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솔더 주입방법

  • 기술번호 : KST2015002337
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 템플릿의 캐버티들에 용융된 솔더를 주입하는 방법 및 이를 수행하기 위한 장치에 있어서, 프로세스 챔버 내에는 상기 용융된 솔더를 제공하기 위한 노즐이 배치되며, 상기 노즐은 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉된다. 상기 프로세스 챔버 내부의 압력은 노즐 내부의 압력보다 낮게 조절되며, 구동부는 상기 템플릿과 상기 노즐 사이에서 상대적인 미끄러짐 운동을 발생시킨다. 따라서, 상기 용융된 솔더는 상기 프로세스 챔버와 상기 노즐 사이의 차압 및 상기 상대적인 미끄러짐 운동에 의해 상기 템플릿의 캐버티들에 순차적으로 주입될 수 있다.
Int. CL H01L 23/488 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070135567 (2007.12.21)
출원인 세크론 주식회사, 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0923249-0000 (2009.10.16)
공개번호/일자 10-2009-0067791 (2009.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (20091027) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.21)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세크론 주식회사 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기돈 대한민국 서울 중구
2 정준호 대한민국 대전 유성구
3 최대근 대한민국 대전 유성구
4 최준혁 대한민국 대전 유성구
5 이지혜 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 세메스 주식회사 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0921702-80
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0128421-55
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.07.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5115336-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0034719-16
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0262263-28
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0515027-81
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0515032-10
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0420374-50
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밀폐된 공간 내에 다수의 캐버티들이 형성된 표면 부위를 갖는 템플릿을 위치시키는 단계; 용융된 솔더를 제공하기 위한 노즐을 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉시키는 단계; 및 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 순차적으로 주입되도록 상기 공간과 상기 노즐 내부 사이의 차압을 조절하면서 상기 노즐과 상기 템플릿 사이에서 상대적인 운동을 발생시키는 단계를 포함하되, 상기 공간의 압력을 대기압보다 낮게 유지하고 상기 노즐 내부의 압력을 상기 공간의 압력보다 높게 유지함으로써 상기 차압에 의해 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 노즐은 상기 솔더의 용융점 이상의 온도로 유지되며, 상기 템플릿은 상기 솔더의 용융점보다 낮은 온도로 유지되는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 노즐과 상기 템플릿의 온도 차이는 3℃ 내지 10℃인 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하는 동안 상기 차압을 일정하게 유지하기 위하여 노즐 내부로 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하기 이전에 상기 용융된 솔더가 상기 노즐로부터 누설되는 것을 방지하기 위하여 상기 노즐 내부의 압력을 상기 공간의 압력과 같거나 낮게 조절하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
7 7
다수의 캐버티들이 형성된 표면 부위를 갖는 템플릿이 위치되는 제1 공간과 상기 캐버티들에 용융된 솔더를 주입하기 위한 노즐이 위치되는 제2 공간을 마련하는 단계; 상기 제1 공간과 제2 공간의 압력을 동일하게 조절하는 단계; 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 템플릿을 이송하는 단계; 상기 노즐을 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉시키는 단계; 및 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 순차적으로 주입되도록 상기 제2 공간과 상기 노즐 내부 사이의 차압을 조절하면서 상기 노즐과 상기 템플릿 사이에서 상대적인 운동을 발생시키는 단계를 포함하되, 상기 제2 공간의 압력을 대기압보다 낮게 유지하고 상기 노즐 내부의 압력을 상기 제2 공간의 압력보다 높게 유지함으로써 상기 차압에 의해 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
8 8
삭제
9 9
제7항에 있어서, 상기 차압은 상기 노즐 내부로 불활성 가스를 공급함으로써 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
