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서로 다른 둘 이상의 시료가 혼합된 혼합시료가 진행되도록 그 표면을 식각하여 마이크로채널이 형성된 웨이퍼;상기 마이크로채널의 상부에 결합되며, 상기 마이크로채널의 일 측단에 대응하는 위치에는 혼합시료가 유입되는 유입구가 천공되고, 상기 마이크로채널의 타 측단에 대응하는 위치에는 혼합시료가 유출되는 유출구가 천공되며, 상기 마이크로채널 내에 배열되어 상기 마이크로채널을 통과하는 혼합시료의 농도에 대응하는 전압값을 출력하는 감지전극이 형성되는 글래스기판; 및상기 감지전극에 연결되며 감지전극의 감지신호에 따라 혼합시료의 혼합상태를 검출하는 데이터처리장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 1항에 있어서,상기 감지전극은 양극 단자와 음극 단자가 시료 진행방향에 수직이 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 2항에 있어서,상기 양극 단자와 음극 단자로 이루어지는 한 쌍의 감지전극이 시료 진행방향과 나란하게 혹은 시료 진행방향에 수직으로 복수개 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 감지전극은 백금/구리(Pt/Cu), 백금/알미늄(Pt/Al), 또는 알미늄/구리(Al/Cu) 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 데이터처리장치의 출력단에 연결되며, 데이터처리장치에 의해 검출된 혼합시료의 혼합상태를 표시하는 디스플레이부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 데이터처리장치에 연결되며, 데이터처리장치에 의해 검출된 혼합시료의 혼합상태 데이터를 외부기기와 인터페이싱 하는 인터페이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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제 1항에 있어서,상기 유출구는 글래스기판의 타 측단에 적어도 둘 이상 천공되며, 적어도 하나의 유출구는 마이크로채널 내 발생되는 버블을 없애기 위해 이용되는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치
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웨이퍼 상부에 서로 다른 둘 이상의 시료가 혼합된 혼합시료가 진행되도록 소정 길이의 마이크로채널을 식각하는 단계;상기 마이크로채널 상을 흐르는 혼합시료가 접촉되도록 글래스기판의 하측에 감지전극을 형성하는 단계;상기 글래스기판에 유입구와 유출구를 천공하되, 마이크로채널 일 측단에 대응하는 위치를 관통하여 혼합시료가 유입되는 유입구를 천공하고, 타 측단에 대응하는 위치를 관통하여 혼합시료가 유출되는 유출구를 천공하는 단계;상기 글래스기판을 상기 웨이퍼 상부에 결합하는 단계; 및상기 감지전극을 혼합시료의 혼합상태를 검출하는 데이터처리장치에 연결하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로믹서의 혼합상태 검출장치 제조방법
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