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기판의 일영역을 외부에 노출시키는 노출부와, 상기 기판의 타영역 상에 도포된 고분자 물질에 의해 마련되는 비노출부를 구비하는 마스크 템플릿을 상기 기판상에 형성하는 마스크 템플릿 형성단계;
상기 마스크 템플릿의 상측에 전도성 잉크를 공급하여, 상기 비노출부 상에 상기 전도성 잉크를 적층하고, 상기 노출부에 의해 노출된 기판상에 상기 전도성 잉크를 적층하는 잉크 적층단계;
상기 전도성 잉크에 용해 또는 분산된 전도성 잉크 입자를 추출하기 위하여 상기 전도성 잉크에 열을 가하는 열처리단계; 를 포함하며,
상기 열처리단계를 통해, 상기 비노출부에 배치되는 전도성 잉크 입자는 상기 비노출부와 결합하여 전기적 절연성을 가지는 절연패턴을 형성하고, 상기 기판에 배치되는 전도성 잉크 입자는 전기적 전도성을 가지는 도전패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 절연패턴은,
상기 전도성 잉크 입자가 상기 고분자 물질 사이의 틈새로 침투하여 상기 고분자 물질 내에서 이격되게 배치됨으로써 전체적으로 전기적 절연성을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제2항에 있어서,
상기 고분자 물질은, 입자로서 존재하며, 그 자체로 전기적인 절연성을 띄거나 또는 상기 전도성 잉크와 반응하여 전기적인 절연성을 띄는 물질인 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 고분자 물질은 폴리아닐린(polyaniline)인 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 마스크 템플릿 형성단계에서는 스핀코팅 또는 스프레이코팅 중 하나의 방법을 이용하여 상기 기판의 전면(全面)에 상기 고분자 물질을 적층하고,
상기 잉크 적층단계에서는 스핀코팅 또는 스프레이코팅 중 하나의 방법을 이용하여 상기 비노출부 및 상기 기판에 상기 전도성 잉크를 적층하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 마스크 템플릿 형성단계는, 상기 기판의 전면(全面)에 상기 고분자 물질을 적층한 후 임프린팅 방법을 이용하여 상기 마스크 템플릿을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 마스크 템플릿 형성단계에서는, 상기 기판의 전면(全面)에 상기 고분자 물질을 적층한 후 상기 고분자 물질에 레이저를 조사하여 상기 고분자 물질을 제거함으로써 상기 마스크 템플릿을 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법,
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제1항에 있어서,
상기 마스크 템플릿 형성단계는,
스크린 인쇄법, 그라비아 인쇄법, 플렉소 인쇄법, 오프셋 인쇄법, 그라비아-오프셋 인쇄법 중 하나의 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항에 있어서,
상기 열처리단계는,
상기 전도성 잉크를 150℃ 내지 350℃의 범위 내에서 가열하는 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전도성 잉크는 용액 상태의 유기 실버 잉크 또는 금속 나노 입자가 분산된 잉크 중 하나인 것을 특징으로 하는 마스크 템플릿을 이용한 미세패턴 형성방법
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