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제1 방향으로 나란하며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격된 복수의 제1 스캔라인을 따라 이동하면서 가공대상물 고체기재의 표면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발(融發, ablation) 가공하는 제1 가공단계; 및
상기 제2 방향으로 나란하며 상기 제1 방향으로 서로 이격된 복수의 제2 스캔라인을 따라 이동하면서 가공대상물 고체기재의 표면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발 가공하는 제2 가공단계
를 포함하고,
상기 제1 스캔라인 및 제2 스캔라인을 따라 상기 제1 가공단계 및 제2 가공단계를 반복하여 수행하며,
상기 레이저빔의 가공 스팟(spot) 직경을 d 라고 하고, 이웃한 복수의 상기 제1 스캔라인 또는 이웃한 복수의 상기 제2 스캔라인 사이의 거리를 p 라고 할 때,
0
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제 1 항에 있어서,
상기 제1 가공단계 또는 제2 가공단계에서, 상기 레이저빔을 고정하고 상기 가공대상물 고체기재를 이동시켜 가공하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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3
제 1 항에 있어서,
상기 제1 가공단계 또는 제2 가공단계에서, 복수의 상기 제1 스캔라인 또는 제2 스캔라인을 순차적으로 가공하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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4
제 1 항에 있어서,
상기 제1 가공단계 및 제2 가공단계를 교번하여 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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삭제
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6
가공대상물 고체기재의 3차원 곡면의 표면 데이터를 측정하는 단계;
상기 측정된 표면 데이터를 이용하여 다이나믹 포커스를 계산하는 단계; 및
상기 다이나믹 포커스의 계산결과와 갈바노 스캐너를 연동하여 레이저 가공을 수행하는 레이저 가공단계를 포함하고,
상기 레이저 가공단계는,
제1 방향으로 나란하며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격된 복수의 제1 스캔라인을 따라 이동하면서 상기 가공대상물 고체기재의 3차원 곡면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발 가공하는 제1 가공단계; 및
상기 제2 방향으로 나란하며 상기 제1 방향으로 서로 이격된 복수의 제2 스캔라인을 따라 이동하면서 상기 가공대상물 고체기재의 3차원 곡면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발 가공하는 제2 가공단계를 포함하며,
상기 제1 스캔라인 및 제2 스캔라인을 따라 상기 제1 가공단계 및 제2 가공단계를 반복하여 수행하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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7
제 6 항에 있어서,
상기 가공대상물 고체기재에 상기 제1 스캔라인과 제2 스캔라인을 설정하는 단계를 더 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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8
제 6 항에 있어서,
상기 레이저빔의 가공 스팟(spot) 직경을 d 라고 하고, 이웃한 복수의 상기 제1 스캔라인 또는 이웃한 복수의 상기 제2 스캔라인 사이의 거리를 p 라고 할 때,
0
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9
가공대상물 롤(roll)의 표면을 가공하는 방법에 있어서,
상기 가공대상물 롤의 원주방향으로 나란하며 상기 가공대상물 롤의 축방향으로 서로 이격된 복수의 제1 스캔라인을 따라 이동하면서 가공대상물 롤의 표면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발 가공하는 제1 가공단계; 및
상기 롤의 축방향으로 나란하며 상기 롤의 원주방향으로 서로 이격된 복수의 제2 스캔라인을 따라 이동하면서 가공대상물 롤의 표면에 레이저빔을 연속적으로 조사하여 융발 가공하는 제2 가공단계
를 포함하고,
상기 제1 스캔라인 및 제2 스캔라인을 따라 상기 제1 가공단계 및 제2 가공단계를 반복하여 수행하며,
상기 레이저빔의 가공 스팟(spot) 직경을 d 라고 하고, 이웃한 복수의 상기 제1 스캔라인 또는 이웃한 복수의 상기 제2 스캔라인 사이의 거리를 p 라고 할 때,
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10
제 9 항에 있어서,
상기 가공대상물 롤의 표면에 상기 제1 스캔라인과 제2 스캔라인을 설정하는 단계를 더 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 초발수성 표면 가공방법
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마이크로 스케일의 돌출부와 오목부가 격자형상의 패턴을 이루며 연속적으로 배열되는 마이크로 구조물; 및
상기 마이크로 구조물의 돌출부 표면상에 나노 스케일의 돌기가 형성되는 나노 구조물
을 포함하고,
상기 마이크로 구조물의 오목부는 인접한 돌출부 사이에 형성되며, 깊이가 깊어질수록 점차 경사가 가파르게 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 스케일의 미세구조를 갖는 초발수성 표면의 고체기재
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제 12 항에 있어서,
상기 마이크로 구조물과 나노 구조물은 레이저 어블레이션을 이용한 표면 가공방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 스케일의 미세구조를 갖는 초발수성 표면의 고체기재
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