측정기의 동작 방법은 대상의 파면을 기반으로 측정 파면을 측정하는 단계; 측정 파면을 기반으로 기준 방향 및 제 1 내지 제 3 방향들 각각에 대응하는 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 측정하는 단계; 측정된 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 기반으로 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계; 및 획득된 제 1 내지 제 3 회전각들을 기반으로 회전 오차에 의해 발생한 오류가 보정된 파면을 출력하는 단계를 포함하고, 제 1 내지 제 3 회전각들은 각각 기준 방향 및 제 1 방향의 각도 차이, 각각 기준 방향 및 제 2 방향의 각도 차이, 및 각각 기준 방향 및 제 3 방향의 각도 차이이다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G06F 17/13 (2006.01)
CPC G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020130144618 (2013.11.26)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1552652-0000 (2015.09.07)
공개번호/일자 10-2015-0061158 (2015.06.04) 문서열기
공고번호/일자 (20150914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이혁교 대한민국 대전 유성구
2 김영식 대한민국 세종특별자치시
3 양호순 대한민국 대전 유성구
4 이윤우 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1078456-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0073217-29
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0873969-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0095166-85
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0095167-20
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0411588-63
9 등록결정서
Decision to grant		 2015.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0406385-20
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0895810-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대상의 파면을 측정하는 측정기의 동작 방법에 있어서,상기 대상의 파면을 기반으로 측정 파면을 측정하는 단계;상기 측정 파면을 기반으로 기준 방향 및 제 1 내지 제 3 방향들 각각에 대응하는 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 측정하는 단계;상기 측정된 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 기반으로 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계; 및상기 획득된 제 1 내지 제 3 회전각들을 기반으로 회전 오차에 의해 발생한 오류가 보정된 파면을 출력하는 단계를 포함하고,상기 제 1 내지 제 3 회전각들은 각각 상기 기준 방향 및 상기 제 1 방향의 각도 차이, 각각 상기 기준 방향 및 상기 제 2 방향의 각도 차이, 및 각각 상기 기준 방향 및 상기 제 3 방향의 각도 차이인 동작 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 측정 파면을 기반으로 기준 방향 및 제 1 내지 제 3 방향들 각각에 대응하는 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 측정하는 단계는상기 측정 파면을 상기 기준 방향을 따라 소정의 양만큼 층밀림시키고, 상기 기준 방향을 따라 층밀림된 파면을 기반으로 상기 기준 기울기 정보를 측정하는 단계;상기 측정 파면을 상기 제 1 방향을 따라 소정의 양만큼 층밀림시키고, 상기 제 1 방향을 따라 층밀림된 파면을 기반으로 상기 제 1 기울기 정보를 측정하는 단계;상기 측정 파면을 상기 제 2 방향을 따라 소정의 양만큼 층밀림시키고, 상기 제 2 방향을 따라 층밀림된 파면을 기반으로 상기 제 2 기울기 정보를 측정하는 단계; 및상기 측정 파면을 상기 제 3 방향을 따라 소정의 양만큼 층밀림시키고, 상기 제 3 방향을 따라 층밀림된 파면을 기반으로 상기 제 3 기울기 정보를 측정하는 단계를 포함하는 동작 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 측정된 기준 기울기 정보 및 제 1 내지 제 3 기울기 정보를 기반으로 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계는,최소 자승법을 기반으로 상기 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계를 포함하는 동작 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 최소 자승법을 기반으로 상기 제 1 내지 제 3 회전각들을 획득하는 단계는,상기 제 1 내지 제 3 회전각들이 변화량이 임계값보다 작아지도록 반복 기법을 기반으로 반복 연산을 수행하는 단계를 포함하는 동작 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 회전각들은 각각 상기 회전 오차를 포함하고,상기 회전 오차는 상기 제 1 내지 제 3 회전각들이 각각 90도, 180도, 및 270도에서 벗어난 차이를 가리키는 동작 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 회전 오차가 작을수록 상기 대상의 파면 및 상기 보정된 파면의 차이가 감소하는 동작 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 측정기는 층밀리기 간섭계, 샤크-하트만 센서, 및 편향 측정기 중 어느 하나인 동작 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09863814 US 미국 FAMILY
2 US20150146213 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2015146213 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9863814 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 산업기술혁신개발사업 회절광학소자용 700nm급 이하의 미세패턴 가공을 위한 절삭가공공정 원천기술 개발