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도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사장치

  • 기술번호 : KST2015002136
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물체의 도함수 영상을 입력받아 비접촉방식으로 결함의 정도를 측정할 수 있도록 한 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법 및 그 검사장치에 관한 것으로, 검사대상 물체에 레이저 광을 조사하기 위한 레이저와, 레이저 광이 검사대상 물체에 조사됨에 따라 그 조사면으로부터 산란된 채 반사되어진 광을 수광(또는 집광)하기 위한 영상결상렌즈와, 수광(또는 집광)된 광을 분할하는 한편 광로(光路)를 변경하기 위한 영상분할장치와, 분할된 일부의 광을 영상분할장치측으로 반사하기 위한 거울과, 거울을 통하여 반사되어진 분할광에 포함된 검사대상 물체의 영상정보를 획득하기 위한 영상입력장치와, 영상분할장치에서 분할된 나머지 광이 영상입력장치에 기 맺혀진 영상과 그 중심점이 소정거리 비껴 맺히도록 광로를 소정각 조절하는 한편 다시 영상분할장치를 거쳐 영상입력장치에 입사되도록 반사하기 위한 반사각조절거울과, 영상입력장치로부터 획득된 검사대상 물체의 변형 전, 변형 후의 영상 중 일측 영상에서 타측 영상을 뺀 다음 이를 적분처리하여 측정자가 판독할 수 있도록 2차원 형태의 영상으로 모니터상에 디스플레이하는 영상처리 및 측정부 제어장치가 구비된다. 레이저, 영상결상렌즈, 영상분할장치, 반사각조절거울, 거울, 영상입력장치.
Int. CL G01N 21/88 (2006.01)
CPC G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8851(2013.01)
출원번호/일자 1020030009257 (2003.02.14)
출원인 학교법인조선대학교
등록번호/일자 10-0527003-0000 (2005.11.01)
공개번호/일자 10-2004-0073613 (2004.08.21) 문서열기
공고번호/일자 (20051109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 무효
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 2020030004303;
심사청구여부/일자 Y (2003.02.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인조선대학교 대한민국 광주 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경석 대한민국 광주광역시 서구
2 양광영 대한민국 전라남도담양군
3 김성식 대한민국 전라남도목포시
4 장호섭 대한민국 광주 광산구
5 김종수 대한민국 전라남도 화순군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이현재 대한민국 광주광역시 동구 동명로 ***, ***호 서석특허법률사무소 (지산동, 법조타운)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 광주광역시 동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 실용신안등록이중출원서
Dual Application for Utility Model Registration		 2003.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2003-0050566-21
2 특허출원서
Patent Application		 2003.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2003-0050551-47
3 실용신안등록이중출원서
Dual Application for Utility Model Registration		 2003.02.14 무효 (Invalidation) 1-1-2003-0050562-49
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2004-0063129-85
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0458401-46
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0628298-70
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2005-0058998-97
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0108772-93
10 의견서
Written Opinion		 2005.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0169768-73
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0169763-45
12 등록결정서
Decision to grant		 2005.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0394888-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.13 수리 (Accepted) 4-1-2010-5064344-93
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189510-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189505-24
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저를 이용하여 검사대상 물체의 결함 정도를 측정할 수 있도록 된 광학 결함 검사장치에 있어서, 검사대상 물체에 레이저 광을 조사하기 위한 상기 레이저와, 레이저 광이 상기 검사대상 물체에 조사됨에 따라 그 조사면으로부터 산란된 채 반사되어진 광을 수광(또는 집광)하기 위한 영상결상렌즈와, 수광(또는 집광)된 광을 분할하는 한편 광로(光路)를 변경하기 위한 영상분할장치와, 분할된 일부의 광을 상기 영상분할장치측으로 반사하기 위한 거울과, 상기 거울을 통하여 반사되어진 분할광에 포함된 상기 검사대상 물체의 영상정보를 획득하기 위한 영상입력장치와, 상기 영상분할장치에서 분할된 나머지 광이 상기 영상입력장치에 기 맺혀진 영상과 그 중심점이 비껴 맺히도록 광로를 조절하는 한편 다시 상기 영상분할장치를 거쳐 영상입력장치에 입사되도록 반사하기 위한 반사각조절거울과, 상기 영상입력장치로부터 획득된 상기 검사대상 물체의 변형 전, 변형 후의 영상 중 일측 영상에서 타측 영상을 뺀 다음 이를 적분처리하여 측정자가 판독할 수 있도록 2차원 형태의 영상으로 모니터상에 디스플레이하는 영상처리 및 측정부 제어장치가 구비된 것을 특징으로 하는 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사장치
2 2
(삭제)
3 3
제 1항에 있어서, 상기 영상입력장치에 영상이 맺히도록 광을 반사하여 입사시키는 상기 거울과 상기 반사각조절거울은 상기 영상분할장치로부터 동일한 거리에 위치된 것을 특징으로 하는 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사장치
4 4
레이저를 이용한 물체의 결함 검사방법에 있어서, 검사대상 물체로부터 반사된 레이저 광을 수광(또는 집광)하여서 이를 2개의 광으로 분할한 다음 두 개의 영상이 영상입력장치에 비껴 맺히도록 하는 과정과, 그 중심점이 소정거리 비껴 맺힌 영상을 상기 물체의 변형 전과 변형 후로 나누어 각각 메모리상에 저장하는 과정과, 상기 메모리상에 저장된 일측 영상으로부터 타측 영상을 빼 도함수 영상을 얻는 과정과, 얻어진 상기 도함수 영상을 적분처리하고 이를 측정자가 판독할 수 있도록 2차원 형태의 영상으로 가시화하여 모니터상에 출력하는 과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법
5 4
레이저를 이용한 물체의 결함 검사방법에 있어서, 검사대상 물체로부터 반사된 레이저 광을 수광(또는 집광)하여서 이를 2개의 광으로 분할한 다음 두 개의 영상이 영상입력장치에 비껴 맺히도록 하는 과정과, 그 중심점이 소정거리 비껴 맺힌 영상을 상기 물체의 변형 전과 변형 후로 나누어 각각 메모리상에 저장하는 과정과, 상기 메모리상에 저장된 일측 영상으로부터 타측 영상을 빼 도함수 영상을 얻는 과정과, 얻어진 상기 도함수 영상을 적분처리하고 이를 측정자가 판독할 수 있도록 2차원 형태의 영상으로 가시화하여 모니터상에 출력하는 과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 도함수 영상을 이용한 광학 결함 검사방법
지정국 정보가 없습니다
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1 KR200311808 KR 대한민국 FAMILY

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