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탄소나노튜브(carbon nano tube; CNT)를 포함하며, 가열 대상에 부착되는 탄소나노튜브 발열층;
상기 탄소나노튜브 발열층과 이격되어 인접하게 배치된 유도 코일; 및
상기 유도 코일과 전기적으로 연결된 전원;
을 포함하는 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 가열 대상에서 이격되어 인접하게 배치된 온도 센서를 더 포함하는 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 온도 센서 및 상기 전원과 연결되어 온도를 조절하는 제어부를 더 포함하는 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브에는 금속산화물, 반도체, 금속으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상의 물질이 도핑 또는 흡착된 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 발열층은 광투과성을 갖는 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 발열층은 도전성을 갖는 금속성 탄소나노튜브를 포함하는 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 발열층은 상기 기판에 융착된 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 발열층은 필름 형태로 이루어지고 상기 기판에 접착된 유도 가열 장치
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9
제 1 항에 있어서,
상기 유도 코일은 공심형 코일로 이루어진 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 유도 코일은 나선형으로 감겨지며 상면 또는 하면이 상기 탄소나노튜브 박막과 대향하도록 배치된 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 가열 대상은 유리, 폴리머, 프릿 글래스(flit glass)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나로 이루어진 유도 가열 장치
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12
제 1 항에 있어서,
상기 가열 대상은 바이오 칩 또는 유체 칩인 유도 가열 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 발열층 위에는 보조판이 설치되어 상기 탄소나노튜브 발열층은 상기 가열 대상과과 상기 보조판 사이에 위치하는 유도 가열 장치
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