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패턴 형성 기술

  • 기술번호 : KST2015002361
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 소수성 기판의 기설정된 패턴을 따라 마이크로 요철을 형성하여 상대적으로 친수가능 부분을 형성하고, 이 친수 가능 부분에 수용액을 접촉시켜 수용액에 포함된 입자들로 기설정된 패턴을 형성하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법은, 소수성 기판에 마이크로 요철을 형성하는 요철 형성 단계, 입자들이 포함된 수용액을 담고 있는 수용액조에 상기 소수성 기판을 투입하고 상기 수용액에 초음파를 가하여 상기 마이크로 요철에 수용액을 부착하는 수용액 부착 단계, 상기 수용액조로부터 상기 소수성 기판을 꺼내어 에어를 분사하여 상기 요철에 부착되는 상기 수용액을 남기고 상기 요철 외곽에 부착되는 상기 수용액을 제거하는 수용액 선택 단계, 및 상기 요철에 부착되어 있는 상기 수용액의 상기 입자들로 기설정된 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계를 포함한다.마이크로 요철, 소수성, 기판, 패턴, 수용액
Int. CL G03F 1/68 (2006.01) G03F 1/76 (2006.01)
CPC G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01)
출원번호/일자 1020090064602 (2009.07.15)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1100408-0000 (2011.12.22)
공개번호/일자 10-2011-0006954 (2011.01.21) 문서열기
공고번호/일자 (20111230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노지환 대한민국 대전 유성구
2 이제훈 대한민국 대전 유성구
3 서 정 대한민국 부산광역시 부산진구
4 이택민 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431026-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.01.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.02.09 수리 (Accepted) 9-1-2011-0007102-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0147896-47
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0271007-70
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0271006-24
9 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0703370-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
소수성 기판에 마이크로 요철을 형성하는 요철 형성 단계;입자들이 포함된 수용액을 담고 있는 수용액조에 상기 소수성 기판을 투입하고 상기 수용액에 초음파를 가하여 상기 마이크로 요철에 수용액을 부착하는 수용액 부착 단계;상기 수용액조로부터 상기 소수성 기판을 꺼내어 에어를 분사하여 상기 요철에 부착되는 상기 수용액을 남기고 상기 요철 외곽에 부착되는 상기 수용액을 제거하는 수용액 선택 단계; 및상기 요철에 부착되어 있는 상기 수용액의 상기 입자들로 기설정된 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계를 포함하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 패턴이 형성된 요철에서 단위 철부의 폭은 1 내지 20㎛ 범위를 포함하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법
3 3
제2 항에 있어서,상기 패턴이 형성된 요철에서 상기 요철의 피치는 0
4 4
제2 항에 있어서,상기 입자는 나노 전도성 입자로 형성되는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법
5 5
제1 항에 있어서,상기 패턴 형성 단계는,상기 요철에 남은 상기 수용액을 건조하고 상기 수용액의 상기 입자들을 상기 요철 상에서 소결하여 상기 기판에 상기 패턴을 형성하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법
6 6
제1 항에 있어서,상기 패턴 형성 단계는,상기 요철에 남은 상기 수용액을 피인쇄기판에 인쇄하여 상기 피인쇄기판에 상기 패턴을 형성하는 인쇄단계를 더 포함하는 소수성 기판에 대한 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 차세대신기술개발사업 레이저 미세가공공정 및 시스템 상품화 기반기술 개발