맞춤기술찾기

이전대상기술

전자 렌즈 내에서 전자빔 전류 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015002500
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 컬럼 하우징 내에 전자빔 주사 경로부에 설치되는 지지부와, 지지부에 의해 전자빔 주사 경로부의 외측으로 고정되고 전자빔 주사 경로부를 통과하는 전자빔의 입사에 의해 통전 신호를 출력하는 통전부와, 통전부로부터 출력된 통전 신호를 이용하여 전자빔 집속 렌즈 조립체의 집속 성능을 판단하는 집속 성능 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치에 관한 것으로서, 전자 렌즈 내부에서 전자빔의 양과 집속 렌즈의 집속 성능을 측정할 수 있다.
Int. CL H01J 37/10 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01) H01J 37/244(2013.01)
출원번호/일자 1020120043558 (2012.04.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1211384-0000 (2012.12.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.26)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0332330-12
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0477213-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.07.05 수리 (Accepted) 9-1-2012-0054586-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0402518-10
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0730912-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0730913-44
8 등록결정서
Decision to grant
2012.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0691923-98
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
컬럼 하우징과, 상기 컬럼 하우징의 길이 방향을 따라 형성된 전자빔 주사 경로부와, 상기 전자빔 주사 경로부상에 구비된 집속 렌즈를 포함하는 전자빔 집속 렌즈 조립체의 집속 성능을 측정하는 전자빔 측정 장치에 있어서,상기 전자빔 주사 경로부에 설치되는 지지부;상기 지지부에 의해 상기 전자빔 주사 경로부의 외측으로 고정되며, 상기 전자빔 주사 경로부를 통과하는 전자빔의 입사에 의해 통전 신호를 출력하는 통전부 ; 및상기 통전부로부터 출력된 통전 신호를 이용하여 상기 전자빔 집속 렌즈 조립체의 집속 성능을 판단하는 집속 성능 판단부를 포함하고,상기 통전부에는 상기 전자빔이 통과하는 중공이 형성되며,상기 통전부는 상기 집속 렌즈를 사이에 두고, 적어도 한 쌍이 상기 전자빔 주사 경로부의 입측과 출측 방향으로 상호 이격하여 대향 배치되는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 지지부는 절연 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서,상기 지지부는 양단에 마련된 내경을 통해 상기 적어도 한 쌍의 통전부 각각을 삽입하여 지지하는 파이프 형상 부재인 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 적어도 한 쌍의 통전부 중에서, 상기 전자빔 주사 경로부의 입측 방향에 위치하는 상기 통전부의 중공 직경이 상기 전자빔 주사 경로부의 출측 방향에 위치하는 상기 통전부의 중공 직경에 비해 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 정밀기계부품 가공용 고밀도 전자빔의 고속 청정 Finishing 공정 기술개발 (1/5)