10 10
제7항에 있어서, 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하기 이전에 상기 용융된 솔더가 상기 노즐로부터 누설되는 것을 방지하기 위하여 상기 노즐 내부의 압력을 상기 제2 공간의 압력과 같거나 낮게 조절하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
11 11
다수의 캐버티들이 형성된 표면 부위를 갖는 템플릿을 수용하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치되며 용융된 솔더를 제공하기 위한 노즐; 상기 노즐을 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉시키고 상기 템플릿과 상기 노즐 사이에서 상대적인 운동을 발생시키는 구동부; 및 상기 상대적인 운동 중에 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 순차적으로 주입되도록 상기 노즐 내부의 압력과 상기 챔버 내부의 압력 사이의 차압을 조절하는 압력 조절부를 포함하되, 상기 압력 조절부는 상기 챔버의 내부 압력을 대기압보다 낮게 유지시키고 상기 노즐 내부의 압력을 상기 챔버의 내부 압력보다 높게 유지시킴으로써 상기 차압에 의해 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
12 12
제11항에 있어서, 상기 노즐은, 상기 용융된 솔더를 수용하며 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하기 위한 슬릿을 갖는 하우징; 및 상기 하우징 내에서 상기 솔더를 용융시키기 위하여 상기 하우징과 연결된 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
13 13
제12항에 있어서, 상기 히터는 상기 하우징의 온도를 솔더의 용융점 이상의 온도로 유지시키는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
14 14
제11항에 있어서, 상기 템플릿을 지지하는 척과 상기 템플릿의 온도를 상기 솔더의 용융점보다 낮은 온도로 유지시키기 위하여 상기 척과 연결된 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
15 15
제11항에 있어서, 상기 템플릿을 지지하는 척; 상기 노즐을 상기 솔더의 용융점보다 높은 온도로 유지시키기 위하여 상기 노즐과 연결된 제1 히터; 및 상기 템플릿의 온도를 상기 솔더의 용융점보다 낮은 온도로 유지시키기 위하여 상기 척과 연결된 제2 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
16 16
제15항에 있어서, 상기 노즐과 상기 템플릿의 온도 차이는 3℃ 내지 10℃인 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
17 17
제15항에 있어서, 상기 구동부는 상기 노즐 및 상기 척 중 하나를 수직 방향으로 이동시키며 상기 노즐 및 상기 척 중 다른 하나를 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
18 18
제15항에 있어서, 상기 구동부는 상기 노즐 또는 상기 척을 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
19 19
삭제
20 20
제11항에 있어서, 상기 압력 조절부는 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하는 동안 상기 차압을 일정하게 유지하기 위하여 노즐 내부로 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더의 주입 방법
21 21
제11항에 있어서, 상기 압력 조절부는 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하기 이전에 상기 용융된 솔더가 상기 노즐로부터 누설되는 것을 방지하기 위하여 상기 노즐 내부의 압력을 상기 챔버의 내부 압력과 같거나 낮게 조절하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
22 22
로드록 챔버; 프로세스 챔버; 상기 로드록 챔버와 상기 프로세스 챔버 사이에서 다수의 캐버티들이 형성된 표면 부위를 갖는 템플릿을 이송하는 트랜스퍼 모듈; 상기 프로세스 챔버 내에 배치되며 용융된 솔더를 제공하기 위한 노즐; 상기 노즐을 상기 템플릿의 표면 부위에 접촉시키고 상기 템플릿과 상기 노즐 사이에서 상대적인 운동을 발생시키는 구동부; 및 상기 템플릿을 상기 로드록 챔버와 상기 프로세스 챔버 사이에서 이송하는 동안 상기 로드록 챔버의 내부 압력을 상기 프로세스 챔버의 내부 압력과 동일하게 조절하며, 상기 상대적인 운동 중에 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 순차적으로 주입되도록 상기 노즐 내부의 압력과 상기 챔버 내부의 압력 사이의 차압을 조절하는 압력 조절부를 포함하되, 상기 압력 조절부는 상기 프로세스 챔버의 내부 압력을 대기압보다 낮게 유지시키고 상기 노즐 내부의 압력을 상기 프로세스 챔버의 내부 압력보다 높게 유지시킴으로써 상기 차압에 의해 상기 용융된 솔더가 상기 캐버티들에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
23 23
삭제
24 24
제22항에 있어서, 상기 압력 조절부는 상기 차압을 일정하게 유지하기 위하여 상기 노즐 내부로 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
25 25
제22항에 있어서, 상기 압력 조절부는 상기 용융된 솔더를 상기 캐버티들에 주입하기 이전에 상기 용융된 솔더가 상기 노즐로부터 누설되는 것을 방지하기 위하여 상기 노즐 내부의 압력을 상기 제2 공간의 압력과 같거나 낮게 조절하는 것을 특징으로 하는 용융된 솔더 주입 장치
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1 산업자원부 세크론 주식회사 부품소재기술개발사업 300mm급 차세대 패키징용 몰드형 미세솔더 범프 제조장비부품