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금속유기 복합물(Metallorganic complex)을 포함하는 기판을 제공하는 단계;
레이저를 이용하여 상기 기판에 복수의 관통홀을 형성하는 단계; 및
상기 복수의 관통홀 내부를 무전해 도금하는 단계를 포함하는 방열 구조체의 제조 방법
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제 1항에 있어서,
상기 복수의 관통홀 내부를 전해 도금하는 단계를 더 포함하는 방열 구조체의 제조 방법
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제 1항에 있어서,
상기 기판의 상기 복수의 관통홀이 형성된 영역의 상부면을 표면 개질하는 단계를 더 포함하는 방열 구조체의 제조 방법
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제 3항에 있어서,
상기 표면 개질된 상부면을 무전해 도금하는 단계를 더 포함하는, 방열 구조체의 제조 방법
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5
제 4항에 있어서,
상기 표면 개질된 상부면을 전해 도금하는 단계를 더 포함하는 방열 구조체의 제조 방법
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제 3항에 있어서,
상기 상부면을 표면 개질하는 단계는, 상기 복수의 관통홀을 형성하는 단계 이후에 이루어지는 방열 구조체의 제조 방법
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7
제 3항에 있어서,
상기 상부면을 표면 개질하는 단계는, 상기 복수의 관통홀을 형성하는 단계 이전에 이루어지는 방열 구조체의 제조 방법
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8
제 1항에 있어서,
상기 기판의 상기 복수의 관통홀이 형성된 영역의 하부면을 표면 개질하는 단계를 더 포함하는, 방열 구조체의 제조 방법
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9
제 8항에 있어서,
상기 표면 개질된 하부면을 무전해 도금하는 단계를 더 포함하는, 방열 구조체의 제조 방법
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10
제 9항에 있어서,
상기 표면 개질된 하부면을 전해 도금하는 단계를 더 포함하는, 방열 구조체의 제조 방법
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11
제 3항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판의 상부면 또는 하부면의 표면 개질은 레이저를 이용하여 수행되는, 방열 구조체의 제조 방법
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12
제 11항에 있어서,
상기 레이저는 상기 기판의 모재는 투과되며 금속 유기 복합물에는 흡수가 되는 레이저인
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제 11항에 있어서,
상기 레이저는 50W이하의 펄스 레이저로서, 500ns 이하의 펄스폭을 갖는, 방열 구조체의 제조 방법
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14
제 1항에 있어서,
상기 금속유기 복합물(Metallorganic complex)은 (CuFe)(CrFe)2O4, Al2O3 또는 AlN 인 것을 특징으로 하는, 방열 구조체의 제조 방법
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15
제 1항에 있어서,
상기 관통홀의 단면은 원형 또는 슬릿 형상으로 이루어지는, 방열 구조체의 제조 방법
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유기물과 금속이 결합된 금속 산화물 또는 질화물로서 레이저가 표면에 조사된 경우 금속 시드를 발생시키는 금속유기 복합물(Metallorganic complex)로 이루어지며 복수의 관통홀이 형성된 기판을 포함하는 방열 구조체로서,
상기 복수의 관통홀 내부는 무전해도금된 것을 특징으로 하는, 방열 구조체
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17
제 16항에 있어서,
상기 복수의 관통홀 내부는 전해 도금된, 방열 구조체
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제 16항에 있어서,
상기 관통홀의 지름은 10㎛ 내지 1㎜인, 방열 구조체
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제 16항에 있어서,
상기 기판의 상부면 또는 하부면 중 적어도 하나의 상기 복수의 관통홀이 형성된 영역이 무전해 도금된, 방열 구조체
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20
제 16 항 내지 제 19항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 금속유기 복합물(Metallorganic complex)은 (CuFe)(CrFe)2O4, Al2O3 또는 AlN인 것을 특징으로 하는 방열 구조체
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금속유기 복합물(Metallorganic complex)로 이루어진 기판에 복수의 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내부에 무전해 도금된 방열 구조체;
상기 방열 구조체의 기판의 하부면에 접합되는 냉각 플레이트;
상기 방열 구조체의 기판의 상부면에 접합되는 발광 소자칩; 및
상기 기판의 상부면에 형성되며, 상기 발광 소자칩과 전기적으로 연결되는 전극 패턴을 포함하는, 발광 소자 패키지
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제 21항에 있어서,
상기 기판의 상기 상부면 또는 하부면 중 적어도 어느 하나는 표면 개질된, 발광 소자 패키지
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제 22항에 있어서,
상기 표면 개질된 상부면 또는 하부면은 무전해 도금 및 전해 도금된, 발광 소자 패키지
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제 21항에 있어서,
상기 발광 소자칩은 LED 소자인 것을 특징으로 하는, 발광 소자 패키지
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제 21항에 있어서,
상기 금속유기 복합물(Metallorganic complex)은 (CuFe)(CrFe)2O4, Al2O3 또는 AlN인 것을 특징으로 하는, 발광 소자 패키지
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