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시료를 중심으로 서로 이격되어 방사형으로 고정되는 다수 개의 X선 발생부들; 및상기 시료를 사이에 두고, 상기 X선 발생부들의 개수와 대응하는 개수로 상기 X선 발생부들과 대면하여 고정되며, 각각 대면하는 X선 발생부에서 출사되어 상기 시료를 통과한 X선만을 수광하여, 서로 다른 방향에서 상기 시료의 확대된 영상 데이터들을 획득하는 X선 검출부들;을 포함하고,X선 촬영시에 상기 X선 발생부들과 상기 X선 검출부들은 회전하지 않고 고정되어, 한번에 동시에 상기 시료의 영상데이터들을 획득하며,상기 X선 발생부들:은 각각X선을 사방으로 출사하는 광원;상기 광원의 전방에 구비되고, 상기 X선들 중 일부를 일정한 두께 및 폭을 갖는 평행광이 되도록 반사시키는 미러; 및상기 미러를 경유하는 상기 X선을 반사시킴으로써 단 파장이 되게 하는 반사 필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 영상 데이터들을 입력받아 상기 시료의 단층 영상 데이터를 생성하는 데이터 처리장치; 및상기 단층 영상 데이터를 단층 영상으로 표시하는 표시부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 2 항에 있어서,상기 데이터 처리장치:는상기 영상 데이터들을 상기 X선 검출부들로부터 입력받아 저장하는 데이터 저장부; 상기 영상 데이터들을 기반으로 상기 X선 발생부들 사이의 위치에서의 영상 데이터들을 추정하는 데이터 보간부; 및상기 데이터 저장부 및 상기 데이터 보간부의 영상 데이터들로부터 상기 시료의 단층 영상 데이터를 생성하는 영상 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 데이터 보간부는 인접하는 상기 X선 검출부들의 영상 데이터를 산술평균하여 상기 X선 발생부들 사이의 위치에서의 영상 데이터들을 추정하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 미러는 서로가 소정 간격 이격되고 상기 X선이 적어도 일면을 조사하도록 배치되며, 각각에 반사된 X선이 서로 적층되어 일정한 두께 및 폭을 갖는 평행광이 되도록 유도하는 다수 개의 미러들로 구성되는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 광원과 상기 미러 사이에 구비되고, 상기 X선이 상기 미러로 집중되도록 상기 X선의 경로를 유도하는 포커싱 미러를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 X선 검출부:는 상기 시료를 투과한 상기 X선이 투영되는 검출막; 및상기 시료와 상기 검출막 사이에 배치되며, 메쉬 형태의 금속막으로 형성되는 투과 필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 X선 검출부:는 상기 시료를 투과한 상기 X선의 산란 및 간섭을 억제하는 메쉬 형태의 금속막으로 이루어진 투과 필터;상기 투과 필터를 경유한 상기 X선을 검출하는 신틸레이터;상기 신틸레이터의 영상을 확대하기 위한 광학렌즈; 및상기 광학렌즈에 의해 확대된 영상을 촬상하기 위한 촬상소자;를 구비하는 것을 특징으로 하는 단층 촬영용 X선 현미경 시스템
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